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国際特許分類[G01B7/14]の内容

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【課題】 サイズの小型化を図ることができる、動作の安定性に優れたセンサモジュール及びセンサモジュールを備えた表示装置を提供する。
【解決手段】 センサモジュールは、第1センサ回路1と、第2センサ回路2と、差分回路20と、を備える。第1センサ回路1は、第1検知電極DE1と、薄膜トランジスタで形成された第1アンプAMP1と、第1カップリング容量Ccp1と、を有する。第2センサ回路2は、第2検知電極DE2と、薄膜トランジスタで形成された第2アンプAMP2と、第2カップリング容量Ccp2と、を有する。差分回路20は、第1アンプAMP1のドレイン電極及び第2アンプAMP2のドレイン電極に接続されている。 (もっと読む)


【課題】ハンダの状態を検出することを課題とする。
【解決手段】ハンダ状態検出装置は、ハンダ供給部からハンダが供給されるハンダ供給位置の側方に配置された電極と、当該電極と前記ハンダ供給部から供給されるハンダとの間の静電容量値を取得する静電容量値取得手段を備える。そして、静電容量値取得手段によって取得される静電容量値に基づいて、前記ハンダ供給部から供給されたハンダの状態を判断する演算部を備えている。これにより、非接触でハンダの状態を検出することができる。 (もっと読む)


【課題】非接触距離センサによって棒体との間隔の変化を検出しこれに基づいて棒体の作動状態を測定する測定装置を提供する。
【解決手段】軸方向へ移動する棒体の表面に対して非接触状態で対向配置されて該表面との間の距離の変化を検出する非接触距離センサの検出信号に基づいて棒体の作動状態を測定する。係る構成によれば、上記距離の変化状態から、棒体の移動開始・停止位置とか、移動時間・時期を正確に判断することができ、延いては、棒体の軸方向への移動量や移動速度を取得できる。 (もっと読む)


【課題】新規の隙間計測装置を実施工に適用するに際しての、隙間計測装置の計測性の検証を可能にした計測性検証装置、及び計測性検証方法を提供する。
【解決手段】第1保持部24を配列させ、第1保持部24間のピッチPが連続的に変化するように形成した第1固定治具22と、第2保持部25を配列させ、第2保持部25間のピッチPが連続的に変化するように形成した第2固定治具23とを、第1保持部24と第2保持部25とが互いに内側を向き、かつ千鳥状となるように対向配置させ、第1保持部24、第2保持部25にそれぞれ管21を保持させ、第1保持部24の第1管群21Aと第2保持部25の第2管群21Bとの間に、複数の隙間スペーサー26を配し、第1管群21Aと第2管群21Bとの間の隙間が隙間スペーサー26の厚さになるようにした隙間計測装置の計測性検証装置20。 (もっと読む)


【課題】構造物の表面側及び裏面側に存在する複数種の形状変化部や付属部材の位置を検出する場合、観測波形が各々の信号の重畳した形状となるため、各々を識別した位置検出が困難になる。
【解決手段】高周波数励磁信号と低周波数励磁信号で形状変化部と付属部材の検出信号を抽出し、位相分離検出で形状変化部と付属部材の検出信号を識別するとともに、信号の振幅と幅でしきい値判別して、形状変化部及び付属部材の有無を確認するとともにその中心位置を決定する。 (もっと読む)


【課題】磁気センサでは困難な、高速な回転の検出に好適な回転検出装置を提供する。また同時に、耐環境性に優れ、低コストな装置とする。
【解決手段】本発明の回転検出装置は、ターゲット1との対向距離に反応するインダクタンス(又はキャパシタンスも可)を含む回路の共振周波数に基づく周波数の第1信号を発生する第1信号発生器9、及び、基準となる周波数の第2信号を発生する第2信号発生器10を具備し、第1信号発生器9には電圧制御発振器2が含まれている。位相同期回路12は、第1信号及び第2信号について、位相及び周波数が相互に一致するように、電圧制御発振器2に制御電圧を付与する。出力回路8は、制御電圧が変化している時期を捉えた矩形波信号、すなわち、ターゲットの凹部又は凸部に対応した信号を出力する。 (もっと読む)


【課題】レーザ加工ノズルとワークの間の状態、例えば、ギャップ長やプラズマなどを精度良く検出できる状態検出装置などを提供する。
【解決手段】状態検出装置1は、レーザ加工ノズルに設けられた測定電極とワークWの間に参照信号を供給する信号発生回路10と、測定電極とワークWの間の状態に応じて変化する電気信号を測定するバッファ回路20およびA/Dコンバータ21と、レーザ加工ノズルとワークWの間に発生するプラズマPを抵抗成分と静電容量成分の並列回路としてモデル化し、測定電極とワークWの間のギャップを静電容量成分としてモデル化して、該抵抗成分と、プラズマPに起因した該静電容量成分およびギャップに起因した該静電容量成分の和である合成静電容量とを入力変数とし、検出対象である前記状態を出力変数とする関数モデルを有し、測定データに基づいて、前記状態、例えば、ギャップ長やプラズマなどを演算するための演算回路40などで構成される。 (もっと読む)


ターゲットまでの距離を測定する複数センサ(30)のセットを具備するシステムにおいて、ターゲットの表面を露光する方法。方法は、ターゲットを可動テーブル(134)にクランプで留め、複数センサのうちの1つ以上がターゲットの上に位置を定められる複数の位置に、ターゲットを動かし、ターゲットの上に位置を定められているセンサのうちの1つ以上から、信号を受信し、複数センサから受信した信号に基づいて、1つ以上の傾斜修正値(Rx,Ry)を計算し、1つ以上の傾斜修正値に基づいて、可動テーブルの傾斜を調整し、ターゲットを露光することを含む。 (もっと読む)


1本以上の露光ビームをターゲット上に集束させるための投影レンズシステム(132)と、ターゲット(9)を支える可動テーブル(134)と、投影レンズシステムの最後の集束要素(104)とターゲット(9)の表面との間の距離に関連する測定を行なう静電容量感知システム(300)と、静電容量感知システムからの信号に少なくとも部分的に基づいて、ターゲット(9)の位置を調整するために、可動テーブル(134)の動きを制御する制御ユニット(400)と、を具備する、リソグラフィマシンのための統合されたセンサシステム。静電容量感知システム(300)は、複数の静電容量センサ(30)を具備しており、各静電容量センサ(30)は、薄膜構造を備えている。静電容量センサと投影レンズシステムの最後の集束要素は、共通のベース(112)に直接にマウントされ、静電容量センサは、投影レンズシステムの最後の集束要素の縁部のすぐ近くに配置される。 (もっと読む)


【課題】セラミック金属インターロック部品並びにその製造及び使用方法を提供すること。
【解決手段】複合素子が提供される。複合素子は、第1の端部及び第2の端部を有するキャビティを画成するセラミック部品と、ヘッド及び本体を含む金属部品とを含む。金属部品の本体の少なくとも一部がキャビティ内に配置され、金属部品のヘッドが、キャビティの第1の端部上に配置される。本体の一部の断面積は第1の端部の面積よりも大きい。加えて、セラミック部品と金属部品がインターロックされる。複合素子を製造する方法及びクリアランスセンサ部品を製造する方法も提供される。 (もっと読む)


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