【課題】温度検出システムを構成する温度検知機能と通知機能とを簡単な回路構成で実現する。
【解決手段】測定対象の温度変化を検出する温度検出システム１００において、弾性率が温度依存性を有する材料で構成された振動膜を備え、振動膜が振動したときの振動量の変化に基づいて温度変化を検出するスピーカ１０１と、振動膜を振動させるための駆動信号を供給する信号送出部１０３と、を備える。振動膜を利用して温度変化を検出する機能及び温度変化を通知する機能を実現することができるため、簡単な回路構成で温度検出システムを実現することができる。 （もっと読む）

【課題】被測定物の多点において温度センサを用いて温度測定を行い、且つ、その温度測定を行う際に温度センサと温度測定装置との間の信号の送受信を無線で行うシリコンウエハ多点温度測定装置の提供
【解決手段】シリコンウエハ加熱手段内のシリコンウエハ素材に装着された複数個の圧電振動子と、この圧電振動子と共に装着されたセンサーアンテナ部に所定の掃引信号波を送信して、圧電振動子の残響振動波を受信する。そして、この残響振動波の周波数を計測し、計測した周波数に基づいてシリコンウエハ素材の表面温度を測定する。 （もっと読む）

【課題】外部から操作することによって、中空微粒子内に内包している物質の放出を制御することの可能な中空微粒子を提供する。
【解決手段】中空微粒子が、平均粒径が５０ｎｍ以上１００μｍ以下で液体の通過可能な微小な貫通孔を持つ中空の殻と、この中空の殻に内包された沸点が４０℃以上１００℃以下で水に不溶性の低沸点化合物とを備える。溶液中でこの中空微粒子を低沸点化合物の沸点以下に冷やし、低沸点化合物を液化し、中空微粒子内の圧力を下げることにより、溶液を中空微粒子内に取り込む。この中空微粒子を低沸点化合物の沸点以上に昇温することにより低沸点化合物を気化し、中空微粒子内の圧力を高めることによって、中空微粒子内の水溶液を中空微粒子の外部に放出させる。 （もっと読む）

本発明は、超音波パルス（５０，６３，７０）の少なくとも１個の送信／受信装置（Ｓ／Ｅ）と、超音波パルス（５，５３ａ）の反射手段（１５，１６，１７）とを備えた温度および／または圧力を決定するための測定装置に関する。少なくとも１個の超音波パルス（５０）が、送信／受信装置（Ｓ／Ｅ）から、超音波パルを少なくとも部分的に透過させる対象物（２）を透過して、反射手段内に送信される。少なくとも１個の超音波パルス（５０，５３ａ）が、反射手段によって温度補正されて送信／受信装置（Ｓ／Ｅ）に向けて反射される。
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