【課題】複数のトラックのスケールパターンの加工を高速に行うことができるリニアスケールの製造装置を得る。
【解決手段】被加工材料７を長手方向に移動させるステージ８を移動制御装置９によって移動制御する。ガルバノミラー４は、レーザ光線１１の被加工材料７への照射スポットの位置を被加工材料７の移動方向に対して垂直な方向に偏向する。調整手段１０は、レーザ制御装置２によるレーザ光線１１のオン／オフ制御と、移動制御装置９によるステージ８の移動制御と、ガルバノミラー４による偏向位置制御を、複数のトラックに任意のスケールパターンを形成するよう調整する。 （もっと読む）

【課題】ケールと駆動部の距離を最小化して共振周波数を上げることにより、サーボ周波数帯域を上げ、外乱抑制性能を向上させることができるアクチュエータの位置検出装置を得る。
【解決手段】ピボットを挟んでアームとボイスコイルモータを備えたアクチュエータであって、前記ボイスコイルモータのコイルに、該コイルに近接したマグネットと対向するスケールを設け、前記スケールに対向するマグネット及び該マグネットが装着されたヨークに、このヨーク外方からスケールまで連通する光路穴を開け、前記ヨークの外方から前記光路穴を通して前記スケールに向けてセンサ光を照射し、スケールで反射またはスケールを透過したセンサ光を受光してスケールを読み取る光検出器を設けた。 （もっと読む）

【課題】 ガラススケール固定用のひも状ないし円柱状の弾性部材が内在する応力による不具合を解消し、温度変化による測定誤差、あるいは測定精度のばらつきの少ないリニアスケールを提供する。
【解決手段】 ガラススケール３と、このガラススケール３を走査して位置測定値を得るスライダユニット４と、これらのガラススケール３とスライダユニット４とを収納する中空状のスケールベース１１とを有し、前記ガラススケール３の一部がスケールベース１１の取付溝内１１ａに収納され、この収納されたガラススケール３と取付溝１１ａ側面とが対向する空間の一部領域に弾性部材７が配置され、かつその他の空間領域には接着剤６が配置されてガラススケール３が固定されており、前記弾性部材７は、球状または扁平な球状であり、これが複数並べて配置されている構成のリニアエンコーダとした。 （もっと読む）

【課題】 温度変化による測定誤差、あるいは測定精度のばらつきの少ないリニアスケールを提供する。
【解決手段】 ガラススケール３と、このガラススケール３を走査して位置測定値を得るスライダユニット４と、これらのガラススケール３とスライダユニット４とを収納する中空状のスケールベース１１とを有し、前記ガラススケール３の一部がスケールベース１１の取付溝１１ａ内に収納され、この収納されたガラススケール３と取付溝１１ａ側面とが対向する空間の一部領域に弾性部材５が配置され、かつその他の空間領域には接着剤６，８が配置されてガラススケール３が固定されており、前記接着剤６，８は、特定の基準位置に用いられる第１の接着剤８と、その他の領域に用いられる第２の接着剤６とを有し、前記第１の接着剤８は第２の接着剤６よりも接着強度の高い接着剤が用いられている構成のリニアエンコーダとした。 （もっと読む）

【課題】 取付時に生じる機械的歪みを抑制し、測定精度の変化が少なく、再現性のよいリニアスケールを提供する。
【解決手段】 ガラススケール２と、このガラススケール２を走査して位置測定値を得るスライダユニット６と、これらのガラススケール２とスライダユニット６とを収納する中空状のスケールベース１とを有し、このスケールベース１には、スケールベースを取り付ける取り付け孔と被取り付け面に当接する取り付け面２３を有し、前記取り付け孔の周囲以外の領域に被取り付け面に接しない逃げ領域２４を有する構成のリニアエンコーダとした。 （もっと読む）

【課題】 本発明は、回転体部に複雑なアナログ回路を不要とし、信号をロジックレベルで取り扱い可能とすることにより、装置の小型化、生産コストの低減化を図ることのできるレベル計測装置を提供することを目的としている。
【解決手段】 ワイヤドラム１と共に回転する第一の板部材８と、検出軸６と共に回転する第二の板部材９とを有し、該第一および第二の板部材８，９を対向して配置し、それぞれ回転中心を中心とする同一半径の円周上に円弧状のスリット８ａ，９ａを設け、ワイヤドラム１側の回転変位と検出軸６側の回転変位のずれを第一および第二の板部材に設けたスリットの重なりである通光部14の幅によって検知し、これに基づいてワイヤドラム１の回転量と検出軸６の回転量が同じになるように制御する。 （もっと読む）

【課題】 長尺または多数のエンコーダ用スケールを、精度良く、安価に製造する製造方法および製造装置を提供することが課題である。
【解決手段】 円筒形状シリンダ表面に剥離可能に設けたエンコーダ用スケール部材上にエンコーダ用スケールパターンを形成し、前記エンコーダ用スケール部材を、前記形成したエンコーダ用スケールパターン間に切れ込みを入れて前記円筒形状シリンダ表面から剥離し、リボン状のエンコーダ用スケールとした。 （もっと読む）