【課題】複数の光ファイバを用いてレーザ光を導光して実施する光音響イメージングにおいて、複数の分岐光と複数の光ファイバとの位置合わせを容易にすることを可能とする。
【解決手段】光音響撮像装置において、異なる位置に入射した２本のレーザ光ＬｘおよびＬｙのうち一方および他方を分岐パターンに従ってそれぞれ第１の複数の分岐光Ｌｘｄおよび第２の複数の分岐光Ｌｙｄとして分岐せしめる１つの分岐ＤＯＥ４０を有する光分岐部１２と、一方の端面１３ｅが分岐パターンに対応して配列した第１の複数の光ファイバ１３ｘを包含する第１のバンドルファイバ１４ｘと、一方の端面１４ｅが分岐パターンに対応して配列した第２の複数の光ファイバ１３ｙを包含する第２のバンドルファイバ１４ｙとを備え、第１の複数の分岐光Ｌｘｄを第１の複数の光ファイバ１３ｘにより導光し、第２の複数の分岐光Ｌｙｄを第２の複数の光ファイバ１３ｙにより導光する。 （もっと読む）

【課題】 従来の装置では、検出器の回転軸上からのみ光が照射されていたため、被検体内で光照射強度のムラができてしまう可能性があった。
【解決手段】 本発明の音響波取得装置は、光を発生させる光源と、前記光が被検体に照射されることにより前記被検体内から発生する音響波を受信する複数の素子が配置された検出器と、を備える。そして、前記検出器を回転させるための回転手段と、前記光源からの光を前記被検体に照射する複数の光照射部と、を有し、前記複数の光照射部は、前記検出器の回転軸以外の位置に少なくとも設けられている。 （もっと読む）

【課題】高付着量でも常に安定した正確な付着量検知とそれを利用した画像形成装置を提供する。
【解決手段】感光体ドラム２１０上のトナー付着量を検知するため、光熱変換作用を検出する音響波検出センサ２０９を用いる。音響波検出センサ２０９は、熱励起レーザ２０７とマイクロフォン２０６とを備え、光源部から照射された光を感光体上に付着しているトナー２０５に入射させ、トナーからの光熱変換信号を検知して付着量を検知する。光源からの光は一定の周波数で強度変調する。照射光が変調されているため、変調周波数に従った空気の圧力変化で音響波が発生しマイクロフォン２０６に到達し、ロックインアンプで変調信号を基準信号として同期検出する。検出されたこの音響波の強度はトナー付着量と相関があり、あらかじめ付着量と音響波強度との検量線を作成しておけば付着量を検出できる。 （もっと読む）

【課題】内部への入射界面および外部への出射界面における透過効率が高く、かつ音響反射界面における反射効率が高い光音響ミラーを提供する。
【解決手段】互いに音速の異なる第一の三角プリズムと第二の三角プリズムとを有し、第一の三角プリズムと第二の三角プリズムが接合面にて接合されており、光が入射する第一の面と、光が出射する第二の面と、第二の面から入射し接合面で反射した音響波が出射する第三の面とを有し、第一の面は、第一の三角プリズムに属し、前記第二の面および第三の面は、第二の三角プリズムに属し、第一の三角プリズム内の音速より、第二の三角プリズムの音速が低い光音響ミラーを用いる。 （もっと読む）

【課題】回折格子の形状特徴物などの小寸法の形状特徴物のプロフィールを見出すためのシステムを提供する。
【解決手段】シード・プロフィールのギャラリが作られ、半導体装置についての製造プロセス情報を用いて該プロフィールに関連する初期パラメータ値が選択される。回折構造および関連するフィルムを測定するとき、反射率Ｒ_s，Ｒ_pなどのいろいろな放射パラメータおよび楕円偏光パラメータを使用することができる。放射パラメータのうちのあるものは、該プロフィールまたは該フィルムのパラメータ値の変化に対してより敏感な１つ以上の放射パラメータを選択してより精密な測定に到達することができる。プロフィール・パラメータのエラーを補正するために上述した手法をトラック／ステッパおよびエッチャに供給してリソグラフィおよびエッチングのプロセスを制御することができる。 （もっと読む）

【課題】高コスト化及び大型化を招くことなく、対象物を従来よりも精度良く特定することができる光学センサを提供する。
【解決手段】 光源１１、コリメートレンズ１２、受光器１３、偏光フィルタ１４、受光器１５、及びこれらが収納される暗箱などを有している。そして、受光器１３は、内部拡散反射光に含まれるＰ偏光成分を受光し、受光器１５は、表面正反射光を主として受光するように配置されている。この場合は、受光器１３の出力信号と、受光器１５の出力信号とから、記録紙の銘柄を特定することが可能となる。 （もっと読む）

【課題】保持板で被検体を保持しながら光音響波を測定する光音響測定などにおいて、被検体有無の判定を比較的短時間で簡易に行うことができる光音響測定装置及び方法を提供する。
【解決手段】光音響測定装置は、被検体１０１に光を照射する照射部１０３と、保持板１０２により被検体を保持する保持部と、光照射により生じる光音響波を検出する検出部１０４と、光音響波による光音響信号を解析する解析部１０６を備える。解析部１０６は、光音響信号を解析することで、検出部と保持板との界面及び保持板と被検体との界面のうちの少なくとも一方で生じる光音響波による光音響信号の成分の信号強度の変化情報を取得して、被検体１０１の有無を判定する。 （もっと読む）

【課題】連続的な広い周波数範囲にわたって信号対雑音比のよい測定ができる分光装置を提供する。
【解決手段】インコヒーレント光の光源であるブロードエリア半導体レーザ１と、インコヒーレント光を平行化して集光する一対のレンズ２ａ、２ｂと、一対のレンズ２ａ、２ｂを通過したインコヒーレント光を通過させるためのピンホールが形成されたピンホール部材６と、ピンホールを通過したインコヒーレント光を２つに分割するビームスプリッタ７と、分割された後の２つのインコヒーレント光のうちの一方のインコヒーレント光の照射に基づき第１電磁波を放射する電磁波放射用光伝導素子８と、第１電磁波を試料に透過または反射させた第２電磁波と上記２つのインコヒーレント光のうちの他方のインコヒーレント光とが入射され、第２電磁波と他方のインコヒーレント光との相互相関信号を得る電磁波検出用光伝導素子９とを備える。 （もっと読む）

【課題】薄膜化されたレジストを有する測定パターンの構造をスキャトロメトリ法で測定する場合、構造を十分な測定感度で測定できない部位が生じ、測定パターンの構造を精度良く測定できないことがある。
【解決手段】光源２０１は、光ビームを測定パターン３０１に照射するスペクトル測定部２０４は、光ビームの測定パターン３０１による反射回折光のスペクトルである実スペクトルを検出する。制御部２０５は、実スペクトルと、予め用意されたモデルパターンから算出される理論スペクトルとの波形フィッティングを、その実スペクトル内の複数の波長領域のそれぞれについて行い、測定パターンの構造を測定する。 （もっと読む）

【課題】均一かつ効率的に生体表面を照明することが可能な光音響測定装置を提供する。
【解決手段】光源と、被検体を保持する可動な保持手段と、前記光源から入射する光を拡散する、前記保持手段との距離が固定された光拡散手段と、前記保持手段および前記光拡散手段ごしに照射された光により前記被検体から発生する音響波を取得する音響波取得手段と、を有する光音響測定装置を用いる。 （もっと読む）