【課題】設置場所の制限を軽減すると共に、コストの増加を抑えて、被検査物の端辺の直線度を検査可能な直線度検査方法を提供する。
【解決手段】この課題を解決するために、被検査物７の平面視における端辺８の直線度を検査する検査方法であって、前記端辺８までの距離に対応した情報を検出する距離検出部２と、被検査物７を距離検出部２に対して端辺８の一端９側から他端１０側に向けて移動させる移動手段４と、距離検出部２の検出結果から端辺８の直線度を求める情報処理部１と、を備えると共に、距離検出部２が移動手段４による移動動作の移動方向Ｔに沿って並ぶ二つ以上のセンサ３を有し、被検査物７の移動量がセンサ３の間隔Ｌのセンサ３の数から１減算した値以下の整数倍になる毎に、距離検出部２が前記情報の検出動作を行うものとした。 （もっと読む）

【課題】コンベアベルトの振動の影響を補正できる平坦度測定装置及び平坦度測定方法を提供する。
【解決手段】コンベアベルト３４と、前記コンベアベルト３４を回転することにより駆動するロールと、前記コンベアベルト３４の振動を検出するための第１のセンサ３８と、シート３２の先端の高さ位置を測定するための第２のセンサ４０と、前記第１のセンサ３８からの信号と、前記第２のセンサ４０からの信号と、を受信して解析するための制御部と、を備え、前記制御部は、前記コンベアベルト３４の接続部が前記ロール上に無いと判断したときは、前記第２のセンサ４０からの信号に基づいて前記シートの平坦度を算出する際、前記第１のセンサ３８からの信号に基づいて前記コンベアベルト３４の振動による影響を補正した平坦度を算出し、前記コンベアベルト３４の接続部が前記ロール上にあると判断したときは、前記シート３２の平坦度を算出しない平坦度測定装置。 （もっと読む）

【課題】ウエハの平坦度検査を高精度かつスループットの高い方法で実現する。
【解決手段】回転運動および直線運動機構の運動誤差を補正することの可能な３点法を、ウエハ１０１と検出器９の相対的な回転運動によるウエハ外周の形状測定と、ウエハ１０１と検出器９の相対的な直線運動によるウエハ直径方向の形状測定に適用し、両者の組み合わせによりウエハ全体の形状を測定できるようにした。 （もっと読む）

【課題】 表面形状測定装置を介して工作機械のワークテーブル上の加工ワークの真直度を測定し、その測定された真直度の値を校正する方法の提供。
【解決手段】 一対の平面鏡（Ｍ_１，Ｍ_２）を距離ｄ離して両端に設けた姿勢表示物体２を１個、変位センサ４を用い、長尺の被測定物（加工ワーク）ｗを距離ｄずつ移動さして変位センサ４により被測定物の真直度を測定し、この測定値に含まれる装置の運動誤差誤差を差し引く校正を行うので、短い姿勢表示物体２を用いて長い被測定物の真直度を校正することができる。 （もっと読む）

【課題】 汎用性が大で簡単な構造で球体を満遍なく回転させることができるようにする。
【解決手段】 球体１を回転自在に受持する一対のローラ３，４と、この一対のローラ３，４をそれぞれ回転駆動するサーボモータ２７，２８と、前記両サーボモータ２７，２８を制御して前記球体１の１回転中に一対のローラ３，４の角速度を高低変化させながら一方のローラ３，４が高角速度のときに他方が低角速度となるように回転させる制御手段７とを備えている。また、前記制御手段７は、一対のローラ３，４を角速度高低変化させながら回転する途中に、球体１の少なくとも１回転における高角速度の時間長さを長短変更する回動制御機能４３を有している。 （もっと読む）

【課題】広範囲の測定対象物に適応でき、インプロセスで表面粗さの変化量を検出することができるワークの表面状態検出方法及び装置を提供する。
【解決手段】一つの測定用熱電対２０２をワーク２０３の被測定面に対してこれに接触させた状態で相対運動させることにより発生する当該熱電対の熱起電力の変化量を測定し、この熱起電力の変化量から、測定用熱電対２０２と同一のデータ採取用熱電対を当該被測定面に対する場合と同一の接触条件及び相対運動条件で表面粗さが既知の基準面に接触させた状態で相対運動させることによって予め求めた熱起電力の変化量と前記基準面の表面粗さの変化量との相関関係データΔＥ＝β・Ｒｙ（ΔＥは前記相対運動開始時から測定時までの熱起電力の変化量、βは熱電対の接触条件及び相対運動条件に応じて熱起電力と表面粗さとの関係から導かれる粗さ係数、Ｒｙは表面粗さ）に基づいて、被測定面の表面粗さの変化量を求める。 （もっと読む）

【課題】同一波長の走行路面変位が繰り返し連続する区間を効率的に管理するための、走行路面形状測定データの処理方法を提供する。
【解決手段】地点ｘにおける走行路面変位の測定波形ｆ（ｘ）を求め、この測定波形ｆ（ｘ）に波長λの正弦波が繰り返し現れる場合、その繰り返しを検出するために、次式（Ａ）を用いてＦ（ｘ）を算出し（Ｍは想定する繰り返し数であるが、処理後、前記波形Ｆ（ｘ）の直流分を残すために、Ｍは偶数とする。α（Ｎ）は、ユーザーが定める係数である。）、この結果に基づいて繰り返しを考慮した、走行路形状の管理値を判定する。
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【課題】薄板Ｓの反り量の測定を測定するための装置（反り量測定装置４７）を簡易なものにすること。
【解決手段】薄板Ｓを浮上させた仮想の浮上状態をシミュレーションして求められかつ薄板Ｓの固有の反り量と関連づけて薄板Ｓの板幅方向の位置と浮上量との関係を示す浮上挙動テーブルを参照しつつ、計測された薄板Ｓの浮上量に基づいて、薄板Ｓの固有の反り量を推定することにより、薄板Ｓの反り量を測定すること。 （もっと読む）

【課題】センサ１本だけを用いた繰返し走査型の２点法で高い測定精度を実現する新しい測定方法及び形状測定装置を提供する。
【解決手段】回転ガイドＲＧの周囲を走査用回転部ＳＲを相対回転させ、それと共にセンサＳ１が被測定対象ＯＢの周囲を回転し外周の凹凸を検出するので、変位センサＳ１の出力が不図示のエンコーダの信号に同期して出力される。回転軸線Ｘの交差位置を変えずに被測定対象ＯＢと検出部保持台ＢＳとを走査方向に所定の角度だけ回転変位させる。回転ガイドＲＧの周囲を、走査用回転部ＳＲを相対回転させるとそれと共にセンサＳ１が被測定対象ＯＢの周囲を回転し、その出力を取得することで（４）ー（６）式が求められ被測定対象ＯＢの形状だけを求める差分が得られる。
m1(θ)＝f(θ)＋ex(θ)（４）、m2(θ)＝f(θ＋φ)＋ex(θ)（５）、m2(θ)−m1(θ)＝f(θ＋φ)−f(θ)（６） （もっと読む）

【課題】複数の種類の校正およびチェクが容易にできる粗さ標準片を提供する。
【解決手段】複数の測定領域１４、１６を、１つのブランク１２の表面に連続して、もしくは相互に間隔を置いて作る。測定領域１４、１６の溝パターンは、深さ方向には同一の振幅を有する正弦波状であり、測定方向の波長がそれぞれ２．５ｍｍ、０．８ｍｍ、０．２５ｍｍ、０．０８ｍｍ、０．０２５ｍｍである溝パターンの内の２乃至５種類の測定領域１４、１６を有しているようにする。測定方向の波長が測定方向の距離に対して直線的に変化するようにしたり、対数関数の関係を有して変化するようにしてもよい。あるいは、複数の測定領域１４、１６は、それぞれが正弦波状、三角波状、及び円弧を連ねた溝パターンを有し、これらが実質的に平坦な領域を挟んで配置されているようにしてもよい。 （もっと読む）