【課題】強磁性体の異方性磁場等の磁気光学特性を精度よく、安価で簡便に測定する磁気光学特性測定装置及び磁気光学特性の測定方法を提供する。
【解決手段】磁気光学特性測定装置１は、レーザ光源２が試料Ｆの磁化の光励起歳差運動の周期に同期可能な高繰り返し周期の光パルス列を発生し試料に照射するモードロックレーザであり、外部磁場印加手段４が試料に所定の外部磁場を電磁石により印加させ、偏光検出器５は光パルス列が試料で反射した反射光を検出して、偏光成分を磁気光学信号として出力し、制御装置６が外部磁場印加手段を制御して試料の磁化の光励起歳差運動が光パルス列の周期に同期したときの外部磁場と磁気光学信号とを共鳴条件として取得し、共鳴条件での光パルス列の周期と外部磁場の強度と磁気光学信号とを用いてＬＬＧ方程式に基づき試料の磁気光学特性である有効内部磁場又は異方性磁場とダンピングファクタとを算出する。 （もっと読む）

シリコン基板上の１組の高濃度ドープ領域を１組の低濃度ドープ領域から識別する方法が開示される。この方法は、シリコン基板を提供することを含み、このシリコン基板は、１組の低濃度ドープ領域および１組の高濃度ドープの領域で構成されている。この方法は、電磁放射源でシリコン基板を照明することをさらに含み、この電磁放射源は、約１１００ｎｍを超える波長の光を送出する。この方法は、１組の低濃度ドープ領域、および１組の高濃度ドープ領域の波長吸収をセンサーで測定することも含み、約１１００ｎｍを超えるいかなる波長に対しても、低濃度ドープ領域中の波長の吸収百分率は、高濃度ドープ領域中の波長の吸収百分率より相当に下回る。
（もっと読む）

【課題手段】対象物１を光音響イメージングする装置１００は照明装置１０と検出装置２０と容器装置５０とを有する。照明装置１０は対象物１を照射する光学部品を有する。検出装置２０は対象物１で生成される音響信号を検出する。容器装置５０は検出装置２０と対象物１と適合伝達媒体５３とを収容するタンク５１を有する。容器装置５０は照射装置１０及び検出装置２０に対して対象物１を位置決め及び移動する保持装置５５を有する。光学部品は異なる方向から対象物１を照射するようタンク５１内に配置される。検出装置２０はタンク５１内に配置される検出器要素２２のアレイ２１を有する。好ましい態様では保持装置は対象物１を収容する膜５５を備え、膜は対象物１と媒体５３とを互いから分離する。画像化装置１００を用いて対象物１を光音響イメージングする方法を開示する。 （もっと読む）

【課題】光デバイスの特性を精度よく且つ低コストにて測定する方法および装置を提供する。
【解決手段】光源１００と、前記光源からの光の偏光方向を調整する偏光子１０４と、前記偏光方向が調整された光を伝搬する光ファイバー１０６と、所定位置に配置され、複屈折性を有するフィルターを含む光デバイス１２０の入力端子の位置に対し、前記光ファイバー１０６の出力端部の位置を調整する調芯手段１０８と、前記光ファイバー１０６を介して前記入力端子から前記光デバイス１２０に入力され、この光デバイスを透過した光のうち、前記フィルター１２０から出力された光を検出する検出手段１３２と、前記調整された光の偏光方向と、前記検出された光の周波数および強度とに基づいて前記フィルターから出力された光の偏光方向を分析する偏光方向分析手段１３８とを少なくとも備える。 （もっと読む）

【課題】製造された全ての半導体基板の所定の測定点における少なくとも応力と膜厚とを自動的に測定し、かつ、的確に分析して高性能で生産性よい基板製造工程の確立に寄与する基板検査装置を提供できるようにする。
【解決手段】測定対象ウェハ３を移動可能な試料台４上に搬送する搬送装置と、試料台４上のウェハ３表面の測定点Ｐを観察する光学顕微鏡１０と、その測定点Ｐに多波長の偏光された光Ｌ₃を照射してウェハ表面に関する情報を出力するエリプソメータ光学系４０と、ウェハ３の測定点Ｐにレーザ光を照射してウェハ３に関する他の情報を出力するラマン分光光学系２０と、それら情報を用いて膜厚・屈折率及び応力・組成などの物理情報を解析し出力するコンピュータ６０とを備えている。 （もっと読む）

【課題】
密封容器（１０３）を評価する方法および装置を提供する。
【解決手段】
上記容器の外部から上記容器に向けて狭帯域レーザ光源（１０１）から光が放射される。上記容器内で散乱された上記光の吸収信号（１０５）が測定され、上記光が散乱されて上記密封容器内を伝わるとき上記吸収は上記少なくとも一つのガスによって生じる。測定は上記容器の外部で行なわれるため、上記評価は上記容器に関して非侵入的である。上記測定された吸収信号に基づいて上記密封容器内の所定の予想されるガス組成および／または上記少なくとも一つのガスの濃度からの偏差が存在するかどうかが判断される。それゆえ、上記ガスに対する上記容器の密封性が検出される。 （もっと読む）

【課題】試料に含まれる複数成分のばらつきや温度等の環境因子の擾乱を除外でき、測定対象の成分濃度を高精度に同定することを可能にする成分濃度分析装置及び成分濃度分析方法を提供することを目的とする。
【解決手段】本成分濃度分析装置は、波長可変な２つの光を逆位相の同一周波数の信号でそれぞれ強度変調して混合した混合光を生成し、前記混合光を試料に照射して前記試料から発生する音波を検出し、前記音波から前記２つの光毎のスペクトルデータを取得する光音響信号検出手段と、光音響信号検出手段が取得した前記２つの光毎のスペクトルデータの差分を計算し、前記試料に含まれる測定対象成分の濃度を測定する演算手段と、を備える。 （もっと読む）

材料内のイオン注入ドーズ量を測定するための方法及び装置は、(ｉ)材料の注入面による反射スペクトルを測定する工程、ここで注入面は注入面から材料内のある深さまでの材料層及びこの材料層の下の脆弱層を形成するためにイオン注入プロセスにかけられている、(ii)反射スペクトル強度値を注入面への入射光のそれぞれの波長の関数として格納する工程、及び(iii)入射光の少なくとも２つの波長における少なくとも２つの対応する反射スペクトル強度値の比較に基づいてイオン注入プロセス中に用いられたイオン注入ドーズ量を計算する工程を含む。
（もっと読む）

生体外でインタクトなリンパ節などの固形組織（１２）内の検体を検出するために好ましいシステムは、完全にインタクトなリンパ節などの固形組織に向けてパルス状レーザービームを発生するために配置されたレーザー（２２）を含む。このリンパ節内で生じた光音響信号を検出するために、音響検知器、好ましくは、少なくとも３つの音響検知器（２０ａ，２０ｂ，２０ｃ）が、ＸＹＺ座標系などで三次元空間を測るために異なる位置に配置されている。少なくとも１つのコンピューター（２８）が音響検知器からの信号を受け取る。コンピューターは、信号及び信号のタイミングから、検体の有無、好ましくは、検体の位置を決定する。生体外でリンパ節内の検体を検出するための好ましい方法は、抽出したリンパ節をパルス状レーザービームに被曝させることを含む。このとき、音響信号が検知される。音響信号は、リンパ節内の検体の有無を確認するため解析される。好ましくは、三次元空間を測る複数の検知器から複数の光音響信号が検知され、検体の位置も決定される。 （もっと読む）

【課題】試料に含まれる複数成分のばらつきや温度等の環境因子の擾乱を除外でき、測定対象の成分濃度を高精度に同定することを可能にする成分濃度分析装置及び成分濃度分析方法を提供することを目的とする。
【解決手段】本成分濃度分析装置は、波長可変な２つの光を逆位相の同一周波数の信号でそれぞれ強度変調して混合した混合光を生成し、前記混合光を試料に照射して前記試料から発生する音波を検出し、前記音波から前記２つの光毎のスペクトルデータを取得する光音響信号検出手段１１と、光音響信号検出手段１１が取得した前記２つの光毎のスペクトルデータの差分を計算し、前記試料に含まれる測定対象成分の濃度を測定する演算手段１２と、を備える。 （もっと読む）