【課題】被写体の撮像を中断することなく、運用中に補正処理を行うことができる赤外線カメラを得る。
【解決手段】赤外線カメラ１６において、補正処理に使用する熱源として、１画素から数画素程度の幅を持つ電熱線、または、１次元配列にしたＬＥＤやＬＤなどを用い、熱源１５が映りこむ行の画素の出力については隣接する画素の出力に置き換えて被写体１の映像信号を生成しながら、その一方で、熱源１５による熱的に均一な面の撮像を行って、その値を記録していき、それらの記録に基づいて補正値を計算するようにしたので、被写体１の撮像を中断することなく、補正処理を行うことが可能である。 （もっと読む）

【課題】光電変換素子の感度劣化、感度ドリフトの影響を容易に精度良く補償することができ、感度補償による装置のダウンタイム時間を短縮することができ、光電変換素子の良否判定を実施することで、光電変換素子を効率良く使用し、交換することができ、また装置の使用中に突然、光電変換素子の感度がなくなり、装置が使用できなくなるリスクを回避することができる光電計測装置及びその光電計測装置を用いた露光装置を提供する提供する。
【解決手段】光電変換素子２の同一の受光面上の光量計測部位３１と感度校正用計測部位３２からの各々の出力の相関をモニタすることで、半導体光電変換素子２の感度劣化、感度ドリフトの影響を容易に精度良く補償し、感度補償による装置のダウンタイム時間を短縮する。光電変換素子２の良否判定を実施することで、光電変換素子２を効率良く使用し、交換することができ、また装置の使用中に突然、光電変換素子２の感度が無くなり、装置が使用できなくなるリスクを回避する。 （もっと読む）