【課題】光てこ方式又は自己検知型の変位検出ではないカンチレバーの変位検出機構ならびにそれを用いた走査型プローブ顕微鏡を提供することを目的とする。
【解決手段】ＬＣ共振器とＦ−Ｖ変換器とから構成されるカンチレバー変位検出器により、カンチレバーと試料表面との間の静電容量変化を検出することで、カンチレバーの変位を検出可能とした。これにより光を遮断した状態で形状測定や物性測定が可能となり、更には光の有無による試料の形状や物性情報の変化を測定可能とした。 （もっと読む）

【課題】検出コイルを金属製の外殻で覆っても、渦電流損失を小さく抑え、必要十分な位置検出感度を得ることができる近接センサを提供する。
【解決手段】二つのコイルに矩形波電圧を印加して、各々のコイルに流れる電流を独立して検出してから差動回路等で差を演算するのではなく、直接電流の差の値を検出することにより、Ｓ／Ｎ比が良好であり高感度な近接センサを実現できる。また、各々のコイルは同じ磁気特性と電気特性を備えるため、温度変化でこれらの特性が変化したとしても夫々同じように変化するので、温度変化に起因するばらつきが生じ難い。 （もっと読む）

【課題】エンコーダ１ａと組み合わせて使用するセンサ１０、１０の個数を、３個のみと、少なくした状態で、前記エンコーダ１ａを外嵌固定した回転部材の５方向の変位ｘ、ｙ、ｚ及び傾きφｘ、φｚを測定できる構造を実現する。
【解決手段】前記エンコーダ１ａとして、被検出面である外周面に、複数の特性変化組み合わせ部３ａ、３ａを円周方向に等ピッチで形成したものを使用する。これら各特性変化組み合わせ部３ａ、３ａは、前記エンコーダ１ａの軸方向に対して互いに逆方向に傾斜した第一凹溝１１ａ及び第二凹溝１１ｂから成るものとする。前記エンコーダ１ａの外周面のうちで円周方向の位相が互いに異なる部分に、３個のセンサ１０、１０の検出部を対向させる。これにより、これら各センサ１０、１０の出力信号から得られる情報に基づいて、前記５方向の変位ｘ、ｙ、ｚ及び傾きφｘ、φｚを算出可能とする。 （もっと読む）

【課題】回転部材の変位量とこの回転部材に作用する荷重とのうちの少なくとも一方の物理量を測定する為に使用する、エンコーダ１ａの被検出面に対向させたセンサの出力信号に基づいて、前記回転部材の回転速度を精度良く測定できる構造を実現すべる。
【解決手段】前記エンコーダ１ａの被検出面に設けた各特性変化組み合わせ部３ａ、３ａを構成する１対の透孔１１ａ、１１ｂのうち、一方の透孔１１ａを前記被検出面の幅方向に形成し、他方の透孔１１ｂをこの幅方向に対して傾斜した方向に形成する。このうちの一方の透孔１１ａ、１１ａに基づいて発生するパルス間の周期Ｌ（Ｌ₁、Ｌ₂）に基づいて、前記回転部材の回転速度を測定する。 （もっと読む）

【課題】軸方向が互いに交差する２方向への回動操作が可能な操作手段を有する構造で、検出手段が検出する移動体の位置精度を向上できる車両変速機操作装置を得る。
【解決手段】ノブ９０がセレクト操作方向に回動操作された場合には、スライダ４０がスライダ支持部３４のガイド溝３６に案内されてスライドする。しかしながら、ノブ９０がシフト操作方向に回動操作された場合にはるセレクトレバー５０の幅方向端面により押圧された回動プレート１２２が側壁部２４を押圧してシャフト５６周りにスライダ支持体２０を回動操作させる。このため、ノブ９０がシフト操作方向に回動操作された際には、スライダ４０が軸部２８周りに回動されるだけで、ノブ９０の回動が他の向きへの移動に変換されない。これにより、シフト操作方向へのノブ９０の回動操作に関しては、部品間のガタの影響が少なく、スライダ４０に設けられた永久磁石１５２の位置精度を高くできる。 （もっと読む）

【課題】可撓性、柔軟性、及び加工性を低下させる事無く、磁気センサやリードスイッチを作動させるための十分な磁力性能を確保する事が出来るリング状ボンド磁石を安価に提供する。
【解決手段】硬磁性材料をゴムまたは樹脂材料に練り込んだリング状硬磁性ボンド磁石の一部に、軟磁性材料をゴムまたは樹脂材料に練り込んだリング状軟磁性体を一体化する。 （もっと読む）

【課題】 工具とワークに電圧を印加し、非接触状態で電流を検出して位置決めを行うものであって、印加電圧が大きい場合でも工具およびワークの損傷を防いで高精度の位置決めを行うことができ、さらにアルミニウム材でも高精度の位置決めを行うことができる工具位置決め方法および工具位置決め装置を提供する。
【解決手段】 工具１およびワーク２に接続するための電極３ａ，３ｂと、電極３ａ，３ｂの間に直列に接続される制限抵抗５と、制限抵抗５を介して電極３ａ，３ｂ間に電圧を印加する電圧供給装置４と、制限抵抗５の両端の電位差を増幅する差動増幅器６と、差動増幅器６から出力される電圧を判定基準電圧と比較するコンパレータ７と、コンパレータ７の出力を検出して電圧供給装置４からの電圧供給を遮断する遮断装置１３とを備える工具位置決め装置により位置決めを行う。 （もっと読む）

【課題】 隣接する不良品容器の存在により良品容器のセンサ出力値が変化したときでも、密封状態の良否判定を正確に行う。
【解決手段】 カートンケースに収納されたカップ型容器の蓋部のうち、該蓋部における中心部と、この中心部から所定距離離れた二点とにおいて、該蓋部との距離を測定する測定手段２３と、二点の位置の平均値と中心部の位置との差を判定値として算出し、この判定値が所定範囲を逸脱していると、該カップ型容器が不良品であると判定する判定手段２７とを備え、二点のうちの一点と中心部との間の距離を抽出点距離とし、この抽出点距離が、良品のカップ型容器と不良品のカップ型容器が隣同士で配置されているときに、良品のカップ型容器について算出された判定値が所定範囲を逸脱しない値を示すように設定された距離である。 （もっと読む）

【課題】長手方向に可動であり、且つ回転可能である軸の並進運動も回転運動も簡単且つ単純に検出することができる、長手方向に可動であり、且つ回転可能である軸、例えばマニュアルトランスミッションのシフト軸の軸方向位置及び回転位置を検出するためのセンサ装置を提供する。
【解決手段】センサ装置が、軸の長手方向において、有利には一列で軸に平行に配置されており、且つ、軸に関して位置固定されて配置されている少なくとも二つのセンサ素子を備えた線形センサと、軸が回転運動する際に、別個に評価可能なセンサ素子の内の少なくとも一つにおいて、回転角に依存する測定信号の一義的な変化を生じさせる発生器とを備える。 （もっと読む）

【課題】 アクチュエータのロッド４の軸振れ幅、つまり磁性移動体７の振れ幅の違いによるストロークセンサの出力値の差を低減して、ロッド４のストローク量の検出精度を向上することを課題とする。
【解決手段】 ウェイストゲートバルブ制御装置においては、ホール素子の感磁面を、磁性移動体７の中心を通り、且つ第１直線ＡＯＡ’に平行な第１仮想直線ＬＡと、磁性移動体７の中心を通り、且つ第２直線ＢＯＢ’に平行な第２仮想直線ＬＢとの交差角度の範囲内において、第１直線ＡＯＡ’に平行な第１仮想直線ＬＡと第２直線ＢＯＢ’に平行な第２仮想直線ＬＢとの交差角度の中心線（∠ＡＯＢの角度中心線ＬＸ）上に配置したことにより、ホール素子の感磁面に対する磁束密度（磁界の強さ）の変化を小さくすることができる。これにより、ロッド４の軸振れを要因とするストロークセンサの出力値の差を低減できる。 （もっと読む）