【課題】音響光学トモグラフィを利用して被検体の吸収特性及び散乱特性を高精度に測定することができる測定装置及び測定方法を提供する。
【解決手段】測定装置は、被検体内部を伝播した超音波を検出して超音波信号を得る第二トランスデューサアレイ９と、変調光と非変調光を検出して光信号を得る光検出器８と、超音波信号と光信号に基づいて被検体内部の音響特性分布を算出し、当該音響特性分布に基づいて前記被検体の前記被測定領域における音響量を算出する音響量解析部１４と、音響量解析部１４が算出した音響量を変調度に代入することによって散乱特性と吸収特性の少なくとも一方を求める音響光信号解析部１５と、を有する。 （もっと読む）

【課題】熱処理時に処理対象基板にダメージを与えることを防止することができる熱処理装置を提供する。
【解決手段】光学測定系を用いてパターン形成がなされていない反射率が既知の無地ウェハーおよび実際に処理対象となる半導体ウェハーの反射強度を測定する。それぞれの反射強度にはスペクトル分解処理がなされる。そして、反射率が既知の無地ウェハーの反射強度から反射率が１００％の理想鏡に光を照射したときに得られるはずの理想反射強度を算出する。理想反射強度と無地ウェハーの反射強度とから無地ウェハーが吸収した光エネルギー値が算出され、理想反射強度と処理対象ウェハーの反射強度とから処理対象ウェハーが吸収した光エネルギー値が算出される。これらに基づいて無地ウェハーに対する処理対象ウェハーの光エネルギー吸収比率が算出される。 （もっと読む）

【課題】半導体製造装置のチャンバあるいは搬送経路などの分析対象部に残留する物質を検出できる半導体装置の製造装置、残留成分の分析装置及び分析方法を提供する。
【解決手段】半導体製造のための所定の処理工程のために内部に基板が保持され、あるいは、処理工程の前後において内部に基板が搬送または収容される半導体装置の製造装置を構成する部分であり、内部における残留成分の分析対象となる分析対象部（１）と、分析対象部の内部に存在する残留成分から発せられる電磁波を受信する受信部５と、受信部で受信されて得られた信号を分光する分光部６とを有し、上記のように分光することにより、分析対象部の内部における残留成分を分析する。 （もっと読む）

【課題】 周囲の媒質よりも光吸収係数の低い組織と高い組織とを区別して画像化することのできる光音響イメージング装置および光音響イメージング方法を提供する。
【解決手段】 光吸収体のイメージングを行う光音響イメージング装置であって、光源と、光源から照射された光エネルギーを吸収した光吸収体から発生する音響波を検出する検出器と、光吸収体の画像を形成する信号処理部を有する。この信号処理部は、検出器により検出された音響波を波形処理する前に、該音響波の圧力変化時における変化率の正負を記憶する。 （もっと読む）

【課題】複雑な表面構造を有する対象物の表面トポグラフィおよび／または他の特性を、走査干渉分光法を用いて測定する。
【解決手段】試験対象物の第１の表面箇所に対する走査干渉分光信号から導出可能な情報と試験対象物の複数のモデルに対応する情報とを比較することを含む方法であって、複数のモデルは、試験対象物に対する一連の特性によってパラメータ化される方法。複数のモデルに対応する情報は、試験対象物の各モデルに対応する走査干渉分光信号の変換分（例えば、フーリエ変換分）の少なくとも１つの振幅成分についての情報を含んでもよい。第２の側面では、モデルは固定された表面高さに対応するとともに、固定された表面高さとは異なる一連の特性によってパラメータ化されている。第３の側面では、比較は、走査干渉分光信号の系統的な影響を明確にすることを含む。 （もっと読む）

【課題】音響光学効果を利用した生体情報測定装置において、適切な解像度による測定を可能とする技術を提供する。
【解決手段】生体情報測定装置は、被検体に光を照射する光源１０７と被検体内の測定位置を通過した光を検出する光検出器１２０とを有し、超音波による音響光学効果を利用して測定位置の情報を取得する。この生体情報測定装置は、互いに異なる方向の超音波ビームを送信する複数のトランスデューサアレイ１０５、１０６と、複数の超音波ビームが測定位置においてそれぞれ集束し、且つ、互いに交わるようにトランスデューサアレイを制御する重畳領域制御部１１４と、測定位置と各トランスデューサアレイとの間の距離に応じて、複数の超音波ビームの測定位置における音圧比を制御する音圧比制御部１１６と、を備える。 （もっと読む）

【課題】ＡＯＴとＤＯＴを利用して被検体の分光特性を高精度に測定することができる測定装置及び測定方法を提供する。
【解決手段】被検体１０の内部の分光特性を拡散光トモグラフィを利用して測定する第一の測定手段と、被検体の内部の分光特性を音響光学トモグラフィを利用して測定する第二の測定手段と、前記第一の測定手段と前記第二の測定手段のうち、前記被検体の内部に設定された被測定領域を測定する解像度が高い方を使用して前記被検体の前記被測定領域の散乱特性と吸収特性の少なくとも一方を算出する制御部１と、を有する測定装置１００を提供する。 （もっと読む）

【課題】 被検体の吸収特性の分布を高解像度に測定することが可能な生体情報処理装置及び生体情報処理方法を提供する。
【解決手段】 本発明の生体情報処理装置は、生体に光を照射するための光源１と、生体の局所領域に対して超音波を照射するための超音波送信部としてのトランスデューサ５と、局所領域において超音波によって光源からの光が変調を受けた変調光を検出するための光検出部８と、光源からの光を受けて局所領域から発生した音響波を検出するための音響波検出部としてのトランスデューサ５と、を有する。そして、光検出部８の出力である変調信号から算出した局所領域での光強度に基づいて、音響波検出部５からの出力である音響信号から局所領域の吸収特性を算出することを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】光音響トモグラフィーにおいて、生体内の吸収係数（μ_ａ）の分布をより正確に画像化するための技術を提供する。
【解決手段】生体情報処理装置は、生体１００に光１０１を照射する光源１０２と、生体内の光吸収体１０４が光を吸収することによって発生する音響波１０５を検出し、電気信号に変換する音響波検出器１０６と、生体の形状を測定する測定部１０７と、測定された生体の形状に基づいて生体内の光量分布を決定し、電気信号と光量分布とから生体内部の情報を画像化する信号処理部１０８と、を備える。 （もっと読む）

【課題】 吸収体の位置と大きさを高精度に画像化できる生体情報取得装置を提供する。
【解決手段】 本発明の生体情報取得装置は、光を被検体に照射して発生した音響波を検出し電気信号に変換する素子を複数配列した音響波検出器と、前記音響波検出器を移動させる移動制御手段と、前記電気信号に基づき生体情報画像を再構成する信号処理装置と、を有する。前記音響波検出器は、第１の位置で音響波を検出し、前記移動制御手段により前記音響波検出器は、前記第１の位置と重複する領域を有する第２の位置に移動して、前記第２の位置で前記音響波を検出し、前記信号処理装置により、前記重複する領域では前記第１及び第２の位置で得た電気信号を利用して生体情報画像を再構成する。 （もっと読む）