【課題】塵埃監視方法および生産装置において、簡素な構成であっても、作業室内の塵埃状況をよりよく監視することができるようにする。
【解決手段】作業室２内を測定領域２ａ、２ｂ、２ｃ、２ｄに区画する測定領域区画工程と、作業を試行しつつ、流入口、排気口、境界面におけるエア移動量データを取得する雰囲気ガス移動量データ取得工程と、エア移動量データを記憶する雰囲気ガス移動量データ記憶工程と、を予め行った後、作業を行う際に、測定領域２ａ〜２ｄごとの浮遊塵埃数を測定し、それぞれ全浮遊塵埃数を推定して、時系列の浮遊塵埃数分布を算出する浮遊塵埃数分布算出工程と、エア移動量データを用いて時系列の浮遊塵埃数分布から、測定領域２ａ〜２ｄに対する塵埃の移動収支を算出し塵埃の発生量および付着量を推定する塵埃状況推定工程と、塵埃状況を通知する塵埃状況通知工程と、を行う塵埃監視方法を用いる。 （もっと読む）

【課題】フィルタの欠陥を検知する感度が良く、かつ作業効率に優れるフィルタの検査方法を提供する。
【解決手段】多孔質のフィルタを湿気を含む空気にさらす加湿工程と、加湿工程によって湿った状態にあるフィルタの内部に水粒子を導入してフィルタの内部を通過して流出した水粒子を検出してフィルタの欠陥を検知する検知工程とを有するフィルタの検査方法。 （もっと読む）

【課題】浮遊する粒子が導電性を有するか否かを判別する方法及び装置を提供する。
【解決手段】
浮遊する粒子が導電性を有するか否かを判別する方法であって、
レーザー光発生装置から出射したレーザー光を判別対象の前記浮遊粒子に照射し、
前記照射によって生じる前方散乱光及び後方散乱光を前方散乱光検出器及び後方散乱光検出器によって検出し、
前記前方散乱光強度と前記後方散乱光強度の比率に基づき前記浮遊粒子の導電性の有無を判別する。 （もっと読む）

【課題】不均一な時間的に可変の力場と、一体型の光センサまたはインピーダンス計センサとによって、粒子を特徴付けるおよび／またはカウントするための、方法ならびに装置を提供する。
【解決手段】力場は、粒子（固体、液体、または気体）の安定平衡点のセットによって特徴付けられる、正もしくは負の誘電泳動の場、電気泳動の場、または電気流体力学的運動の場であることが可能である。試料中に存在する各粒子を効率良くカウントするまたは操作することを目的として、そのような粒子の存在を一体型の光センサもしくはインピーダンス計センサによって検出するおよび／またはそのような粒子の種類を特徴付けるために、そのような粒子を決定論的なまたは統計的な手法で移動させることを目的とした、そのような粒子の位置制御を実行することにある。 （もっと読む）

【課題】従来の光散乱方式のHe-Neレーザ媒質あるいは半導体レーザ励起固体レーザを用いたレーザ共振器の粒子検出装置は直径0.1μm以下の粒子を検出できなかった。
【解決手段】BK-7プリズム１に入射された可視レーザ光Vは金層２に入射角θで入射する。金層２において可視レーザ光Vによって近接場の一形態である表面プラズモン共鳴光を励起する。金層２の光入射／反射面と反対面側に付着した微粒子Pによって近接場の一形態である表面プラズモン共鳴光が遠視野場の散乱光SLに変換され、この散乱光SLは光電子倍増管８−１、８−２によって検出される。入射角θは、全反射領域において可視レーザ光Vの金層２の光入射面での反射率Rが最小となる光吸収（プラズモン）ディップ角より小さく光入射面と反対面における入射光の電場強度が最大となる角度である。 （もっと読む）

【課題】 各微粒子一個一個を捕集したままで、各微粒子一個一個の粒子径と成分とを精確に評価することができるようにする。
【解決手段】 試料台１に置いた捕集基板７上の微粒子２に電子ビームを照射し、この電子ビームの照射により散乱された電子を検出して微粒子２を特定すると共に、微粒子２の粒子径を測定する。また、微粒子２に集束イオンビームを照射し、この集束イオンビームの照射により放出される二次イオンを検出して微粒子２の成分分析を行う。 （もっと読む）

【課題】大気中に浮遊するエアロゾル中の含有元素を迅速にかつ精度良くに検知することができるエアロゾル成分元素の検知方法及び検知装置を提供する。
【解決手段】回転可能な集塵電極６と、前記集塵電極６の一方の面に配置された放電電極７と、前記集塵電極６及び放電電極７を収容するエアロゾル成分元素分析箱４と、前記エアロゾル成分元素分析箱４の側壁に設けられエアロゾルを含む雰囲気ガスを前記集塵電極６の他方の面に排出し前記エアロゾル１を前記集塵電極６に集積させるガス導入配管３と、を備えたエアロゾル成分元素の検知装置において、前記集塵電極６を回転させることにより前記集塵電極６に集積したエアロゾルを前記放電電極７に対向させ、放電によって生じるプラズマ光を分析することによりエアロゾル成分元素を検出する。 （もっと読む）

【課題】粒子径に関する３つ以上のパラメータ、または、粒子形状に関する３つ以上のパラメータの比較を容易に行うことができる粒子分析装置を提供する。
【解決手段】粒子分析装置は、撮像対象となる複数の粒子を含有する試料をフローセルに流し、フローセルに流れる試料中の粒子を撮像し、撮像された粒子像を解析し、解析結果を表示する。粒子分析装置に含まれる情報処理装置の表示部には、チャート１３２が表示される。チャート１３２には、３つの試料の特徴が視覚的に比較可能となるレーダチャートが表示されている。このレーダチャートには、粒子径に関する３つのパラメータと、粒子形状に関する３つのパラメータが示されている。このようにレーダチャートが表示されると、３つの試料の特徴が、６つのパラメータに基づいて視覚的に把握され得る。 （もっと読む）

【解決手段】対象の検査方法およびシステムは、対象表面上の望まれないパーティクルを検出するための分光技術の使用を含む。この技術は、望まれないパーティクルと検査対象とが異なる材料により形成されることによる、検査対象と比較したときの望まれないパーティクルの異なる応答に基づく。対象の表面からの二次光子放出の時間分解分光法および／またはエネルギ分解分光法を使用することにより、ラマンおよび光ルミネッセンススペクトルを得ることができる。検査対象は例えばリソグラフィプロセスで使用されるパターニングデバイス、例えばレチクルであってもよい。その場合、例えば金属、金属酸化物、または有機物のパーティクルの存在が検出されうる。この方法および装置は高感度であり、例えばＥＵＶレチクルのパターン形成された側の小さなパーティクル（１００ｎｍ弱、特に５０ｎｍ弱）を検出することができる。 （もっと読む）

特定の抗原性マーカーを表す粒子を識別し計数するための分析方法が、提案される。１つの例（排他的でない）は、血液内のＣＤ４＋Ｔリンパ球分析である。当該方法は、懸濁液内に粒子を有するサンプルを得るステップと、インピーダンスラベルで特定のマーカーを表す粒子をラベル付けするステップと、特定のマーカーを表すラベル付けられた粒子を少なくとも判別するためにデュアル周波数システムを使用して、ラベル付けられたサンプルを測定するステップとを有する。当該方法は、粒子の正確なカウント、例えば血流内のＣＤ４＋Ｔリンパ球の数のカウントを可能にする。対応する装置も提供される。
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