【課題】圧力の測定範囲に応じて容易に測定感度を変えることができ、また圧力が測定レンジの最大値に達したことを容易に検知することのできるタッチモードの静電容量型圧力センサを提供する。
【解決手段】固定電極３２の上面に誘電体層３３を形成し、誘電体層３３の表面にリセス３４を形成する。リセス３４を覆うようにして誘電体層３３の表面に上基板３７を積層し、リセス３４の上方に薄膜状をした導電性ダイアフラム３８を配設する。リセス３４内において誘電体層３３の表面には、ダイアフラム３８を接触させるための第１接触面３５と第２接触面３６が形成されている。第１接触面３５と第２接触面３６は、段差により隔てられており、第２接触面３６は第１接触面３５よりも高い位置にある。 （もっと読む）

【課題】視認性に優れると共に誤作動の発生を防止することができ、加えて優れた帯電防止性を発揮することで長期に亘って表示不良を防止することができるフィルムセンサを提供する。
【解決手段】フィルムセンサ１は、偏光フィルム２と、帯電防止層３と、静電容量センサ４とを、この順に備えている。静電容量センサは、透明フィルム５と、該透明フィルムの一方の側に形成された透明電極パターン６と、該透明電極パターンを埋設するように透明フィルム５の一方側に形成された接着層７とを有している。帯電防止層３は、偏光フィルム２と透明フィルム５との間に配置されており、且つ透明フィルム５に合着されている。この帯電防止層３の表面抵抗値は、１．０×１０^９〜１．０×１０^１１Ω／□である。 （もっと読む）

【課題】本発明は、基準クロック信号を精度よく発生させるとともに、センサを小型化し、物体に働く歪や荷重を、常に安定した状態で検出を行う物理量センサを提供することを目的とするものである。
【解決手段】本発明の物理量センサは、前記半導体基板２１の表面に形成された梁状の振動体２３を含み前記半導体基板２１に働く力学量の作用により弦振動周波数が変化する第１の振動子と、半導体基板２１に働く力学量の作用により振動周波数が変化しない位置にクロック信号発生用の第２の振動子３１とを設けるようにしたものである。 （もっと読む）

【課題】簡単に、外部機器に対して、複数のレベルの信号を任意に出力可能な入力インターフェイス装置を提供する。
【解決手段】入力インターフェイス装置は、表裏方向のばね定数が異なる複数の弾性層２０、２１が表裏方向に積層されてなる弾性部２を備え、表側から加わる荷重Ｆの変化による弾性部２の全体の表裏方向の圧縮荷重−変位特性が非線形であることを利用して、外部機器に対して、複数のレベルの信号を任意に出力可能とする。 （もっと読む）

【課題】簡素且つ安価な構成で小型化・薄型化が容易でありながらも汎用性の高い力検出装置を提供する。
【解決手段】力検出装置１は、静電容量検出用の固定電極３０と、固定電極３０に対向して配置される可動電極２２と、固定電極３０と可動電極２２の間において可動電極２２と略接触した状態で配置される絶縁層１０と、可動電極２２を絶縁層１０に沿って移動または回転可能に支持する支持部２４と、を備えている。 （もっと読む）

【課題】微小変位で荷重を検出する荷重センサとして、耐久性に優れ、温度による影響を受けにくい荷重センサを提供する。
【解決手段】軸方向荷重が入力されてたわみを生じるフランジ部材１と、そのフランジ部材１を支持する支持部材２と、磁界を発生する磁気ターゲット３と、その磁気ターゲット３が発生する磁界を検出する磁気センサ４とを有し、フランジ部材１のたわみにより磁気ターゲット３と磁気センサ４が相対変位するように磁気ターゲット３をフランジ部材１に固定し、磁気センサ４を支持部材２に固定し、磁気センサ４で検出した磁界に基づいて荷重の大きさを検出する構成の磁気式荷重センサを提供する。 （もっと読む）

【課題】圧電片に加わる外力を高精度にかつ容易に検出することができる外力検出装置を提供すること。
【解決手段】水晶片２を容器１内に片持ちで支持する。水晶片２の例えば中央部にて上面及び下面に夫々励振電極３１、４１を形成する。水晶片２の下面側の先端部に、下面側の励振電極４１に引き出し電極４２を介して接続される可動電極５を形成し、この可動電極５に対向して容器１の底部に固定電極６を設ける。上面側の励振電極３１と固定電極６とを発振回路１４に接続する。水晶片２に外力が加わって撓むと、可動電極５と固定電極６との間の容量が変わり、この容量変化を水晶片の発振周波数の変化として捉える。 （もっと読む）

【課題】半導体基板上に簡易に形成可能なセンサを提供する。
【解決手段】加速度または圧力を検出するセンサは、前記加速度または圧力が与えられ、前記加速度または圧力に応じた周波数の電圧または電流を出力する第１の半導体素子と、前記第１の半導体素子の出力に基づいて、前記加速度または圧力に対応したセンサ値を生成する検出部と、を備える。前記第１の半導体素子は、半導体基板に形成される第１の音響波伝播層と、前記第１の音響波伝播層内に音響波を閉じ込めるように形成される第１の音響波反射層と、前記第１の音響波伝播層に形成され、前記検出部と接続される第１のコンタクトと、有する。 （もっと読む）

【課題】従来よりもコストを低く抑えられ、乗員の着座状態を的確に行える乗員検知センサおよびその製造方法を提供することである。
【解決手段】乗員検知センサにおいて、シート２０の座面部２４ａに略平行に配置され、所定間隔をおいて対向して一対の電極が配置される対向電極（上部電極１４および下部電極１５）を一以上備える面圧センサ部と、対向電極の相互間に生じる第１静電容量と、メイン電極とグラウンドとの間に生じる第２静電容量とを測定する静電容量測定部４２と、第１静電容量および第２静電容量に基づいて乗員の着座状態を判別する乗員判別部４３とを有する。この構成によれば、乗員判別部４３は第１静電容量および第２静電容量に基づいて乗員の着座状態を判別するので、乗員の着座状態を的確に判別できる。 （もっと読む）

【課題】フレキシブル回路基板の構成要素で成形でき、しかも、屈曲時の低計測誤差、高い柔軟性、小型高密度性、耐熱性などに優れる圧力センサ及びその製造方法並びに圧力検出モジュールを提供する。
【解決手段】一つ以上の電極を有する導電体パターン４が設けられたベースフィルム２と、導電体パターン４の電極を覆うようにベースフィルム２に積層されるカバーフィルム５と、カバーフィルム５とベースフィルム２間に設けられ、電極とカバーフィルム５の間に所定の隙間を有する中空部６を構成するスペーサ７と、電極とスペーサ７との間に土手８、を備え、カバーフィルム５の中空部６に対応する部分は、圧力に応じて電極に接離する方向に変形可能で、電極との接触圧に応じて接触抵抗が変化する感圧部を有し、接触抵抗の変化によって圧力を検出する構成となっている。 （もっと読む）