【課題】パターンを有する位相差フィルムの領域の直線性又はピッチの精度を簡単に評価しうる評価方法を提供する。
【解決手段】光源と基準部材と位相差フィルムと着脱可能な偏光フィルターと光検出器とをこの順に備える評価系において、基準部材は偏光子を備え且つ一の基準方向に延在する透光領域を有し、位相差フィルムは、面内に均一な位相差を有する第一位相差フィルムと、一方向に延在する複数の異方性領域及び等方性領域を面内において交互に有する第二位相差フィルムとを備え、基準部材の基準方向における複数の地点を偏光フィルターを装着せずに観察して、基準方向に平行な基準線を前記複数の地点で同様に設定することと、偏光フィルターを装着して観察して、基準線と光が検出された部分の縁部とのズレ量を測定することとを行い、ズレ量の相違から異方性領域及び等方性領域の直線性を評価する。 （もっと読む）

【課題】２媒質法や２波長による屈折率分布測定において、媒質や波長ごとに照明光学系の瞳の大きさが異なっていても高精度な屈折率分布の測定を可能とする。
【解決手段】屈折率分布測定方法は、第１および第２の媒質中にそれぞれ配置された被検光学素子を透過した光の波面の計測値である第１および第２の波面計測値を取得し、第１および第２の媒質中に配置された被検光学素子における光の透過領域に対応する照明光学系における光の透過領域である第１および第２の光線透過領域を計算し、第１および第２の光線透過領域に対応する照明光学系の波面収差の計算値である第１および第２の波面収差を計算し、第１および第２の波面計測値を第１および第２の波面収差を用いて補正し、これら補正波面を用いて被検光学素子の屈折率分布を計算する。 （もっと読む）

【課題】空気によって少なくとも部分的に吸収される光を使用するよう設計され、かつ、より能率的なパージングシステムを有する、光学ツールのための方法を開発する。
【解決手段】試験体の測定のための方法において、該試験体の反射率測定データおよび分光偏光解析データを測定する工程と、該反射率測定データから、該試験体上に形成された窒化酸化物ゲート誘電体の厚さを判定する工程と、該厚さおよび該分光偏光解析データから、窒化酸化物ゲート誘電体の屈折率を判定する工程と、該屈折率から、該窒化酸化物ゲート誘電体の窒素濃度を判定する工程と、を含む。 （もっと読む）

【課題】高感度の分光散乱計を提供する。
【解決手段】半導体ウェハ上の回折構造体からの回折の前に、必要な場合は、分光反射率計または分光エリプソメータを使って構造体の下に位置する膜の膜厚と屈折率とをまず測定する。そして、厳密なモデルを使って回折構造体の強度またはエリプソメトリックな署名を計算する。次に、偏光放射線および広帯域放射線を用いた分光散乱計を使って回折構造体を測定して回折構造体の強度またはエリプソメトリックな署名を得る。この署名をデータベース内の署名と適合させて構造体の格子型パラメータを判定する。 （もっと読む）

【課題】製造工程の複雑化を防止すると共に、光照射で発生した励起キャリアを効率良くテラヘルツ電磁波の発生または検出に用いることができる光伝導基板等を提供する。
【解決手段】基板３と、基板３上に積層され、基板３のバンドギャップよりも大きなバンドギャップを有するキャリア移動防止層５１とキャリア移動防止層５１上に積層され、基板３のバンドギャップ以上のバンドギャップを有すると共に、キャリア移動防止層５１のバンドギャップよりも小さなバンドギャップを有する半導体層５２と、を備え、半導体層５２が、ＧａＡｓを低温でエピタキシャル成長させた層である。 （もっと読む）

【課題】被検査ガスが空気が未知の割合で混入されたものであっても、被検査ガスにおける燃焼性ガスの検出、および当該被検査ガスを構成する燃焼性ガスの燃焼熱量の検知を容易に行うことのできる燃焼性ガスの検知方法、および燃焼性ガスの検知装置を提供すること。
【解決手段】燃焼性ガスの検知方法は、空気と共に採取される、パラフィン系炭化水素ガスよりなる燃焼性ガス（以下、「パラフィン系ガス」という。）を含有する可能性のある被検査ガスの屈折率および密度を測定し、得られた屈折率の値ｎ１の空気の屈折率の値ｎ０との差△ｎ（ｎ１−ｎ０）と、得られた密度の値ｄ１の空気の密度の値ｄ０との差△ｄ（ｄ１−ｄ０）とから算出される比（△ｄ／△ｎ）に基づいて、予め取得された、パラフィン系ガスの屈折率に対する密度の比と、当該燃焼性ガスの燃焼熱量との相関関係から、被検査ガスを構成する燃焼性ガスの熱量を求めることを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】生体の動態の定量的な評価をより容易に実現することができるようにする。
【解決手段】蛍光指示薬により染色された生体に流入する化学物質の濃度変化を表す蛍光像を解析し、蛍光の強度を示す蛍光強度データを算出する蛍光解析部と、前記生体の動きを表す位相差像を解析し、動き量を示す動き量データを算出する動き量解析部と、前記蛍光解析部により算出された前記蛍光強度データ、および、前記動き量算出部により算出された前記動き量データを用いた評価に関する処理を行う評価部とを備える。本開示は画像処理装置に適用することができる。 （もっと読む）

【課題】短時間のうちに高精度にガスバリア性を評価することを可能とするガスバリア性積層フィルムの検査方法を提供する。
【解決手段】基材２と、基材２に形成されたガスバリア膜３と、を有するガスバリア性積層フィルム１の検査方法であって、ガスバリア膜３の屈折率を測定し、当該屈折率の測定値と、予め測定したガスバリア膜３のガス透過度とガスバリア膜３の屈折率との関係とから、ガスバリア膜３のガスバリア性を判定することを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】本発明は、取得したスペクトルから基板上に形成した膜の複数の測定点に対する光学定数を唯一の値として求めることができる光学特性測定装置および光学特性測定方法を提供する。
【解決手段】本発明は、光源１０と、検出器４０と、データ処理部５０とを備えている。データ処理部５０は、モデル化部と、解析部と、フィッティング部とを備えている。複数の膜モデル式を連立させ、複数の膜モデル式に含まれる光学定数が同一であるとして所定の演算を行ない、算出した膜の膜厚および光学定数を膜モデル式に代入して得られる波形と、検出器４０で取得した波長分布特性の波形とのフィッティングを行なうことにより、複数の膜モデル式に含まれる光学定数が同一で、解析部で算出した膜の膜厚および光学定数が正しい値であることを判定する。 （もっと読む）

【課題】好適に接着剤の硬化状態を測定することのできる装置を提供する。
【解決手段】硬化状態測定装置１０は、先端面から光を出射する第２光ファイバ２６と、接着剤３６を保持するプローブ１８であって、第２光ファイバ２６の先端面に接着剤３６が接触した状態で接着剤３６に光を照射するプローブ１８と、第２光ファイバ２６の先端面と接着剤３６との界面で反射した後、第２光ファイバ２６に戻った光を検出する検出器２０と、第２光ファイバ２６の先端面からの出射光量に対する検出器２０での検出光量の割合から、接着剤３６の屈折率を算出するコンピュータ２２とを備える。 （もっと読む）