【課題】近年の半導体の高集積化、また画像装置の高精細化に伴ない、基板上の絶対温度を正確に測れることが要請されている。本発明は、基板全面に亘る複数点で、絶対温度を正確に測れる温度測定素子、温度測定装置、基板処理装置及び電子デバイスの製造方法を提供することを課題とする。
【解決手段】基板、該基板の一方の側の一の面に位置する前記基板より大きな熱伝導率を有する電気的絶縁物である第一の膜、上記第一の膜の基板と反対側に位置する第一の熱電対金属及び前記第一の熱電対金属と接触する部分を有する第二の熱電対金属を有する。 （もっと読む）

【課題】集積回路製造ツール基板上で温度を検出する装置を提供する。
【解決手段】複数の空洞内の個別のセンサか、又は、基板表面に蒸着される複数の薄膜センサを含む基板を備える、ケーブルと相互接続部のデザインである。個別のセンサは、各々の空洞内に接着され埋込用樹脂で埋め込まれる。各々のセンサは、相互接続システムによる線条に結合される導線を有する。基板上の薄膜センサ導線は、相互接続システムによって信号伝送ケーブルに接続される。線条は、被覆処理されて、基板に結合される張力除去構造部に集められる。ケーブルは、フラットな部分と丸い部分とを有し、フラットな部分で並列に並べられ、丸い部分で他方の上に一方が積み重ねられた、信号伝送フラットケーブルアレイを備える。各々の信号ケーブルは、相互に結合される複数の線条を備える。一対のリボンは、ケーブルアレイの長さ方向に延びる。 （もっと読む）

【課題】 熱電対に温度度検出とヒーター機能と試料保持機能を持たせ、温度制御機能、試料観察とデータ記録などに関する改善を図った加熱計測用熱電対システムを提供する。
【解決手段】
加熱計測切換部２２にて加熱電源部２３と計測部２４を交互に切換ながら、加熱電源部２３により試料６を保持した熱電対３に所定矩形波を通電して加熱し、計測部２４により次の所定時に熱電対３からの熱起電力に基づくアナログ温度信号をＡ／Ｄ変換部２５にてデジタル変換し、制御部２１にて変換されたデジタル温度信号を受け、続いてこのデジタル値の温度データをデジタル通信部経由で温度調節部に送り、温度調節部２７で受け温度調節するよう構成した加熱計測ユニット１と各種設定操作が出来る設定操作手段２とを備え、所定観察温度における試料の溶融状態や融体と固体の反応などを容易に直接観察出来るものとし、加熱電源部２３により熱電対３に通電する所定矩形波をサイクルごとに正と負と交番して通電するものとした。 （もっと読む）

【課題】熱容量の小さい極細の細線形検出部を容易に加工することのできるセンサの製造方法を実現し、品質に優れた高応答のセンサを提供する。
【解決手段】導線１１，１２の一部に細線形検出部１３を有するセンサを製造する方法であって、導線１１，１２の一部１１ａ，１２ａが少なくとも特定の方向で導線１１，１２の残部１１ｂ，１２ｂより小径となるように、導線１１，１２となる線状素材１，２を部分的に除去加工して細線形検出部１３を形成する。 （もっと読む）

【課題】従来の電流検出型熱電対のＳ／Ｎを増大させると共に、更に高感度化させた電流検出型熱電対による温度差検出装置を提供し、熱型赤外線センサ、気圧センサ、ガスセンサやフローセンサなどに応用できる超小型の高感度な温度差検出装置を提供する。
【解決手段】熱電対の短絡電流を利用して温度差を検出する温度差検出装置において、この短絡電流を計測する短絡電流計測手段、この短絡電流を積分する積分手段、所定の時間だけ積分させる時間設定手段、上記積分後、初期状態の復帰させる初期状態復帰手段、前記積分手段の出力を取り出す電圧出力手段を備え、この電圧出力手段からの出力電圧を用いて、前記温度差を求めるようにした。短絡電流計測手段としてＯＰアンプ、積分手段としてコンデンサ、初期状態復帰手段としてクロックパルスと同期したスイッチ、電圧出力手段としてピークホールド回路を利用する。 （もっと読む）

【課題】回路基板と実装部品との接合部材の加熱効率を阻害することなく、回路基板と実装部品との接合部温度を高精度に測定できること。
【解決手段】本発明にかかる温度測定装置１は、実装部品１１と回路基板１０との接合部分を除く回路基板１０上の測温位置の温度を熱電対２ａを介して測定する接触式温度測定部２と、回路基板１０のうちの少なくともこの接合部分と測温位置とを含む基板領域の温度分布を非接触に測定する放射温度測定部３と、実装部品１１と回路基板１０との接合部温度を算出する温度算出部７ａと、この接合部温度を表示する表示部５と、を備える。温度算出部７ａは、この基板領域の温度分布をもとに、実装部品１１の加熱接合部分と回路基板１０の測温位置との温度差を算出し、この算出した温度差と測温位置の実測温度とをもとに、実装部品１１と回路基板１０との接合部温度を算出する。 （もっと読む）

本発明は、生体の表面または内部で温度測定するための温度感知器（２４）に関する。温度感知器（２４）は、感知器（２４）の測定面（３０）上で分散して配置されており、少なくとも１つの直列回路へと電気接続された多数の熱電対を含んでおり、その際、各々の直列回路内で熱電対により形成された熱電接点（１６、１８）が、空間的に相互に分離された少なくともおよび好ましくは全部で２つのグループに分配され、ここで、温度が変化した際に各々のグループ内では熱電接点（１６、１８）がそれぞれ一様な電圧変化をもたらすように分配されている。
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【課題】
本発明は、溶融部が団子状に肥大化していない熱電対とその製造方法を提供することを目的とする。
【解決手段】
上記課題を解決するために、本発明の熱電対は、２本の熱電対素線の突合せ狭角が１００°以上であることを特徴とし、測温接点は、２本の熱電対素線が相互に接触した部分が溶融されて一体化され、当該溶融箇所の大きさが素線の太さと同等か２倍以下であることを特徴とする手段を採用した。 （もっと読む）

【課題】長期間の使用に拘わりなく常に回転体の温度を正確に測定することのできる回転体の温度測定装置を提供する。
【解決手段】回転体１１に設けられるとともに一方を回転体に接触させ他方を回転体１１から離間させて回転体１１の温度を計測する熱電対１２と、この熱電対１２の他方の温度を計測する基準温度センサ１４と、熱電対１２が計測した計測温度を非接触で非回転側から取得するピックアップコイル１５と、このピックアップコイル１５により取得される計測温度と、基準温度センサ１４の計測温度とから回転体１１の温度を算出する温度算出回路２０とを備える。 （もっと読む）

【課題】熱電対を用いて太陽電池セルの温度を測定する太陽電池セル温度測定方法、太陽電池セル温度測定装置及び太陽電池モジュールにおいて、基板との温度差による誤差を可及的に排除し、たとえ光受光中であっても、太陽電池セルの温度を精度良く測定できるようにする。
【解決手段】基板２と、基板２上に保持される太陽電池セル１との間に、熱電対１００の測温接点Ａを配置し、熱電対１００に生じる熱起電力にもとづいて、太陽電池セル１の温度を測定する。 （もっと読む）