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国際特許分類[G01L21/32]の内容

国際特許分類[G01L21/32]に分類される特許

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【課題】従来例の三極管形の熱陰極電離真空計と同等の感度安定性を有すると共に、上記従来例のものよりも測定下限値を低くできるようにした熱陰極電離真空計を提供する。
【解決手段】試験体に装着されてその内部の圧力を検出する熱陰極電離真空計IGは、フィラメント2と、このフィラメント2を囲うように配置される、筒状の輪郭を有するグリッド3と、板状部材で構成され、グリッドの母線方向の延長上に所定間隔を存して当該グリッドの少なくとも一方の開口を覆うように配置されるイオンコレクタ4、4とを備える。フィラメントに通電してこのフィラメントを点灯させて熱電子を放出させ、フィラメントより高い電位をグリッドに付与し、このグリッド周辺で熱電子と衝突して生じた気体原子、分子の正イオンがイオンコレクタで捕集され、このときのイオン電流から圧力を検出する (もっと読む)


【課題】熱変形や自重により熱電子放出領域が変動してもイオン化率の低下を抑制でき、長時間に亘って感度の安定性が良い熱陰極電離真空計を提供する。
【解決手段】熱陰極電離真空計IGは、ヘアピン状に成形されたフィラメント2と筒状の輪郭を有するグリッド3とイオンコレクタ4とを備える。フィラメントを前記グリッド内にヘアピン状に折り返す頂部側から挿設し、このフィラメントの頂部をグリッドの母線方向の中央領域に位置させる。そして、フィラメントに通電してこのフィラメントを点灯させて熱電子を放出させ、フィラメントより高い電位をグリッドに付与し、このグリッド周辺で熱電子と衝突して生じた気体原子、分子の正イオンをイオンコレクタで捕集し、このときのイオン電流から圧力を検出する。 (もっと読む)


【課題】不調または故障の原因を容易に割り出すことができる周囲のガス圧を測定するための装置および方法を提供する。
【解決手段】周囲のガス圧を測定するための装置は、ゲージ・アセンブリーにおいて、真空ゲージ165と、真空ゲージ165に結合された不揮発性メモリ140と、計器の故障後に故障の原因を調査できるように、真空ゲージ165によって検出された測定データを不揮発性メモリ140に保存してエラー事象に応答するマイクロコントローラ380と、を有している。 (もっと読む)


【課題】電子刺激離脱(EDS)によるガス放出量を一層低減することができる電離真空計を提供する。
【解決手段】軸状のイオンコレクタ1と、イオンコレクタ1の径方向の周囲に設けられたコイル状のグリッド2と、グリッド2の外側に設けられた熱電子放出フィラメント3と、グリッド2と導通を確保しつつ支持する支柱部6とを有する電離真空計であって、イオンコレクタ1の径方向において、グリッド2及びフィラメント3に対向する支柱部6の表面を被覆し、フィラメント3よりも低い電位に保たれるコーティング16aを備えることで、支柱部6の表面からのEDSによるガス放出を防ぐことができる。 (もっと読む)


【課題】 フィラメント表面に多量の酸素が吸着しているような場合に、この酸素を可及的速やかに脱離させるようにした酸素検出計を提供する。
【解決手段】 真空容器Wに装着されてその内部の酸素を検出する本発明の酸素検出計M1は、金属製でその表面が酸化物膜で被覆されたフィラメント1と、グリッド2と、フィラメントに直流電流を流すフィラメント用の可変電源E1とを備える。フィラメントとグリッドとの間のエミッション電流が所定値に保持されるように可変電源によりフィラメントに通電してこのフィラメントを点灯させて熱電子を放出させ、このときフィラメントを流れる電流値から酸素を検出する。また、エミッション電流が所定値となるときのフィラメント電流より大きな電流をこのフィラメントに流し得る通電手段E3、SWfを更に備える。 (もっと読む)


【課題】安価、高精度、二系統の計測可能、を目的とした真空計を開発する。
【解決方法】熱陰極計電離真空計に電源と中央演算素子、および、これの付属回路を共有する冷陰極形電離真空形を組込んだ。 (もっと読む)


【課題】ゲージ圧の関数として脱ガス電力レベルを制御することにより、電子衝撃方法および通電加熱方法の脱ガス運転中に熱陰極電離真空計を運転する。
【解決手段】脱ガス電力レベルを上げながら、ゲージ圧の変化率を監視する。監視変化率からゲージ圧が圧力上限を超える可能性があると判断された場合、脱ガス電力の増加を停止あるいは脱ガス電力を減少させる。この運転を所定の最終的脱ガス条件を満たすまで継続する。脱ガス運転が無事終了した後、ディスプレイにその旨を表示する。 (もっと読む)


【課題】真空度の悪い雰囲気および/または活性ガスの雰囲気においても、荷電粒子の平均自由行程を正確かつ簡便に測定可能な平均自由行程を測定する装置、真空計、および平均自由行程を測定する方法を提供すること。
【解決手段】本発明の一実施形態に係る装置1007は、雰囲気ガスから真空的に隔離されたフィラメント111と、真空紫外光330を透過させるUV透明型真空隔壁700と、雰囲気ガス内に設置され真空紫外光330を受けて光電子340を放出する光/電子変換電極610とを有した真空紫外光源600を備える。また、装置1007は、真空紫外光源600からの飛行距離が0以上の距離である荷電粒子の第1の荷電粒子数を検出する第1のコレクタと、上記距離よりも長い距離の荷電粒子の第2の荷電粒子数を検出する第2のコレクタとを備える。上記装置1007の制御部1000は、第1、第2の荷電粒子数の比率から平均自由行程を算出する。 (もっと読む)


【課題】磁界によって感度が変化する真空計の測定子を、磁界中の最適位置に配するように構成された真空処理装置を提供する。
【解決手段】真空処理装置100は、真空ポンプ36により内部が減圧された真空処理室30と、真空処理室30内に磁界を形成する一対の磁界形成手段32、33と、真空処理室30内の圧力を測定できる真空計50と、を備え、真空計50の測定子は、磁界形成手段の対32、33の一方による磁界の強度が、磁界形成手段の対32、33の他方による磁界の強度によって相殺される取り付け空間に配されている。 (もっと読む)


【課題】本発明は、イオンゲージ収集器に到達する汚染物質を削減する方法および装置を提供する。
【解決手段】真空中の気体密度を測定するシステムは、真空計と、真空計を収容するハウジングと、ハウジングの外部表面に固定される磁石とを備える。磁石は可撓性磁気片であり、ハウジングの外部表面の周りに配置される。真空計は、ハウジングの管状部に沿って縦方向に延伸するグリッド絶縁体ポストを含み、磁石は、グリッド絶縁体ポストに隣接するハウジングの外部表面に固定されていて且つグリッド絶縁体ポストに対して横向きにされている。磁石は可撓性磁気片であり、クランプが磁石を、ハウジングの外部表面に固定する。 (もっと読む)


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