【課題】 構造が単純で安価な真空度センサと、コストの上昇を抑えながら、吸着力の確認ができる吸着装置とを提供することである。
【解決手段】 内部と外部との圧力が等しい通常状態で所定の形状を保つ形状保持能力を有する一方、内部が真空になったときその真空度に応じて変形するとともに、真空状態から通常状態になったとき上記所定の形状に復帰する復帰能力を備えたエア収容体１９と、このエア収容体１９に設け、真空検出空間に連通させる連通口１９ｂと、上記連通口に連通させた真空検出空間の真空度に応じて上記エア収容体１９が変形したとき、その変形に追随する接点を有するスイッチ２０とを備えた。 （もっと読む）

【課題】運転状態でも真空度低下検出が可能であるとともに、リアルタイムに真空度低下検出および警報出力が可能なタンク形真空遮断器を提供する。
【解決手段】大地電位とされた外部タンク１０内に真空インタラプタ２０が収納されたかつ真空インタラプタ２０の固定電極２２ａ側の端を覆う固定側シールド３０ａを備えたタンク形真空遮断器１であって、真空インタラプタ２０のセラミック筺体２１の固定電極２２ａ側の端を密封する固定側金属栓２３ａの外面に取り付けられたかつセラミック筺体２１内の真空度が低下すると固定側シールド３０ａから先端が突出して外部タンク１０との間に放電を発生させる針状電極４１を備えた真空度低下検出装置４０と、真空遮断器１に取り付けられたかつ外部タンク１０と針状電極４１との間に発生した放電を検出するための放電検出アンテナ５１とを具備する。 （もっと読む）

【課題】１つの真空計で測定が不連続になること無く、広い範囲の圧力を測定可能な真空計を提供する。
【解決手段】振動体と、振動体を静電力により駆動する加振電極部と、振動体を加振する駆動信号を生成する駆動信号生成部とを有し、駆動信号を加振電極部に印加して振動体を共振状態に保持し、振動体の振動特性から雰囲気の圧力を測定する圧力測定部を備えてなり、前記振動体を共通の雰囲気内に複数個備え、各振動体により測定可能な圧力範囲をそれぞれ異ならせ，かつ，前記圧力範囲を一部オーバーラップさせて構成し、各振動体に対応させて前記圧力測定部を複数個設け、各圧力測定部の圧力測定信号同士を組合せて演算する演算部を有する演算処理ユニットを備え、常時各圧力測定部による各圧力測定を行なうとともに、演算部による組合せ演算値に基づく演算処理ユニットの出力信号を真空計の圧力測定信号とする。 （もっと読む）

【課題】従来より広い範囲の気体の圧力を十分な精度で測定することができるようにした真空計を提供する。
【解決手段】振動体４と、振動体４と対向して静電力により振動体４を駆動する加振電極５と、振動体４と対向する検出電極６と、振動体４と検出電極６との間の静電容量を検知することにより振動体４の振動を検出する振動検出部と、振動体４を加振する駆動信号を生成する駆動信号生成部とを有し、前記駆動信号を加振電極５に印加し振動体４を共振状態に保持して、振動体４の振動特性から雰囲気の圧力を測定する圧力測定部を備えた真空計において、圧力測定部の測定出力信号による測定圧力レベルを基準圧力レベルと比較する圧力レベル判定部を有するとともに、圧力レベル判定部の判定出力信号に応じて振動体４と検出電極６との間の電位差を可変する電位差変更手段を備えてなる構成とする。 （もっと読む）

【課題】低コストのダイヤフラム式マノメータを提供する。
【解決手段】マノメータは、上表面及び上表面よりも高く伸張する側壁を有するモノリシック基部１０２と、基部の上表面によって支持される複数の導電性素子１１２と、基部の側壁と接続され、基部の上表面に対して導電性素子の上部に位置するダイヤフラム１０８と、ダイヤフラムの上部から基部を覆うカバー１０４とを含む。また、基部と接続するガラス被膜１１０と、導電性素子と接続され、圧力の変化に応じて動くダイヤフラムに反応する導電性素子の間の寄生容量結合における変化を感知するよう構成される電子回路を備えている。 （もっと読む）

【課題】真空雰囲気またはガス雰囲気にある容器内において、真空度と温度の計測に、最も効果的な方法を具体化する。
【解決手段】温度計と真空計を単一ケース内に収納した。図３はその一例を示す。最上部の表示器は大型のものを用い、その時点の真空度と温度を交互に表示する。その下部に小型の表示器があり一段目と二段目は特定の温度設定値に達した時、また三段目と四段目は特定の真空度に達した時、外部に信号を送出する機能を持つ。これらに小型表示器の設定により温度と真空度の組み合わせ等、各種の使用方法が可能になった。 （もっと読む）

【課題】 真空計の取り付け条件によらず、高精度の圧力測定が可能な静電容量型隔膜真空計を提供する。
【解決手段】 静電容量型隔膜真空計１００の傾斜角を検出する傾斜角センサ１４を具備する。また、静電容量型隔膜真空計１００を真空装置２に対して第一の傾斜角（＋９０度）、第二の傾斜角（０度）及び第三の傾斜角（−９０度）で取り付けた場合の静電容量圧力依存性を記憶部に記憶させておく。そして、傾斜角センサ１４で検出された傾斜角情報に基づいて圧力測定値は補正され、静電容量−圧力特性データは第一乃至第三の傾斜角において実際に測定され、記憶される。 （もっと読む）

【課題】１つの真空計でより広い範囲の気体の圧力を測定することができるようにした真空計を提供する。
【解決手段】初期加振用信号源41,42から出力された振動体24,28の固有振動数に対応した周波数の信号が加振電極29,30に印加され、振動体24,28が加振される。初期加振用信号源41,42は初期駆動するときのみ使用され、振動体24,28が振動し始めた後はスイッチ回路39,40が切り替えられる。容量電圧変換回路33,34から出力された信号の位相を位相シフト回路35,36でシフトし、増幅器37,38を経て、加振電極29,30に印加され、共振状態を保つ。加振電極29,30に印加する駆動信号の電圧が一定となるように増幅器37,38のゲインを調整した場合、振動体のQ値に対応して振動体24,28の振幅、つまり、容量電圧変換回路33,34から出力される信号の大きさが変化する。 （もっと読む）

【課題】構成の複雑化を抑制しつつパッケージ内の真空度を検出できる赤外線センサ装置を提供する。
【解決手段】周囲の真空度に依存する電気的特性を有し、遠赤外の輻射エネルギ強度を検出するダイオード31を備える。ダイオード31を収容するパッケージを備える。ダイオード31の少なくとも一部の電気的特性を検出することでパッケージ内の真空度を検出可能な検出回路36を備える。真空度を検出するための構成を別途設けるなど構成を複雑化することなく、パッケージ内の真空度を検出できる。 （もっと読む）

【課題】液封式真空ポンプと接続された減圧部における真空度の異常を検知する。
【解決手段】液封式真空ポンプ４と接続された減圧部３の実際の真空圧力と、液封式真空ポンプ４へ供給される封液の温度に基づいて算出した減圧部３の正常到達真空圧力とを比較して、前記減圧部３における真空度が正常か否かを判定することを特徴とする。また、前記真空圧力は、液封式真空ポンプ４と接続された減圧部４と連通する容器８内の液体を飽和温度まで加熱し、この加熱時の検出温度に基づいて算出する。 （もっと読む）