【課題】温度補償型の圧力センサモジュールにおいて、温度測定部および温度補償部を備えた温度補償装置と、圧力検出部を備えた圧力センサ装置とが互いに別々の半導体基板に形成された場合であっても、温度測定部が圧力センサ装置の温度を正確に測定することができ、適切に温度補償された圧力値を出力することが可能な圧力センサモジュールを提供する。
【解決手段】本発明の圧力センサモジュールは、圧力を検出する圧力検出部を有する圧力センサ装置と、温度測定部を有し前記温度測定部の出力値に基づいて前記圧力センサ装置の出力値を補償する温度補償装置と、を少なくとも備えてなる圧力センサモジュールであって、前記圧力センサ装置は、前記温度補償装置の前記温度測定部と重なる領域に配置されていること、を特徴とする。 （もっと読む）

【課題】部品点数やコストを削減することができるデュアル物理量センサを提供する。
【解決手段】第１被測定対象の圧力を検出する圧力センサ３Ａと、第２被測定対象の圧力を検出する圧力センサ３Ｂと、圧力センサ３Ａおよび圧力センサ３Ｂの温度を検出する温度センサ４と、圧力センサ３Ａの検出信号から温度変化による変動分を除外する第１補正と、圧力センサ３Ｂの検出信号から温度変化による変動分を除外する第２補正とを実行する補正ユニットと、熱伝導性を有するととともに、一端部８ａが圧力センサ３Ａおよび圧力センサ３Ｂに接触し他端部８ｂが温度センサ４に接触する伝熱部材８と、を備え、伝熱部材８は、一端部８ａと他端部８ｂとの間に弾性を有する弾性部８ｃを含む。 （もっと読む）

【課題】熱膨張係数が大きく異なるセンサ素子と金属ステムとを接合部材を介して接合し得る圧力センサおよびその製造方法を提供する。
【解決手段】センサチップ５０と金属ステム４０に形成されるダイアフラム４３とを接合する接合層６０は、第１接合面６１の熱膨張係数がセンサチップ５０の熱膨張係数に等しく、第２接合面６２の熱膨張係数が金属ステム４０の熱膨張係数に等しく、第１接合面６１から第２接合面６２にかけて熱膨張係数が連続的に変化するように形成されている。 （もっと読む）

【課題】感度温度特性調整回路において、センサの感度温度特性を調整した後にゲインを再調整する必要をなくす。
【解決手段】並列に接続された、複数の異なる温度特性を有する同値抵抗５、６のうち、オペアンプ２の帰還抵抗として用いる同値抵抗を切換スイッチＳａ、Ｓｂで選択的に切り換えることにより、感度温度特性調整回路１のゲイン温度特性を調整して、センサの感度温度特性を調整するようにした。これにより、センサの感度温度特性を調整した場合でも、この調整回路１内のオペアンプ２の基準温度における入力抵抗値Ｒ０と帰還抵抗値Ｒが変化しないので、基準温度における感度温度特性調整回路１のゲインの値が変化しない。従って、センサの感度温度特性の調整後に、感度温度特性調整回路１のゲインを調整する必要性を減じることができる。 （もっと読む）

【課題】信頼性を向上させることのできる圧力センサを提供する。
【解決手段】圧力検出室１９に、温度が高くなるにつれて体積が減少する、または、温度が高くなるにつれてヤング率が減少するスペーサ２０を固定する。これによれば、外部温度が高温に変化した際に、オイルが熱膨張してもスペーサ２０の体積が減少する、またはスペーサ２０のヤング率が減少するため、オイルの体積変化をスペーサ２０にて吸収することができる。したがって、圧力検出室１９内の全体の体積増加を小さくすることができ、圧力検出室１９に内圧変動が発生することを抑制することができる。また、スペーサ２０は、圧力検出室１９内に固定されているため、スペーサ２０がセンサ部４と衝突することもなく、センサ部４が正常に作動しなくなることもない。 （もっと読む）

【課題】圧力変換器内の、改良された電極と、電極のための取り付け具とを提供する。
【解決手段】圧力変換器アッセンブリは、第１の本体と、第２の本体と、ダイアフラムと、電極とを有する。第１の本体とダイアフラムとは、第１のチャンバを、また、第２の本体とダイアフラムとは、第２のチャンバを形成している。電極は、第１のチャンバ内に配置されている。電極とダイアフラムとの間のキャパシタンスは、チャンバの間の圧力差を表す。電極は、ハブから吊り下げられ、スポーク取り付けされている。幾つかの実施形態では、電極は、完全に金属である。電極は、導電性フィルムが形成されたセラミック製ディスクを有しても良い。このディスクは、セラミック製のロッドを備えたハウジングに結合されている。変換器はまた、温度の変化に応じたねじりを減少するために、ハウジングに接続された、熱係数の低い膨張部材を有する。 （もっと読む）

【課題】異常判定閾値の設定精度を向上することができる異常判定閾値設定システムを提供する。
【解決手段】異常判定閾値設定システムは、車両のタイヤに取り付けられたタイヤバルブから、タイヤの空気圧情報及び温度情報を含む無線信号を車体において受信する受信機と、受信機が受信した空気圧を異常判定閾値と比較することにより監視する制御装置とを備えるタイヤ空気圧監視システムに使用し、異常判定閾値を設定する。異常判定閾値設定システムは、タイヤバルブから送信される空気圧情報と温度情報とを一定期間において監視することにより、圧力／温度の変化特性を取得するデータ監視部と、圧力／温度の変化特性を基に、登録空気圧から一定量減少させた値を異常判定閾値として設定する閾値設定部と、を備えた。 （もっと読む）

【課題】特に複数の感圧素子の一方が他方の圧力変化に影響されることがない流速センサーを提供することを目的としている。
【解決手段】本発明の流速センサー１０は、筐体の収容空間の第１の開口部を封止する第１のダイアフラム２０ａと、収容空間の第２の開口部を封止する第２のダイアフラム２０ｂと、感圧部と一対の基部を有して一対の基部を結ぶ方向を検出軸とする感圧素子４０と、を有し、感圧素子４０は、一対の基部を前記ダイアフラムの支持部に接続し、検出軸はダイアフラムの受圧面に平行であり、第１のダイアフラム２０ａは、流体の流れる方向に向けた動圧導入口から導入された圧力を受圧し、第２のダイアフラム２０ｂは、流体の流れる方向とほぼ直交した方向に向けた静圧導入口から導入された圧力を受圧し、第１及び第２のダイアフラム２０ａ，２０ｂの受圧面側に断熱部６０が設けられたことを特徴としている。 （もっと読む）

【課題】出力信号の感度温度係数を低減することができる感度温特補正回路を提供する。
【解決手段】センサ部３０から物理量に応じた検出信号が入力されると共に可変抵抗Ｒ２を介して基準電圧が入力される第１オペアンプ１を有し、第１オペアンプ１に可変抵抗Ｒ２と抵抗温度係数の異なる帰還抵抗としての可変抵抗Ｒ１が接続されて構成される第１感度温特調整部１０と、第１感度温特調整部１０から出力された出力信号が入力される第２オペアンプ２を有し、第２オペアンプ２に接続される帰還抵抗Ｒ３と、第２オペアンプ２の入力端子に接続されると共に第１オペアンプ１の出力端子に接続され、第２オペアンプ２に接続された帰還抵抗Ｒ３と抵抗温度係数の異なる可変抵抗Ｒ４と、を有する第２感度温特調整部２０と、を備える。 （もっと読む）

【課題】 より信頼性が高い測定が可能な圧力測定装置及び圧力測定方法を提供する。
【解決手段】 第１抵抗素子１３を有し、気体の圧力に対応した電気信号を出力する第１検知部４と、前記第１検知部４に近接配置され、前記第１抵抗素子１３より表面積が小さい第２抵抗素子１４を有し、前記気体の圧力に対応した電気信号を出力する第２検知部５と、前記第１検知部４の出力値から前記第２検知部５の出力値を差し引いて前記気体の圧力を算出する演算部８とを有することを特徴としている。 （もっと読む）