【課題】 圧力検出装置の検出精度を向上させる。
【解決手段】 圧力検出装置用基体１は、絶縁基板１１と、絶縁基板１１の上面に設けられた第１電極２と、絶縁基板１１の上面に第１電極２を囲んで設けられた枠体１２と、枠体１２上に絶縁基板１１および枠体１２とともに密閉空間１７を形成するように設けられたダイヤフラム１３と、ダイヤフラム１３の下面に設けられた、第１電極２と対向する第２電極３と、ダイヤフラム１３の上面のうち第２電極３と上下に重なり合う部分に設けられた金属層１４と、金属層１４を覆うように設けられたセラミック層１５とを備えている。これにより、金属層１４が変質して圧力が加わった際のダイヤフラム１３の撓み量が変化することを抑制できる。 （もっと読む）

【課題】 圧力検出装置の検出精度を向上させる。
【解決手段】圧力検出装置用パッケージ１は、絶縁基板１１と、絶縁基板１１の上面に設けられた第１電極２と、絶縁基板１１の上面に第１電極２を囲むように設けられた枠体１２と、枠体１２上に絶縁基板１１および枠体１２とともに空間１５を形成するように設けられたダイヤフラム１３と、ダイヤフラム１３の下面に設けられた、第１電極２とともに静電容量を形成する第２電極３と、ダイヤフラム１３の上面のうち枠体１２と上下に重なり合う部分に互いに離して設けられた複数の柱状部材１４とを備えている。複数の柱状部材１４を備えていることにより、検出精度を向上させることができる。 （もっと読む）

【課題】検出の精度を高めることができる物理量検出センサーを提供する。
【解決手段】物理量検出センサー１１は駆動電極２１ａおよび検出電極２２ａを有する。検出電極２２ａは、駆動電極２１ａとの間で静電結合を生じる距離で駆動電極２１ａから離れて配置される。可動部材１５は駆動電極２１ａおよび検出電極２２ａに対向して設けられる。可動部材１５は、物理量の変化に応じて駆動電極２１ａおよび検出電極２２ａに対して相対変位する。自励発振回路２６は、駆動電極２１ａを通じて振動片の自励発振を引き起こす駆動信号を供給する。検出回路２７は、駆動信号に基づき、駆動電極２１ａと検出電極２２ａとの間の静電容量に応じて検出電極２２ａに生じる静電容量信号を検出する。 （もっと読む）

【課題】隔膜気圧計における標準圧室の真空を含む標準気圧の経時変化の問題を根本的に解決するために、隔膜気圧計の標準圧室の気圧が経時変化などで変動しても、標準圧室の標準気圧を計測し、この標準気圧が校正できる隔膜気圧計を提供する。
【解決手段】標準圧室を有する隔膜気圧計において、標準圧室内に熱型気圧センサを備え、その標準圧室内の気圧を常時または必要に応じて計測して、この計測した気圧を標準気圧として利用するようにした。熱伝導型センサとしてシリコン基板を利用し、絶対温度センサを備える。標準圧室の気圧を所望の気圧付近に調整することもできるようにする。 （もっと読む）

【課題】圧力変換器内の、改良された電極と、電極のための取り付け具とを提供する。
【解決手段】圧力変換器アッセンブリは、第１の本体と、第２の本体と、ダイアフラムと、電極とを有する。第１の本体とダイアフラムとは、第１のチャンバを、また、第２の本体とダイアフラムとは、第２のチャンバを形成している。電極は、第１のチャンバ内に配置されている。電極とダイアフラムとの間のキャパシタンスは、チャンバの間の圧力差を表す。電極は、ハブから吊り下げられ、スポーク取り付けされている。幾つかの実施形態では、電極は、完全に金属である。電極は、導電性フィルムが形成されたセラミック製ディスクを有しても良い。このディスクは、セラミック製のロッドを備えたハウジングに結合されている。変換器はまた、温度の変化に応じたねじりを減少するために、ハウジングに接続された、熱係数の低い膨張部材を有する。 （もっと読む）

【課題】 圧力検出装置用パッケージの圧力の測定範囲を拡げる。
【解決手段】 基部１１および基部１１の上部に位置する枠状部１２を有する絶縁基体１と、枠状部１２の内側であって、基部１１の上面に設けられた第１電極層３と、第１電極層３の上面との間に気密封止された空間を形成するように枠状部１２上に接合された、内面が上方に反っているダイヤフラム２と、ダイヤフラム２の内面であって平面視して第１電極層３と重なる領域に設けられた第２電極層４とを備えている圧力検出装置用パッケージ１０である。撓むことのできる範囲を拡げることが可能になるので、圧力の測定範囲を拡げることができる。 （もっと読む）

【課題】 外部の圧力を感度良く検出することができる圧力センサ用パッケージおよび圧力センサを提供することにある。また、圧力センサ用パッケージの製造方法を提供することにある。
【解決手段】 本発明の圧力センサ用パッケージは、内部空間Ｓを有する絶縁構造体１と、内部空間Ｓの互いに対向する内壁面の上側及び下側のそれぞれに設けられた上側電極６及び下側電極５とを備え、内壁面の上側或いは下側の少なくとも一方が、外部からの圧力が印加された際に可撓する可撓領域を有する圧力センサ用パッケージであって、絶縁構造体１には、内部空間Ｓから絶縁構造体１の外表面まで延びる空隙部７が形成されている。 （もっと読む）

【課題】 温度検出機能を備えた圧力検出用パッケージを小型化する。
【解決手段】 絶縁基体１と、絶縁基体１の上面に形成された静止側電極パターン１１と、絶縁基体１上に静止側電極パターン１１を囲むように設けられた枠状部２と、絶縁基体１および枠状部２との間に密閉空間を形成するように枠状部２上に設けられたダイヤフラム３と、ダイヤフラム３の下面に設けられた、静止側電極パターン１１との間に静電容量を形成する可動側電極パターン３１とを備えており、可動側電極パターン３１は温度の変化に応じて抵抗値が変化するものであり、可動側電極パターン３１に接続された、抵抗値を計測するための配線導体７をさらに備えており、可動側電極パターン３１における電流の流れる方向に垂直な断面の断面積が、配線導体７における電流の流れる方向に垂直な断面の断面積よりも小さい圧力検出用パッケージ１０である。 （もっと読む）

【課題】測定する圧力が小さい段階では速やかに撓み変形する一方で、高圧力の状態では徐々に撓むようにダイヤフラムを構成することによって圧力感度特性の直線性を向上させた圧力センサーを提供する。
【解決手段】基台３の面上に順次積層された下部電極膜４及び誘電体膜５と、誘電体膜と対向する位置に薄肉部１１を備えるとともに基台の面上に固定された検出片１０と、薄肉部の少なくとも一部に形成され且つ下部電極膜と対向する位置関係にある上部電極膜１３と、を備え、検出片の下面と該誘電体膜との間に微小ギャップの気密空間Ｓを備えた圧力センサーにおいて、検出片の薄肉部の厚さは全面に亘って均一でない。 （もっと読む）

【課題】圧力検出用部品において、枠状部に求められる寸法精度を低減する。
【解決手段】
圧力検出用部品１０は、絶縁基体１と、絶縁基体１上に設けられた枠状部２と、絶縁基体１との間に密閉空間１３を形成するように枠状部上に設けられたダイヤフラム３と、ダイヤフラム３の絶縁基体１と対向する側の面に相互に離間させて設けられた、静電容量形成用の第１の電極パターン４１および第２の電極パターン４２とを備えている。 （もっと読む）