【課題】素子の変形により電気的変化を生じるセンサであって、時間が経過しても感度が低下しないセンサを提供する。
【解決手段】電歪素子の変形により静電容量変化を生じる電歪センサ（４０）において、第１の電歪材料層（１）およびその両面に各々配置された一対の電極（３ａ、３ｂ）より構成される第１の電歪素子（１０）と、第２の電歪材料層（１１）およびその両面に各々配置された一対の電極（１３ａ、１３ｂ）より構成される第２の電歪素子（２０）と、これら電歪素子間に挟持された基材（２５）とを含む受感部（３０）を設ける。受感部（３０）は、外力の作用を受けることにより変形である。第１および第２の電歪材料層（１、１１）の静電容量をそれぞれ測定可能なように、各電極に引出し線（５ａ、５ｂ、１５ａ、１５ｂ）が接続される。第１および第２の電歪材料層（１、１１）は、１０μｍ以下の厚みおよび２０以上の比誘電率を各々有するものとする。 （もっと読む）

【課題】電子機器の内部の温度に基づいて電子機器を制御することができ、かつ電子機器の大型化を抑制する。
【解決手段】発振装置は、振動板１０及び圧電素子２０を有している。圧電素子２０は、振動板１０上に設けられている。静電容量測定部５２は、圧電素子２０の静電容量を測定する。温度算出部５４は、静電容量を温度に変換する変換データ、及び静電容量測定部５２が測定した静電容量を用いて、圧電素子２０の温度を算出する。本実施形態において変換データは、変換データ記憶部５６が記憶している。制御部５０は、温度算出部５４が算出した温度に基づいて電子機器の動作を制御する。 （もっと読む）

【課題】カリウムあるいはナトリウムを陽イオンとして含み、ＯＨ基を陰イオンとして含むイオン結晶を使った多値メモリ素子を提供する。
【解決手段】メモリ素子４０は、カリウムあるいはナトリウムを陽イオンとして含み、ＯＨ基を陰イオンとして含むイオン結晶１０と、第１および第２の電極１１Ａ，１１Ｂと、秩序配列が誘起される転移温度以下の温度に保持するクライオスタット４１と、電極の間に直流電圧を印加し、ＯＨ基の分極方向が第１の電極１１Ａから第２の電極１１Ｂに向かう第１の状態と、ＯＨ基の分極方向が第２の電極１１Ｂから第１の電極１１Ａに向かう第２の状態と、最近接ＯＨ基の分極が反平行となる第３の状態のいずれかに設定し、第１〜第３の状態に対応して第１〜第３の情報をイオン結晶に書き込む書込回路４２と、イオン結晶の分極を測定することにより、書き込まれた第１〜第３の情報のいずれかを読み出す読み出し回路４６と、を含む。 （もっと読む）

【課題】従来よりも高感度で、所定の温度が所定の時間加わったか否かを判断する。
【解決手段】周囲温度が上昇して融解材料１４の融点に達すると融解材料１４が溶け、基材１１にある速度で吸収されてゆく。そして、基材１１に吸収された分だけ融解材料１４の体積が減り、電極２１及び２３の電極間距離が縮まる。同時に、吸収された融解材料１４は基材１１に浸透していく。電極２１及び２３と融解材料１４とはコンデンサを構成しており、融解材料１４の融解が進むにつれて電極間距離が小さくなり、そのためコンデンサの静電容量は大きく変化していくので、静電容量の変化を読み取ることで変化量を随時確認することができ、更に最終的に電極２１及び２３が接することで抵抗変化としても読み取ることが可能である。 （もっと読む）

【課題】所定の温度がどれくらいの時間対象物に加わったかどうかを測定できる機能と、温度が加わったことを目視で確認できる機能とを兼ね備えたインジケータを提供する。
【解決手段】インジケータ１０は、着色層１５上に互いに対向して第一の電極２１及び第二の電極２２が形成され、第一の電極２１は固定端１３で固定され、第二の電極２２は高分子材料シート１４の一辺に接着された可動式である。高分子材料シート１４は、所定の温度で結晶化し、収縮、白濁する特性を持つ。高分子材料シート１４の結晶化に伴う収縮により電極２１及び２２の電極間距離が変化するため、容量変化を読み取ることで、所定の温度がどれくらいの時間加わったかを測定することができるとともに、高分子材料シート１４の白濁によりフィルム１６の窓１８を通して着色層１５の色の見え方の変化を確認でき、それにより所定の温度が加わったことを確認できる。 （もっと読む）

【課題】 誘電性ポリマーの表面温度だけでなく、内部の温度をリアルタイムに特定することができるようにする。
【解決手段】 キャパシタンス計測部６により計測されたＮ個の電極２_１〜２_Ｎ間のキャパシタンスから、誘電性ポリマーにおける複数の位置の比誘電率ε_ｒ（ｆ，Ｔ）を特定する誘電率又は比誘電率分布特定部７を設け、温度分布特定部８が、温度−誘電率又は比誘電率マップ記憶部４により記憶されている温度−誘電率又は比誘電率マップを参照して、誘電率又は比誘電率分布特定部７により特定された複数の位置の比誘電率ε_ｒ（ｆ，Ｔ）の各々に対応する温度Ｔを特定することで、誘電性ポリマーの温度分布を求める。 （もっと読む）

【解決手段】プラットフォームの温度をモニターする微小電気機械システム（ＭＥＭＳ）共振器の方法および装置を提供する。シリコン上にでなく、比較的低コストのフレキシブルポリマー基板上に共振器を製造することにより、センサーの配置に関して機械的柔軟性および設計柔軟性が得られる。共振器と協働して発振器を形成する正帰還増幅器および発振器の周波数をカウントするカウンター等のセンサー読み出し・制御回路は、所望であればシリコン上に形成することができる。 （もっと読む）

地表下地層の開口部内の温度を評価する方法が、本明細書に記載される。方法は、開口部内に配置する絶縁導体の長さに沿って１つまたは複数の誘電特性を評価するステップと、１つまたは複数の評価済み誘電特性に基づいて、絶縁導体の長さに沿って１つまたは複数の温度を評価するステップとを含んでもよい。
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【課題】本発明は、異常高温検出のための繰り返しの使用が可能であり、かつ迅速に異常高温を検出できる異常高温検出用素子、およびそれを備える異常高温検出用装置を提供することを目的とする。
【解決手段】第一の強誘電膜と、
前記第一の強誘電膜の一方の表面上に設けられた１以上の第一の電極と、
前記第一の強誘電膜の他方の表面上に設けられた１以上の第二の電極と
を備える異常高温検出用素子。 （もっと読む）

【課題】基板の温度情報を検出するシステム、検出基板であって、基板が１４５℃以上の高温状態であっても温度測定が可能であり、温度情報をケーブルを用いることなくプロセス処理室から取り出しができるものを提供する。
【解決手段】基板にキャパシタ（Ｃ）、インダクタ（Ｌ）を備えたＬＣ共振回路を有し、キャパシタの片側電極が温度に応じて反ることにより容量変化しやすい空隙を備えた素子を設置する。温度情報はプロセス処理室内に設置されたプローブアンテナからＬＣ共振周波数として取り出し温度表示に変換する。 （もっと読む）