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国際特許分類[G01F3/02]の内容

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導管(3)を通る可変比率のガス混合物の流量を制御するための体積流量制御器(1)は、導管を通るガスの流量を調節するための弁手段(5)、この弁手段を駆動するための駆動手段(9)、導管を通るガスの流量を測定するための、例えばペルトンホイールなどの、体積流量計(7)を有し、そしてこの流量計が、駆動手段に供給される調整信号(11)を発生させる増幅器(15)での設定点信号(17)との比較のためにフィードバック信号(29)を提供する。設定点信号は、設定点信号発生手段(19)により発生され、それは所望の流量に対応する値を入力するためのポテンショメーター(21)と、以前の設定点から所望の設定点への変更を体積流量計に固有の応答の遅れを保証するのに十分な時間遅らせてガス流量を滑らか且つ安定に制御するための、抵抗器(25)及びキャパシタ(27)からなるスローダウン回路(23)を含む。好ましくは、ポテンショメーターはディジタルポテンショメーター(403)であって、その電圧は回転エンコーダー(417)の独立した操作により変えることができる。
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