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国際特許分類[G01L9/00]の内容

物理学 (1,541,580) | 測定;試験 (294,940) | 力,応力,トルク,仕事,機械的動力,機械的効率,または流体圧力の測定 (8,098) | 電気的または磁気的感圧素子による流体または流動性固体の定常圧または準定常圧の測定;流体または流動性固体の定常圧または準定常圧の測定に用いられる機械的感圧素子の変位の電気的または磁気的手段による伝達または指示 (1,359)

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【課題】積層形液体制御装置の圧力スイッチを構成する環状隙間を通過する漏洩液体の量を少なくする圧力スイッチを提供。
【解決手段】圧力スイッチ15は他のバルブ、例えば上面30aに減圧弁16、下面30bにパイロットチェック弁14と接合するボディ25と、前記ボディ25の一側面に図示しない取付ボルトにより係着されたカバー26と、前記ボディ25に対向した位置にあって前記カバー26の他側面に螺合したリテーナ27と、前記ボディ25及び前記リテーナ27に直交するように前記カバー26の図示しない取付ボルトにより固着されたカバー28と、前記カバー27に取付られたガスケット29と、を備える。 (もっと読む)


【課題】温度補償型の圧力センサモジュールにおいて、温度測定部および温度補償部を備えた温度補償装置と、圧力検出部を備えた圧力センサ装置とが互いに別々の半導体基板に形成された場合であっても、温度測定部が圧力センサ装置の温度を正確に測定することができ、適切に温度補償された圧力値を出力することが可能な圧力センサモジュールを提供する。
【解決手段】本発明の圧力センサモジュールは、圧力を検出する圧力検出部を有する圧力センサ装置と、温度測定部を有し前記温度測定部の出力値に基づいて前記圧力センサ装置の出力値を補償する温度補償装置と、を少なくとも備えてなる圧力センサモジュールであって、前記圧力センサ装置は、前記温度補償装置の前記温度測定部と重なる領域に配置されていること、を特徴とする。 (もっと読む)


【課題】光ファイバ用のファイバガイドを備えた渦式流量計及び相応のファイバガイド自体を提供する。
【解決手段】ファイバガイドは、流量計壁内のファイバ通路、ファイバ通路に突入する、光ファイバに対する接触面を備えた第1のシール部材、光ファイバに対する接触面を備えた第2のシール部材を有しており、第2のシール部材は、流量計壁内の案内部内で案内されていて、ファイバガイドのシール状態において、第2のシール部材はその接触面で第1のシール部材の接触面に調節手段によって押圧されており、これにより第1のシール部材の接触面と第2のシール部材の接触面との間に配置された光ファイバの周面に、第1のシール部材の接触面及び/又は第2のシール部材の接触面が密着して、ファイバ通路が第1のシール部材、第2のシール部材及び第1のシール部材と第2のシール部材との間に案内された光ファイバにより閉塞されている。 (もっと読む)


【課題】流体の大気導入口への干渉を効果的に防止した半導体圧力センサを提供する。
【解決手段】半導体圧力センサは、ケース10と、ケース10内に被測定対象の流体を導入する圧力導入口11と、大気を導入する大気導入口12と、大気圧に対する流体の圧力を測定するセンサチップ20と、を備えている。圧力導入口11及び大気導入口12は、ケース10の同一面側に配設されており、圧力導入口11はケース10の表面に立設された管状の圧力導入部10bに連通しており、大気導入口12は圧力導入部10bに並置された管状の大気圧導入部10cおよびケース10内に連通している。そして、大気圧導入部10cにおける大気導入口12から離間した位置に複数の凹部16が形成されている。 (もっと読む)


【課題】優れた検出精度を有する物理量検出器を提供すること。
【解決手段】本発明の圧力センサー1(物理量検出器)は、外部からの圧力により変位する変位部31を有するダイアフラム3と、ダイアフラム3の外周部32を保持するリング状のリング部21と、ダイアフラム3の一方の面側にてリング部21から内側に突出する突出部22とを有する保持部材2と、突出部22に固定された支持体6と、変位部31に固定された基部51と、支持体6に固定された基部52と、基部51、52間に設けられ、振動が励振される振動部53とを有する圧電振動子5とを備える。 (もっと読む)


【課題】優れた検出精度を有する物理量検出器および物理量検出器の製造方法を提供すること。
【解決手段】本発明の圧力センサー1(物理量検出器)は、受圧により変位する変位部31を含むダイアフラム3と、ダイアフラム3の外周部32を保持する周状のリング部21が設けられている保持部材2と、を備え、リング部21は、リング部21に沿って保持部材2に周状の凹部を設けることにより変位部31の変位方向に突出した凸条24を含み、凸条24にダイアフラム3の外周部32が溶接により接合されている。また、ダイアフラム3の外周部32は、変位部31の変位方向に突出した凸部をなす。 (もっと読む)


【課題】信頼性の向上を図るMEMS素子を提供する。
【解決手段】本実施形態によるMEMS素子は、基板10上に固定された平板形状の第1電極11と、前記第1電極の上方に対向して配置され、上下方向に可動である平板形状の第2電極15と、前記基板上において、前記第1電極および前記第2電極を収納するキャビティ20を有する膜26と、を具備する。前記第2電極は、ばね部16を介して前記基板上に接続されたアンカー部14に接続されるとともに、その上方において前記膜に接続される。 (もっと読む)


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