【目的】 先端が鋭利でアスペクト比の高い急峻な形状の探針と、常に一定のバネ定数を有しながらその一端に探針を支える片持つ梁を具備する原子間力顕微鏡用カンチレバー及びそ製造方法を提供すること。
【構成】 充分な機械的強度を有するシリコン単結晶母材１１と、母材に一端が接合されたシリコン酸化膜からなる片持ち梁１２と、該片持ち梁１２上の母材１１に接合された一端とは反対側の一端に形成された鋭い先端を有するコーン形探針とを具備し、且つ全表面が導電性薄膜で覆われている。また、片持ち梁を両側から囲むように母材から加工され且つ充分な強度を有する片持ち梁を機械的破損から防ぐための保護板を具備する。 （もっと読む）

【目的】本発明の目的は、走査型プローブ顕微鏡の移動テーブル上の試料を高精度かつ高分解能で微小移動を可能することにある。
【構成】一端が固定された圧電素子30に駆動電圧を与えることにより変位させ、この圧電素子の他端に取り付けられた試料載置用の載物台 2を移動させるようにした移動ステージ 105において、移動操作を指示する指示手段 103と、所要の電圧レベルまでは緩やかに変化し、その後、急峻に戻る単発の駆動電圧若しくは、所要の電圧レベルまでは急峻に変化し、その後、緩やかに戻る単発の駆動電圧を上記指示手段の操作期間、所定間隔で発生して上記圧電素子に与える電圧印加手段 102,101,104とを設けて構成した。 （もっと読む）

【目的】 原則的に制限なしに微小の試料および１グラムより重い静止試料の表面を検査するのに使用することができる改良自由起立型走査力顕微鏡を提供することを目的とする。
【構成】 この走査力顕微鏡は、流体と接触している試料を走査する能力を持っていて、広い範囲の大きさおよび重量の静止検体を検査するための一体化走査駆動体を備えた改良自由起立型走査力顕微鏡である。また、走査力顕微鏡は、検体へのセンサヘッドの接近の自動化を考慮して試料への光学レバーアームおよびセンサヘッドの接近を操作するためのモータ付き駆動体脚部を有している。 （もっと読む）

【目的】ゴム部材の凹凸量を容易かつ正確に計測できる計測センサおよび計測装置を提供する。
【構成】上面が矩形の平面２ａ、下面が所定の曲率半径の弯曲面２ｂの透明板２の弯曲面２ｂに、スペーサを介して任意の明度に着色された第１層シート３が、また、その下にスペーサを介して第１層シート３と明度差の大きい色に着色された第２層シート４を設け、さらにその下に黒色と明度差の大きい色に着色された第３層シート５を配設する。ゴム部材３０に押付けると変形して容易かつ均一に密着し押付けを解除すると元の形状に回復しゴム部材３０の凹凸が明瞭に可視化できる。 （もっと読む）