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国際特許分類[G01B21/30]の内容

国際特許分類[G01B21/30]に分類される特許

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【課題】測定機の測定速度を自由に設定でき、この測定機の暗振動も考慮した校正を行える校正用円環状部品を、低コストで得られる構造及びその製造方法を実現する。
【解決手段】円環状素材14に、所定の数の凸部12、12を有するスプライン軸11を圧入する事により、この円環状素材14の外周面にこれら各凸部12、12に対応する数の凹凸を形成する。そして、この外周面に研磨加工を施す事により、これら各凹凸を除去してこの外周面をほぼ円筒面とする。その後、上記円環状素材14をこのスプライン軸11から抜き取る事により、測定面である外周面に、所定の大きさの振幅を有し、上記各凹凸に対応する数の凹凸を、互いに滑らかに連続した状態で形成して、上記校正用円環状部品を得る。これにより、上記課題を解決する。 (もっと読む)


【課題】長尺の真直形状や大型の平面形状を測定するために水準器に代わる道具として、被測定面に接する点と変位センサあるいは角度センサの組み合わせで多点方を実現するために、被測定面上を走査移動可能なセンサホルダを提供する。
【解決手段】被測定面に対して相対的に移動可能なセンサホルダを、被測定面に対して少なくとも2点の接点を有する形態にして、センサホルダと被測定面との2つの接点とセンサホルダの保持するセンサの測定点との3点によって、真直形状測定のための3点法と動揺の差動出力を得て、その出力から形状を求める。 (もっと読む)



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【課題】バーミラーの形状、スライダの走り、スライダのヨーイング角の情報を、高精度に識別して測定可能な機能を備えるXYステージを実現する。
【解決手段】プラテン上をX軸方向及びY軸方向に位置制御されるスライダと、前記スライダの一辺近傍に配置されたバーミラーと、このバーミラーに光を当てて距離を計測するレーザ干渉計とを具備するXYステージにおいて、
前記バーミラーに沿って等間隔に固定配置された3個の距離計と、
前記スライダを所定距離づつn回(n≧2)平行移動させるスライダ移動手段と、
前記スライダの初期位置及び所定距離の移動毎に、前記距離計の測定値に基づいて前記バーミラーの形状、前記スライダの走り、前記スライダのヨーイング角の少なく共いずれかを演算するバーミラー形状演算装置と、
を備える。 (もっと読む)


【課題】1軸方向にのみ移動可能なワークステージを備える簡素な機構の近接露光装置において、ワークステージに搭載された基板の平坦度を2次元で精度よく測定することができる近接露光装置を提供する。
【解決手段】基板Wを保持して一軸方向(例えば、X方向)に移動可能なワークステージ1と、マスクステージ2上に配置されてセンサ駆動機構47によりワークステージ1の移動方向と直交する方向(例えば、Y方向)に移動されるギャップセンサ40とを備え、ワークステージ1及びギャップセンサ40を互いに直交する方向に移動させて基板Wの平坦度を2次元で測定する。 (もっと読む)


【課題】センサヘッドにおけるセンサの設置ずれ量及びセンサヘッドと計測対象との間の相対傾斜に起因する誤差を無くすことのできる幾何学量計測方法を提供する。
【解決手段】少なくとも3個のセンサを配置したセンサヘッドを計測対象に沿って相対移動させ、各センサから得られる検出信号を用いて計測対象表面の幾何学量を計測する。予め、基準平面30に対して真直度の計測を行い、両側のセンサの基準点を結ぶ線分からの中央のセンサの基準点の計測方向に関するずれ量を算出すると共に、基準平面とセンサヘッドとの間の相対傾斜とずれ量との間の関係を対のデータとして補正テーブルを作成する。幾何学量の計測に際しては、計測対象とセンサヘッドとの間の相対傾斜を算出し、かつ前記補正テーブルを参照して前記算出されたずれ量を取り出し、該取り出したずれ量と3個のセンサから得られた検出信号を用いて計測対象表面の幾何学量を演算する。 (もっと読む)


【課題】超音波接合における不良品の発生を防止することができるワーク評価方法およびワーク評価装置を提供する。
【解決手段】本発明のワーク評価方法は、スキューネスを算出する段階およびワークの良否を判定する段階を有する。スキューネスを算出する段階は、超音波接合されるワークの表面粗さ測定結果から、ワークの表面粗さデータの高さ方向における偏り度合いを示すスキューネスを算出する。ワークの良否を判定する段階は、算出されるスキューネスに基づいて、超音波接合されるワークの良否を判定する。 (もっと読む)


【課題】パターンを書き込む際に生じるあらゆる物理的変形に無関係に、オブジェクトの表面にパターンを書き込むための方法及びパターン生成装置を提供すること。
【解決手段】本発明は、露光装置での使用を対象とするオブジェクトの表面にパターンを書き込むための方法であって、表面を備えた厚さTのオブジェクトをパターン生成装置のステージの上に配置するステップと、表面を多数の測定ポイントに分割するステップであって、隣接する2つの測定ポイントが所定の最大距離を越えない距離Pで間を隔てられているステップと、各測定ポイントにおける表面の勾配を決定するステップと、各測定ポイントのx−y平面における二次元局部オフセットdを勾配及びオブジェクトの厚さTの関数として計算するステップと、前記表面に書き込むパターンを、二次元局部オフセットdを使用して修正するステップとを含む方法を提供する。 (もっと読む)


【課題】偏心位置が回転軸から大きく離れている場合であっても、高精度で偏心位置が求められる真円度測定装置、真円度測定方法、及び真円度測定プログラムを提供する。
【解決手段】真円度測定装置は、回転駆動手段によるワーク4の回転角、及びその回転角に対応する回転軸からワーク4の表面までの距離を測定値Pとして取得する測定値取得部を備える。また、真円度測定装置は、中心位置(a,b)を変動可能なパラメータとする円形状の補正円CLを設定し、測定値Pから補正円CLの中心位置に向かう方向の、各測定値Pと補正円CLとの間の距離の2乗和が、最小値となるように、補正円CLの中心位置及び半径値を計算し、その計算した補正円CLの中心位置(a,b)を偏心位置とする偏心計算部を備える。 (もっと読む)



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