【課題】 走査型プローブ顕微鏡を用いた表面形状の測定において、帯電の影響を排除すると同時に、活性な被測定物の表面を変化させることなく安定に測定する装置及び測定手法を提供する。
【解決手段】 走査型プローブ顕微鏡１００は被測定試料１０１の表面を走査する測定用探針１０４ａを有しており、少なくとも被測定試料１０１の測定範囲にわたり、被測定試料１０１の表面と測定用探針１０４ａの間に溶液１０２が設けられている。
溶液１０２は被測定試料１０１の表面および測定用探針１０４ａが帯電しないようにし、かつ、被測定試料１０１の表面に自然酸化膜、有機物などが成長、吸着しないようにするためのもであり、例えばイソプロピルアルコール（ＩＰＡ）が挙げられるが、溶液の代わりに上記の要件を満足するような物性を有する気体を用いてもよい。 （もっと読む）

【課題】 ＩＲＩ算出において予め定められた測定区間長内で試験車の走行速度が変化してもそれに対応することを容易にすると共に、時々刻々の速度変化毎に速度補正ができるようにして、より精度の良い測定を可能にすること。
【解決手段】 本発明の路面平坦性測定装置は、試験車の車軸側（またはサスペンション下側）に位置する加速度計１と、サスペンションが支持する車体側（またはサスペンション上側）に位置する加速度計２と、試験車の走行速度を測定するためのＧＰＳレシーバ３と、測定データを収集して一時記録する収録装置４と、測定データからＩＲＩ（国際ラフネス指数）を算出するパーソナルコンピュータ（以下、「ＰＣ」と略称する）５と、を備える。ＰＣ５は、各機器の制御とＩＲＩの算出とを各々別タスクで制御し、タスク間の測定データの受け渡しはファイル及び共通（グローバル）変数で行う。 （もっと読む）

【課題】 簡単な構成で凹凸が検出された位置を的確に呈示することができる凹凸検出位置呈示装置および凹凸検出位置呈示方法を提供することを目的とする。
【解決手段】 本発明の凹凸検出位置呈示装置は、物体の表面との相対移動により変形を生じることで該物体の表面の凹凸を検出する複数の検出部を有するシート状検出部材と、該シート状検出部材の片面側に位置し複数の発光体を有するシート状呈示部材と、からなる検出呈示本体と、前記シート状検出部材の検出結果に応じて前記発光体を発光させる演算部と、を有する。 （もっと読む）

【課題】長さが２ｍを超える長尺円筒部材に計測用の罫書を施すことなく、長尺円筒部材の真直度を高精度に計測することができる長尺円筒部材の真直度計測治具とその計測方法を提供する。
【解決手段】真直度計測治具１０は、治具本体１２と水準器１８からなる。治具本体１２の下面１２ａは求心構造１３を有し、求心構造により治具本体を長尺円筒部材１の外径上部又は内径下部に水平を保持して載せると、長尺円筒部材の中心軸Ｚ−Ｚから同一高さ及び同一向きの「求心位置」を維持する。さらに、治具本体１２は、オートレベル又はトランシットでピッチングを計測可能な上下方向の高さ変位計測目盛２０Ａと、トランシットでヨーイングを計測可能な幅方向の幅変位計測目盛２０Ｂとを備える。 （もっと読む）

【課題】各種装置におけるステージなどが有する平面の平坦度を、容易かつ高精度に測定する技術を提供することを目的とする。
【解決手段】板状部材２をステージ１の載置面１０の第１位置ＰＯＳ１に載置したときと、第２位置ＰＯＳ２に載置したときとにおける、板状部材２表面の高さ位置をそれぞれ測定する。次に、測定地点（Ｘ1，Ｙi）における測定結果Ｄ１（＝Ａ(i)＋Ｂ(i)）と、測定地点（Ｘ1，Ｙi-1）における測定結果Ｄ２（＝Ａ(i)＋Ｂ(i-1)）の差分をとることによって、板状部材２の厚み成分を相殺し、測定地点（Ｘ1，Ｙi）および（Ｘ1，Ｙi-1）間の載置面１０の高さの変化量（＝Ｂ(i)−Ｂ(i-1)）を算出する。そして、これらの差分演算処理結果を累積加算することによって、各位置における載置面１０の基準高さ位置からの変位量を算出できる。 （もっと読む）

【課題】金属帯板の形状を板幅端部まで精度良く測定でき、調整も容易で部品の交換だけで長期間使用できる金属帯板の形状測定装置を提供する。
【解決手段】金属帯板１が走行するラインに両端を回転自在に支持され金属帯板１に押し込むように設置されるロール１０，１００において、ロール１０，１００は、少なくとも１本以上の円周方向から傾斜した方向の溝２１と溝２１以外の部分であるランド部２２が表面に形成された内側ロール２０、又は、少なくとも２本以上の円周方向の溝２０１と溝２０１以外の部分であるランド部２０２が表面に形成された内側ロール２００に円筒４０を嵌合し、ランド部２２，２０２にはロール１０，１００の軸方向に穴２３を形成し、穴２３にランド部２２，２０２に作用する金属帯板１への押し込み荷重を測定するセンサー３０を設置した。 （もっと読む）

【課題】真直度を効率よく測定することができる真直度測定装置を提供すること。
【解決手段】本発明の真直度測定装置１０は、被測定物Ｍ上を自走可能であり反射ミラーを載置した筐体１１と、筐体１１とは別に設置されたオートコリメータ１２と、筐体１１の走行距離データ、及びオートコリメータ１２からの傾斜データを処理し被測定物Ｍの真直度を算出する解析用コンピュータ１３とを備えている。筐体１１は、その底面側にタイヤ８ａ、８ｂを有し、タイヤ８ｂの回転によって筐体１１の走行距離が求められ、その走行距離は解析用コンピュータ１３に入力されて被測定物Ｍ上における筐体１１の位置が算出される。 （もっと読む）

【課題】単純な構成で高精度に被測定物体の表面形状を測定する表面形状測定装置及び露光装置を提供する。
【解決手段】表面形状測定装置は、光源からの白色光をモスアイ形状の反射防止部を有するプリズムを用いて基板と参照面に８０度以上の入射角で入射させ、白色干渉光を得る。波長選択が可能な光学フィルターを用いて白色干渉光を複数の単一光による干渉光に分解する。その複数の干渉光に対して高速フーリエ変換を行いパワースペクトル分布を求め、スペクトルのピーク位置情報を用いて基板の表面形状を測定する。 （もっと読む）

【課題】ＣＭＰ工程の状態を管理する上で、より有用で、より精度の高いウェーハの平坦度を取得する方法の提供。
【解決手段】計測データ処理装置１０は、集積回路のマスク形状データに基づきＣＭＰ工程で生じる可能性のある窪み部の位置を予測し（窪みデータ生成部１０２）、その窪み部の上層で生じる可能性のある欠陥の位置を予測し（欠陥候補位置抽出部１０２）、欠陥のあることが予測される窪み部の中から、ＡＦＭ２０が表面形状データを取得すべき計測位置を決定し（計測位置決定部１０３）、その計測位置データを付して、ＡＦＭ２０に表面形状データの取得を指示する（表面形状データ取得部１０４）。また、計測データ処理装置１０は、ＡＦＭ２０により計測された表面形状データを、ＡＦＭ２０から取得し（表面形状データ取得部１０４）、表示装置４０に表示する（表示部１０５）。 （もっと読む）

【課題】電子写真感光体等の電子写真装置用部品の表面形状を従来法よりも詳細に評価する方法を提供すること。
【解決手段】電子写真感光体等の電子写真装置用部品の表面の凹凸形状を表面粗さ計により測定して得た一次元データー配列を、ウェーブレット変換して高周波数成分から低周波数成分に至る複数の周波数成分に分離する多重解像度解析を行い、更に、ここで得た最低周波成分を間引きした一次元データー配列を作り、この一次元データー配列に対して更にウェーブレット変換を行なって、高周波数成分から低周波数成分に至る複数の周波数成分に分離する多重解像度解析を行い、得た多重解像度解析結果に対して、十点平均粗さ、最大高さを求める。 （もっと読む）