【課題】高い感度の力検出を可能とするセンサー素子と、そのセンサー素子を用いたセンサーデバイスおよび力検出装置と、その力検出装置を備える高い信頼性と安全性を有するロボットを提供する。
【解決手段】三方晶系の単結晶より形成された圧電基板と、前記圧電基板の一方の基板面に配置される第１電極と、他方の基板面に配置される第２電極と、を備えるセンサー素子であって、前記圧電基板の前記基板面は、結晶軸のＸ軸（電気軸）を含み、前記基板面と、前記結晶軸の前記Ｘ軸（電気軸）とＺ軸（光軸）とを含む面と、により成す角度θが、０°＜θ＜２０°であるセンサー素子。 （もっと読む）

【課題】力検出装置に用いるセンサー素子の側面に配線層を形成することによって、配線スペースを小さくし小型の力検出装置を提供する。
【解決手段】α軸と、前記α軸に直交するβ軸と、前記α軸と前記β軸とに直交するγ軸とし、圧電基板と電極を、前記γ軸方向に積層して形成されるセンサー素子であって、前記電極の外形部の一部が前記圧電基板の外形部の一部に重なるよう配置される接続部を備え、前記γ軸の方向視において前記接続部が互いに重ならないように配置され、前記圧電基板の外周部の一部に、前記接続部と外部接続部とを電気的に接続する配線と、が形成されているセンサー素子。 （もっと読む）

【課題】動的荷重に対しても圧電特性を精度よく求めることができる圧電特性計測システムおよび方法を提供する。
【解決手段】測定対象物である圧電体Ｓが発生する電圧の情報（対象出力電圧情報）に加え、圧力を印加する方向である軸Ｃに方向に沿って圧電体Ｓと重ねた台座圧電体２６が発生する電圧の情報（台座出力電圧情報）を取得し、これら出力電圧の情報と台座出力電圧の情報との双方に基いて圧電体Ｓの圧電特性を求めることで、動的圧力に対する圧電体Ｓの特性を高精度に測定する。 （もっと読む）

【課題】高い信号強度の電気信号を発することができるセンサに好適な電気化学素子の提供。
【解決手段】芳香族ビニル化合物に由来する構造単位からなる重合体ブロック（Ａ）及びオレフィン性不飽和化合物に由来する構造単位からなる重合体ブロック（Ｂ）を有し、かつ、前記重合体ブロック（Ａ）が下記一般式（１）で表される官能基を有するブロック共重合体（Ｚ）からなる高分子電解質層と、該高分子電解質層の両面にそれぞれ接合した２つの電極を備える電気化学素子。

（式中、Ｒ^１〜Ｒ^３はそれぞれ独立に水素原子、炭素数１〜４のアルキル基または炭素数１〜４のアルコキシ基を表す。） （もっと読む）

【課題】３軸方向の力に対する検出能力に大きな差が出ない力検出装置と、その力検出装置を実現するセンサー素子を提供する。
【解決手段】非圧電性および非導電性を有する基板の少なくとも一方の面に圧電性被膜が形成された圧電体と、導電性を有する電極基板と、を有し、前記基板と前記電極基板との間に前記圧電性被膜が配置されるセンサー素子。 （もっと読む）

【課題】圧電部材の水平方向の位置決め精度を確保しながら製造効率も向上させる。
【解決手段】圧電素子保持板１１０に複数の挿通孔１１０ｈを形成し、この挿通孔に中空形状のガイド部材１１２を挿通させて圧電素子保持板１１０を積層する。その後、ガイド部材１１２の中空部分に与圧ボルト１１４を通して上部部材１０２と下部部材１０４とを締結することによって、圧電素子保持板１１０（圧電素子）を与圧する。ここで、ガイド部材１１２の中空部分を与圧ボルト１１４の外径よりも小さくしておき、与圧ボルト１１４を通すとガイド部材１１２が押し広げられて挿通孔に当接するようにしておく。こうすれば、圧電素子保持板１１０の積層時には、挿通孔とガイド部材との間に隙間があるので迅速に積層することができ、積層後は与圧ボルト１１４を通してガイド部材１１２を押し広げることで、圧電素子保持板１１０を精度良く位置決めすることが可能となる。 （もっと読む）

【課題】圧電素子をウエハから容易に無駄なく形成することができ、ｘ方向とｙ方向とで感度が異ならない力センサーを提供する。
【解決手段】圧電素子の外周形状は、少なくとも４つの辺を有し、４つの辺のうちの第１辺と第２辺とは互いに平行で、残りの第３辺と第４辺とも互いに平行で、第１辺と第２辺との間隔と、第３辺と第４辺との間隔とは等しく、更に、第１辺の延長線と第３辺の延長線とは直交する形状に形成されている。こうすれば、同一のウエハから切断したものを、ｘ方向用圧電素子あるいはｙ方向用圧電素子として共通して使用することができるので、ｘ方向とｙ方向の感度を揃えことができる。 （もっと読む）

【課題】簡略な構成で剪断力の測定が可能な触覚センサー素子を提供すること。
【解決手段】第一の開口部１１１Ａおよび第二の開口部１１１Ｂを有する基板１１と、第一の開口部１１１Ａおよび第二の開口部１１１Ｂを覆う支持膜１２と、支持膜１２上、かつ第一の開口部１１１Ａの上方に配置された第一の検出部１３Ａと、支持膜１２上、かつ第二の開口部１１１Ｂの上方に配置された第二の検出部１３Ｂと、第一の検出部１３Ａおよび第二の検出部１３Ｂの上に配置された弾性部材１６と、を備え、第一の検出部１３Ａおよび第二の検出部１３Ｂのそれぞれは、圧電積層部１４を備え、弾性部材１６は、基板１１の厚み方向で見た平面視で、少なくとも、第一の検出部１３Ａ、第二の検出部１３Ｂ、並びに第一の検出部１３Ａと第二の検出部１３Ｂとに挟まれる領域の支持膜１２上を覆い、弾性部材１６表面は、基板１１面と平行に形成されている触覚センサー素子１０。 （もっと読む）

【課題】圧電性能が更に優れた圧電素子を提供する。
【解決手段】圧電素子１０は、圧電体２０と、圧電体２０の一方の面２０ｂに設けられた第１の導電性エラストマー基材２２と、圧電体２０の他方の面２０ａに設けられた第２の導電性エラストマー基材２４とを有する。また、圧電体２０と第１の導電性エラストマー基材２２との間、および圧電体２０と第２の導電性エラストマー基材２４との間のうち、少なくとも一方の間に電極２６を設けることができる。 （もっと読む）

【課題】時定数を小さくして測定ドリフトを低減し、且つ、チャージコンデンサを小型化しつつも良好な感度と広範な測定範囲で動作可能な信号処理装置、信号処理方法、及び信号処理プログラムを提供することを課題とする。
【解決手段】電荷を信号として出力するセンサ２の信号を処理して計測値を出力する信号処理装置１であって、前記センサ２が出力する電荷をチャージコンデンサＣｆに蓄えて電圧信号にするチャージアンプ回路３と、前記チャージアンプ回路３の電圧信号をデジタル値に変換するＡＤ変換回路９と、前記チャージコンデンサＣｆを定期的に放電させると共に、前記ＡＤ変換回路９のデジタル値に、前記チャージコンデンサＣｆを放電する前に前記信号処理装置１から出力した直近の計測値を加算した値を、前記センサ２の信号の計測値として前記信号処理装置１から出力させる処理部６と、を備える。 （もっと読む）