【課題】 蒸気流量計を用いることなく、刻々と変化する蒸気量を応答遅れなく計測するとともに、燃料物性値が変化しても蒸気量を従来方法と比較して正確に算出すること。
【解決手段】 蒸気ボイラ２からの蒸気量の時間的変動を連続的に計測するボイラの蒸気量計測方法であって、蒸気ボイラ２の蒸気流出路３Ａ，３Ｂにおける第一検出位置と第二検出位置との間の差圧ΔＰを計測する差圧計測ステップと、蒸気流出路３Ａ，３Ｂに所定流量の蒸気または蒸気に代わる流体を流して計測した差圧ΔＰと所定流量とから圧力損失係数Ｋを算出する圧力損失係数算出ステップと、差圧計測ステップで計測した差圧ΔＰおよび圧力損失係数算出ステップで算出した圧力損失係数Ｋから蒸気量Ｘを連続的に算出し計測値として出力する蒸気量算出・出力ステップとを含む。 （もっと読む）

【課題】比較的小型の機器に用いられる流量検知装置であって、省スペース化が可能な簡易な構成を有し且つ消費電力を抑制することが可能な流量検知装置を提供する。
【解決手段】流量センサ１８０は、チューブ３１とチューブ３２とを備えている。チューブ３２は、チューブ３１が延びる方向に対して交差し且つ水平方向よりも上方に延びるようにチューブ３１に接続されている。接続部分２１よりも水の流れ方向の上流側において、チューブ３１には、流れ方向の略同一位置において互いに対向する電極１８１と電極１８２とが配置されている。チューブ３２には、流れ方向の略同一位置において互いに対向する電極１８３と電極１８４、および、電極１８５，２８５，３８５，４８５，５８５，６８５，７８５と電極１８６，２８６，３８６，４８６，５８６，６８６，７８６が配置されている。 （もっと読む）

【課題】部品点数やコストを削減することができるデュアル物理量センサを提供する。
【解決手段】第１被測定対象の圧力を検出する圧力センサ３Ａと、第２被測定対象の圧力を検出する圧力センサ３Ｂと、圧力センサ３Ａおよび圧力センサ３Ｂの温度を検出する温度センサ４と、圧力センサ３Ａの検出信号から温度変化による変動分を除外する第１補正と、圧力センサ３Ｂの検出信号から温度変化による変動分を除外する第２補正とを実行する補正ユニットと、熱伝導性を有するととともに、一端部８ａが圧力センサ３Ａおよび圧力センサ３Ｂに接触し他端部８ｂが温度センサ４に接触する伝熱部材８と、を備え、伝熱部材８は、一端部８ａと他端部８ｂとの間に弾性を有する弾性部８ｃを含む。 （もっと読む）

【課題】チャンバ内の上昇する圧力の影響を実質的に受けない上昇率流量検出器の提供。
【解決手段】流体送達被試験デバイス（ＤＵＴ）１１０からの流体の流れを収容するように構成されるチャンバ１３０と、チャンバ内の気体温度を与える少なくとも１つの温度センサ１８０と、チャンバ内の気体圧力を与える少なくとも１つの圧力変換器１７０と、ＤＵＴからチャンバへの流体の流路に沿ってチャンバの上流に位置決めされる臨界ノズル１４０とを備える。臨界ノズル及び流量検証過程は、ノズルを通る流体の流量を臨界流条件に保持するように構成され、それによって、特定の流量検証時間中に、ノズルを通る流量が実質的に一定であり、且つノズルの下流のチャンバ内のいかなる圧力の変動にも実質的に影響を及ぼされないようになる。 （もっと読む）

【課題】負荷機器から発生するドレンの流量に基づいて蒸気の使用量を正確に計測することができる蒸気使用量計測装置を提供する。
【解決手段】タンク３６に貯留されたドレンがドレン排出弁３８を通ってドレンライン２０を流れている期間、ドレン流量算出手段５２Ａは、差圧検出器４０により検出された差圧に基づいて単位時間当たりのドレン流量を算出する。また、ドレン流量積算値算出手段５２Ｂは、ドレン流量算出手段５２Ａによって算出されたドレン流量を積算することによりドレン流量の積算値を算出する。蒸気使用量算出手段３４は、ドレン流量積算値算出手段５２Ｂによって算出されたドレン流量の積算値から蒸気の使用量の積算値を算出する。 （もっと読む）

【課題】人工心臓などに適用する質量流量計には、小型・軽量で圧損が少なく可動部のない簡易の流量計測が可能な曲がり管を用いた質量流量計を提供する。
【解決手段】曲がり管を用いた質量流量計において、曲がり管の流路外周部に静圧検出用の圧力センサを設け、対応する流路内周部に静圧検出用の圧力センサを設け、両圧力センサの出力差から差圧を求め、当該差圧から流量を求めることを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】流路内の流体の流れの阻害や流速センサのエネルギー損失を少なくし、流路内の流体の流速を効率良く計測する流速センサ１を提供する。
【解決手段】流路２を流れる流体の速度を計測する流速センサ１において、前記流路２に接続され、前記流路２をバイパスするバイパス路３と、前記バイパス路３内に設けられ、前記流路２の上流と下流の圧力差を計測する検知部７と、を備え、前記圧力差を計測することによって、前記流路２内の流体の流速を計測することを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】簡易な構成で、誤差要因の少ない流量測定装置及び流量計測方法を提供すること。
【解決手段】上端が頂部１１に連結され下端が入口部２０の下端よりも低い位置で開口した中空型の内筒３０と内筒の外側面及び胴部１３の内側面の少なくとも一方に設けられたガイド板４０とを備えた気液分離器１００と、気液多相流体の流路を、気液分離器１００を介さない経路と気液分離器１００を介する経路とに切り替える流路切替手段１３０と、液体出口部２１から合流部１１４への経路が開いた状態と閉じた状態とを切り替える第１開閉手段１３１と、気体出口部２２から合流部１１４への経路が開いた状態と閉じた状態とを切り替える第２開閉手段１３２と、気液分離器１００及び液体出口配管１２１のうち少なくとも一方の内部の高さの異なる２つ以上の測定箇所で圧力を計測する圧力計測部２００とを有し、ガイド板下部４２と胴部１３との間の少なくとも一部に空隙を有する。 （もっと読む）

【課題】部品点数やコストを削減する。
【解決手段】第１被測定対象の圧力を検出する圧力センサ３Ａと、第２被測定対象の圧力を検出する圧力センサ３Ｂと、圧力センサ３Ａおよび圧力センサ３Ｂの温度を検出する温度センサ４と、圧力センサ３Ａの検出信号から温度変化による変動分を除外する補正を実行し、当該補正後の信号を第１被測定対象の測定信号として出力する第１補正部と、圧力センサ３Ｂの検出信号から温度変化による変動分を除外する補正を実行し、当該補正後の信号を第２被測定対象の測定信号として出力する第２補正部と、を備え、温度センサ４を、圧力センサ３Ａおよび圧力センサ３Ｂと相互に接触した状態で一体化する。 （もっと読む）

【課題】供給ノズルに処理液を供給するための供給流路に設けられた差圧式流量計の流量の計測値が真の値からずれたことを容易に検知することができる基板処理方法及び基板処理装置を提供する。
【解決手段】処理液を供給する供給流路に設けられた差圧式流量計を介して接続された供給ノズルにより基板に処理液を供給し、供給された処理液により基板を処理する基板処理方法において、基板に処理液を供給していないときに、供給流路内の圧力を差圧式流量計内の圧力計測部により計測する計測工程Ｓ１５と、計測工程Ｓ１５を行って計測した圧力値と、所定の圧力値とを比較することによって、圧力計側部が正常に動作しているかを判定する判定工程Ｓ１６と、判定工程Ｓ１６において圧力計側部が正常に動作していると判定したときに、基板に処理液を供給する供給工程Ｓ１１とを有する。 （もっと読む）