【課題】測定位置にかかわりなく一定圧の安定した微小接触圧を創成でき、それにより、傾斜部分でも誤差の少ない正確な精密測定を実現することができ、しかも構造が簡単で安価に実施できる極低測定圧接触式測長装置を提供する。
【解決手段】被測定物に測定端子を接触させて測長する形式の測定装置において、測定端子を並進させるための駆動シリンダを有し、かつ、前記駆動シリンダが、微小圧力創成用のために内部に吹き込まれる駆動用気体の一部を流出させる気体流出機構を備えている。 （もっと読む）

【課題】対象物を容易かつ迅速に観察することができる顕微鏡システム、顕微鏡システムを用いた観察条件調整方法および観察条件調整プログラムを提供する。
【解決手段】ＣＰＵは、カンチレバーのたわみ量を初期値に設定し（ステップＳ２１）、そのたわみ量を保つように試料の表面にカンチレバーを往復走査させる（ステップＳ２２）。ＣＰＵは、表示装置における同一のピクセルに対応する往路高さデータと復路高さデータとを１ピクセル毎に比較し、それらの差分の絶対値（差分値）を算出し、さらに算出された複数の差分値の総和を算出し（ステップＳ２３）、算出された差分値の総和が予め定められたしきい値以下であるか否かを判別する（ステップＳ２４）。ＣＰＵは、総和がしきい値以下である場合に現在のたわみ量を基準たわみ量として設定し（ステップＳ２５）、総和がしきい値以下でない場合にたわみ量を再設定する（ステップＳ２６）。 （もっと読む）

【課題】広範囲に渡る試料の観察を容易に行うことができるとともに、迅速かつ正確な観察を行うことが可能な顕微鏡システム、観察方法および観察プログラムを提供する。
【解決手段】試料上の走査単位領域および観察対象領域を設定する。ＣＰＵは観察対象領域内の走査単位領域の個数および位置を設定し、各走査単位領域の形状情報を取得する（ステップＳ２１）。ＣＰＵは、取得した形状情報に基づいて全ての走査単位領域の上面視画像を表示装置に表示させる（ステップＳ２２）。複数の走査単位領域の上面視画像を使用者が手動で連結する場合、ＣＰＵは選択された上面視画像に対するオフセット処理を行う（ステップＳ２７）。オフセット処理は、隣接する走査単位領域の上面視画像の重複領域の画像のピクセルの階調がほぼ等しくなるように一方の上面視画像のピクセルの階調をオフセットすることにより行われる。 （もっと読む）

【課題】基板上の試料の位置特定を容易にし、様々なＳＰＭの規格や、ＡＦＭによる液中観察等にも適切な形状を有する、使い勝手に優れたＳＰＭ用の基板を提供すること。
【解決手段】基本形状を円形とした、表面が極めて平坦なガラスや雲母等の薄板の弧の１部に角を形成した基板の裏面に、１格子の１辺が数ｎｍから数ｍｍの格子を配設して、その格子を特定するために文字、記号を格子に表記することを特徴とする、汎用性に優れたＳＰＭ用基板。 （もっと読む）

【課題】 ＳＰＭ装置で使用する探針において、観察や加工などで探針先端に付着した物質を、ＳＰＭ装置内で除去し、探針先端を洗浄することを課題とする。
【解決手段】 異物4が付着した探針1を、サンプル3に押しつける。この時カンチレバー側のスキャナー5とサンプル台6の間で、相対的に水平振動10と垂直振動11を発生させる。探針先端への適切な摩擦を発生することにより、探針1の先端をに付着した異物4を取り除き、洗浄することができる。 （もっと読む）

【課題】
探針アプローチ時間を短縮してインライン装置としてのスループットを向上させた原子間力顕微鏡等の走査型プローブ顕微鏡を提供することにある。
【解決手段】
本発明は、試料の表面の形状を計測する走査型プローブ顕微鏡であって、試料の表面の高さを探針計測位置から距離Ｌ離れた高さ計測位置において計測する高さセンサ１１６と、高さ計測位置Ｃでの試料の表面の高さ情報ｈＣを前記高さセンサ１１６で計測した結果を用いて試料ステージ１０４を上昇させて、前記高さ計測位置での試料の表面の高さと探針計測位置での試料の表面の高さとの間の高さずれ情報ΔＺ又は段差情報（ＲｈＣ−ＲｈＡ）に基づき前記探針計測位置における試料の表面と前記探針の先端との間の間隔が所望の範囲（ｈｇ）になるように前記試料の表面を前記探針の先端に接近させる制御手段とを備えたことを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】 電界集中によりプラズマから受けるダメージを減少させて探針基体の先端部にカーボンナノチューブをプラズマＣＶＤ法によって成長させることができるプローブ顕微鏡用探針の作製方法を提供することを目的とする。
【解決手段】 先端部１０ａを露出させてタングステン探針１０を保持するホルダー２６を容器２１内に配し、該容器２１内に導入した炭素系ガスをプラズマ化し、該プラズマ化した炭素系ガスに先端部１０ａを曝すことにより、当該先端部１０ａにカーボンナノチューブ３１を成長させる。タングステン探針１０の先端部１０ａには触媒金属が蒸着されている。 （もっと読む）

【課題】本発明の目的は、表面粗さ測定が適正に行える形状測定機を提供することにある。
【解決手段】ワーク２２の評価対象面の断面形状情報を含む測定データを出力する粗さセンサー１４と、該ワーク２２上の該粗さセンサー１４位置を該評価対象面に沿って相対移動させ、その相対移動量を移動分解能Δθピッチでインデックス移動量情報として出力する相対移動機構１２と、該粗さセンサー１４からの測定データを、該相対移動機構１２が移動分解能Δθ移動するのに要する時間よりも短い一定時間間隔ｔ_ｓでサンプリングするタイマーサンプリング手段１６と、該相対移動機構１２からのインデックス移動量情報に基づき該タイマーサンプリング手段１６からの一定時間間隔ｔ_ｓの測定データを間隔定ピッチの測定データとし、該間隔定ピッチの測定データに基づきワーク２２の表面粗さを評価するデータ処理機構１８と、を備えたことを特徴とする形状測定機１０。 （もっと読む）

【課題】測定対象の移動距離、或いは測定対象が小さい場合でも測定を可能とする。
【解決手段】測定基準物１及び測定基準物１に沿って一定の測定間隔ｄ１で直線移動及び停止可能なステージ３と、測定基準物１及びステージ３の表面形状及び運動軌跡間の相対変位を検出する変位センサ７とを備え、ステージ３上の２点につき測定間隔ｄ１毎に相対変位を測定した結果に基づき測定基準物１及びステージ３の形状誤差、運動誤差を求める真直度測定装置において、相対変位の測定間隔ｄ１毎の測定を、ステージ３の２点についてステージ３の移動を繰り返し変位センサ７を各別に配置して行うことを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】ＡＦＭを用いることで表面が金薄膜１０４で覆われた尖鋭部１０３と被測定試料
２０１との間の距離をトンネル電流が流れる距離にまで近接させることが出来るようにな
り、印加電圧−トンネル電流の関係の面内分布が測れるようになった。しかし、尖鋭部１
０３からの電界により被測定試料２０１中のバンド構造が歪められ、精密に測定を行うこ
とが困難であった。そこで、被測定試料２０１中のバンド構造をより精密に測定するため
の探針を提供する。
【解決手段】尖鋭部１０３を覆うように形成された金薄膜１０４を、さらに酸化シリコン
等からなるトンネル絶縁膜１０５で覆う。ＡＦＭの接触モードで尖鋭部１０３と被測定試
料２０１との距離が極めて近くなった場合でも、尖鋭部１０３を覆う金薄膜１０４と被測
定試料２０１との間にはトンネル絶縁膜１０５分の絶縁物が介在するため、被測定試料２
０１のバンド構造を乱さずに測定することができる。 （もっと読む）