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国際特許分類[G01N21/00]の内容

物理学 (1,541,580) | 測定;試験 (294,940) | 材料の化学的または物理的性質の決定による材料の調査または分析 (128,275) | 光学的手段,すなわち.赤外線,可視光線または紫外線を使用することによる材料の調査または分析 (28,618)

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シリコン基板上の1組の高濃度ドープ領域を1組の低濃度ドープ領域から識別する方法が開示される。この方法は、シリコン基板を提供することを含み、このシリコン基板は、1組の低濃度ドープ領域および1組の高濃度ドープの領域で構成されている。この方法は、電磁放射源でシリコン基板を照明することをさらに含み、この電磁放射源は、約1100nmを超える波長の光を送出する。この方法は、1組の低濃度ドープ領域、および1組の高濃度ドープ領域の波長吸収をセンサーで測定することも含み、約1100nmを超えるいかなる波長に対しても、低濃度ドープ領域中の波長の吸収百分率は、高濃度ドープ領域中の波長の吸収百分率より相当に下回る。
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【課題】強磁性体の異方性磁場等の磁気光学特性を精度よく、安価で簡便に測定する磁気光学特性測定装置及び磁気光学特性の測定方法を提供する。
【解決手段】磁気光学特性測定装置1は、レーザ光源2が試料Fの磁化の光励起歳差運動の周期に同期可能な高繰り返し周期の光パルス列を発生し試料に照射するモードロックレーザであり、外部磁場印加手段4が試料に所定の外部磁場を電磁石により印加させ、偏光検出器5は光パルス列が試料で反射した反射光を検出して、偏光成分を磁気光学信号として出力し、制御装置6が外部磁場印加手段を制御して試料の磁化の光励起歳差運動が光パルス列の周期に同期したときの外部磁場と磁気光学信号とを共鳴条件として取得し、共鳴条件での光パルス列の周期と外部磁場の強度と磁気光学信号とを用いてLLG方程式に基づき試料の磁気光学特性である有効内部磁場又は異方性磁場とダンピングファクタとを算出する。 (もっと読む)


【課題手段】対象物1を光音響イメージングする装置100は照明装置10と検出装置20と容器装置50とを有する。照明装置10は対象物1を照射する光学部品を有する。検出装置20は対象物1で生成される音響信号を検出する。容器装置50は検出装置20と対象物1と適合伝達媒体53とを収容するタンク51を有する。容器装置50は照射装置10及び検出装置20に対して対象物1を位置決め及び移動する保持装置55を有する。光学部品は異なる方向から対象物1を照射するようタンク51内に配置される。検出装置20はタンク51内に配置される検出器要素22のアレイ21を有する。好ましい態様では保持装置は対象物1を収容する膜55を備え、膜は対象物1と媒体53とを互いから分離する。画像化装置100を用いて対象物1を光音響イメージングする方法を開示する。 (もっと読む)


【課題】光デバイスの特性を精度よく且つ低コストにて測定する方法および装置を提供する。
【解決手段】光源100と、前記光源からの光の偏光方向を調整する偏光子104と、前記偏光方向が調整された光を伝搬する光ファイバー106と、所定位置に配置され、複屈折性を有するフィルターを含む光デバイス120の入力端子の位置に対し、前記光ファイバー106の出力端部の位置を調整する調芯手段108と、前記光ファイバー106を介して前記入力端子から前記光デバイス120に入力され、この光デバイスを透過した光のうち、前記フィルター120から出力された光を検出する検出手段132と、前記調整された光の偏光方向と、前記検出された光の周波数および強度とに基づいて前記フィルターから出力された光の偏光方向を分析する偏光方向分析手段138とを少なくとも備える。 (もっと読む)


【課題】製造された全ての半導体基板の所定の測定点における少なくとも応力と膜厚とを自動的に測定し、かつ、的確に分析して高性能で生産性よい基板製造工程の確立に寄与する基板検査装置を提供できるようにする。
【解決手段】測定対象ウェハ3を移動可能な試料台4上に搬送する搬送装置と、試料台4上のウェハ3表面の測定点Pを観察する光学顕微鏡10と、その測定点Pに多波長の偏光された光L3を照射してウェハ表面に関する情報を出力するエリプソメータ光学系40と、ウェハ3の測定点Pにレーザ光を照射してウェハ3に関する他の情報を出力するラマン分光光学系20と、それら情報を用いて膜厚・屈折率及び応力・組成などの物理情報を解析し出力するコンピュータ60とを備えている。 (もっと読む)


【課題】
密封容器(103)を評価する方法および装置を提供する。
【解決手段】
上記容器の外部から上記容器に向けて狭帯域レーザ光源(101)から光が放射される。上記容器内で散乱された上記光の吸収信号(105)が測定され、上記光が散乱されて上記密封容器内を伝わるとき上記吸収は上記少なくとも一つのガスによって生じる。測定は上記容器の外部で行なわれるため、上記評価は上記容器に関して非侵入的である。上記測定された吸収信号に基づいて上記密封容器内の所定の予想されるガス組成および/または上記少なくとも一つのガスの濃度からの偏差が存在するかどうかが判断される。それゆえ、上記ガスに対する上記容器の密封性が検出される。 (もっと読む)


【課題】試料に含まれる複数成分のばらつきや温度等の環境因子の擾乱を除外でき、測定対象の成分濃度を高精度に同定することを可能にする成分濃度分析装置及び成分濃度分析方法を提供することを目的とする。
【解決手段】本成分濃度分析装置は、波長可変な2つの光を逆位相の同一周波数の信号でそれぞれ強度変調して混合した混合光を生成し、前記混合光を試料に照射して前記試料から発生する音波を検出し、前記音波から前記2つの光毎のスペクトルデータを取得する光音響信号検出手段と、光音響信号検出手段が取得した前記2つの光毎のスペクトルデータの差分を計算し、前記試料に含まれる測定対象成分の濃度を測定する演算手段と、を備える。 (もっと読む)


材料内のイオン注入ドーズ量を測定するための方法及び装置は、(i)材料の注入面による反射スペクトルを測定する工程、ここで注入面は注入面から材料内のある深さまでの材料層及びこの材料層の下の脆弱層を形成するためにイオン注入プロセスにかけられている、(ii)反射スペクトル強度値を注入面への入射光のそれぞれの波長の関数として格納する工程、及び(iii)入射光の少なくとも2つの波長における少なくとも2つの対応する反射スペクトル強度値の比較に基づいてイオン注入プロセス中に用いられたイオン注入ドーズ量を計算する工程を含む。
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生体外でインタクトなリンパ節などの固形組織(12)内の検体を検出するために好ましいシステムは、完全にインタクトなリンパ節などの固形組織に向けてパルス状レーザービームを発生するために配置されたレーザー(22)を含む。このリンパ節内で生じた光音響信号を検出するために、音響検知器、好ましくは、少なくとも3つの音響検知器(20a,20b,20c)が、XYZ座標系などで三次元空間を測るために異なる位置に配置されている。少なくとも1つのコンピューター(28)が音響検知器からの信号を受け取る。コンピューターは、信号及び信号のタイミングから、検体の有無、好ましくは、検体の位置を決定する。生体外でリンパ節内の検体を検出するための好ましい方法は、抽出したリンパ節をパルス状レーザービームに被曝させることを含む。このとき、音響信号が検知される。音響信号は、リンパ節内の検体の有無を確認するため解析される。好ましくは、三次元空間を測る複数の検知器から複数の光音響信号が検知され、検体の位置も決定される。 (もっと読む)


【課題】試料に含まれる複数成分のばらつきや温度等の環境因子の擾乱を除外でき、測定対象の成分濃度を高精度に同定することを可能にする成分濃度分析装置及び成分濃度分析方法を提供することを目的とする。
【解決手段】本成分濃度分析装置は、波長可変な2つの光を逆位相の同一周波数の信号でそれぞれ強度変調して混合した混合光を生成し、前記混合光を試料に照射して前記試料から発生する音波を検出し、前記音波から前記2つの光毎のスペクトルデータを取得する光音響信号検出手段11と、光音響信号検出手段11が取得した前記2つの光毎のスペクトルデータの差分を計算し、前記試料に含まれる測定対象成分の濃度を測定する演算手段12と、を備える。 (もっと読む)


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