【課題】表面形状への追随性が良く、かつ、変位雑音が小さい表面形状測定用触針式段差計及び該段差計における測定精度の改善方法を提供する。
【解決手段】変位センサ２０の磁性体コアに固有雑音の小さい強磁性体のコアを使用し、低雑音の差動トランスとして形成し、低雑音の差動トランスの出力を、低雑音のデジタルロックインアンプで計測し、変位の測定結果からセンサ２０の固有振動に起因する雑音を、低域通過フィルターを用いて移動平均法で除去し、低域通過フィルターの遮断周波数を通常の１５Ｈｚ程度よりも高くする。 （もっと読む）

【課題】非接触且つ非光学方式の簡便な構成で、大きな凹凸で構成された非常に粗い表面の粗さを、測定対象表面の湿気の影響を受けることなく、かつ短時間で測定することができる粗さ測定装置を提供する。
【解決手段】
被測定物体２の表面粗さを測定する粗さ測定装置１ａにおいて、被測定物体２の表面上の所定領域を測定エリアとすると共に、測定エリア内の表面粗さに対応する信号を出力する粗さセンサと、粗さセンサの出力に基づいて、測定エリアの表面粗さの測定値を出力する粗さ検出部と、を備えるように構成する。このように構成された粗さ測定装置１ａは、被測定物体２の表面粗さを非接触且つ非光学方式で測定することができる。 （もっと読む）

【課題】切削加工で製作されるコアを組み込んだ差動トランスを用いた触針式段差計の変位雑音を小さくすることのできるコア及びその製造方法を提供する。
【解決手段】差動トランスのコア６は、切削加工により形成したパーマロイ製の円筒状本体の表面を研磨処理して表面粗さを１μｍオーダー以下にして構成される。また、触針式段差計における本発明による差動トランス用コア６の製造方法は、パーマロイを切削加工により円筒状本体を形成し、円筒状本体の表面を研磨し、その後磁性焼鈍することを含む。 （もっと読む）

【課題】空気圧リニアガイドによる並列スライダ装置において、二つのスライダを機械的に連結した場合に、スライダの連結部分の機械的剛性とエアスライド機構のエア軸受剛性とが互いに影響を及ぼしあって平行度の再現性が低下することを排除し、高精度な平行度再現性を保証すること。
【解決手段】第１の空気圧リニアガイド４８と第２の空気圧リニアガイド５４とでエアギャップの大きさや供給空気圧を相違させることにより、スライダ支持剛性（エア軸受剛性）に差を生じさせ、エアギャップ変化による真直誤差の吸収が、エア軸受剛性が低い側において安定して行われるようにする。 （もっと読む）

本発明は、丸みのある断面と少なくとも部分的に導電性である外壁とを備えた対象の表面処理を行なうための装置に関する。装置は、複数の処理局と、処理すべき対象を保持するための保持装置を備えている送り装置とを有している。送り装置はそれぞれの保持装置によって保持されている対象をある処理局から後続の処理局へと規則的に運搬するよう構成されている。複数の処理局の内の一つが検査局であり、該検査局は電圧源と、該電圧源と接続されている電極と、評価ユニットとを有している。評価ユニットは、電極と検査局にあるそれぞれの対象との間の電圧変化を検出するよう構成されている。更に本発明は、丸みのある断面と少なくとも部分的に導電性である外壁とを備えた対象の表面処理を行なう装置のために相応に構成されている検査局並びに丸みのある断面と少なくとも部分的に導電性である外壁とを備えた対象の表面処理を行なう方法に関する。
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【課題】生産性を低下させることなく、精度の向上した電子写真感光体の検査方法を提供する。
【解決手段】光学検査第一工程で、電子写真感光体に白色の光を照射し、その反射光を測定し測定された電流値に基づいて、感光体の被疑欠陥の有無を判定し、電気検査第一工程で、感光体表面に導電性ローラを圧接して感光体を回転させながら直流電圧を印加し、導電性ローラから感光体へ流れる電流を測定し、測定された電流値に基づいて、感光体の欠陥の有無を判定する。検査した感光体のうち、光学検査第一工程で被疑欠陥が検出され電気検査第一工程で欠陥が検出されなかった感光体のみに対して、レーザー光を照射し、その光の反射光を測定し、測定された電流値に基づいて、感光体の被疑欠陥の有無を判定する光学検査第二工程を実施する。 （もっと読む）

【課題】 プローブを接触させて摺擦することにより被測定物表面の表面性を識別する際のプローブの製造ばらつき抑制及び加工精度向上とプローブ先端部の剛性向上によるプローブ破損防止性を改善した表面性識別装置、シート材識別装置及び画像形成装置の提供。
【解決手段】 プローブ先端当接部でシート材７を走査し、シート材表面の凹凸及び摩擦係数に応じた振動及び衝撃による歪を誘起することにより圧電素子１５ｂが電気信号を発生し、電気信号の強度差を基にシート材表面の表面性を識別する圧電接触型表面性検知センサであって、従来の短冊状板金先端部を２度折り曲げたＳ字型プローブ１５ａの代わりに、プローブ側面から見た際の先端構造部の形状がΔ型となるように、先端構造部の形状を予め母材板金の平面上で加工してから直角に折り曲げて構成するかまたは予め樹脂部材で加工してから平坦板金に接着して構成するΔ型プローブを用いる。 （もっと読む）

渦電流アレイプローブ（ＥＣＡＰ）を使用して構成部品を検査する方法が提供される。その方法は、ＥＣＡＰを用いて構成部品の表面をスキャンするステップと、ＥＣＡＰを用いて複数の部分的欠陥応答値を収集するステップと、複数の部分的欠陥応答値をプロセッサに伝送するステップと、ＥＣＡＰのエレメントの構成およびエレメントの解像度の少なくとも１つに基づいて、複数の部分的欠陥応答値を数学関数として表すステップと、複数の部分的欠陥応答値から単一の最大欠陥応答値を導出するステップとを含む。 （もっと読む）

【課題】表面粗さの粗い被検査対象物において通常視認困難で、砥石がけ検査により検出しているような自動検出が困難な凹凸が数μm程度の微小凹凸欠陥を確実に検出できる実用的な微小凹凸表面欠陥の検出方法及び装置を提供することを目的とする。
【解決手段】磁性金属被検体の凹凸量0.5μm以上6μm以下の微小凹凸表面欠陥を検出する微小凹凸表面欠陥の検出方法であって、前記被検体の欠陥部の歪に起因する信号を検知することによって前記表面欠陥を検出する。 （もっと読む）

【課題】プローブを接触させて摺擦することにより被測定物表面の表面性を識別する際のプローブによるジャム発生防止及びプローブ破損防止性を改善した表面性識別装置、シート材識別装置及び画像形成装置の提供。
【解決手段】Ｓ字型プローブ１５ａの固定端部を取り付けるネジ穴１５ｃ”と、ネジ穴１５ｃ”に取り付けられたＳ字型プローブ１５ａが回転軸１５ｅに回転可能となるよう固定する軸受け部１５”と、Ｓ字型プローブ１５ａの先端当接部の左右側面に所定の距離を隔てて設けられるプローブ先端保護リブ（１８ａ，１８ｂ，１８ｃ，１８ｄ）とを有し、Ｓ字型プローブ１５ａを保持するプローブ先端保護リブ付きプローブホルダー１８を備え、Ｓ字型プローブ１５ａの先端当接部は、走査方向の側面から見たとき、プローブ先端保護リブ（１８ａ，１８ｂ，１８ｃ，１８ｄ）からシート材７の側に所定の長さ露出しシート材７の表面に当接する。 （もっと読む）