【課題】広い波長帯域の光から特定の波長を抽出可能な波長可変干渉フィルター、光学フィルターデバイス、光学モジュール、及び電子機器を提供する。
【解決手段】波長可変干渉フィルター５は、第一反射膜５５１及び第三反射膜５５３を有する第一基板５１と、第一反射膜５５１に第一ギャップＧ１を介して対向する第二反射膜５５２を有する第二基板５２と、第三反射膜５５３に第二ギャップＧ２を介して対向する第四反射膜５５４を有する第三基板５３と、第一ギャップＧ１を変更する静電アクチュエーター５６とを備え、平面視において各反射膜が重なる光干渉領域Ａｒ０を有し、第一及び第二反射膜５５１，５５２により構成される波長可変干渉部５７の複数の測定対象波長域のうちいずれか１つは、第三及び第四反射膜５５３，５５４により構成される波長固定干渉部５８の複数の透過可能波長域のうちのいずれか１つと重なる。 （もっと読む）

【課題】透過率が高い導電性透明電極パターンや微細な金属配線のパターンを、インライン検査で行うための検査システムを提供する。
【解決手段】検査ワーク１１を第１の方向Ｘに搬送するワーク搬送装置２０と、検査ワーク上に形成されたパターンの光学情報を取得する撮像装置３０と、第１の方向と直交する第２の方向Ｙに撮像装置を移動させる移動装置４０と、ワーク搬送装置、撮像装置及び移動装置を制御するとともに、光学情報に基づいてパターンを検査する制御部５０と、を有する。 （もっと読む）

【課題】観察により取得される観察対象物の内部の媒質が変化する境界部に関する情報の解像度及び鮮明度のさらなる向上が図れる観察装置及び観察方法を提供する。
【解決手段】出力部１１は、観察対象物２に含まれる感応因子の双極子モーメントを誘起させるコヒーレントな照射光３１ａを出力する。照射光３１ａの波長範囲の少なくも一部と、感応因子が光を吸収する吸収波長帯域の少なくとも一部とが重複する。レーザーユニットは、照射光の波長範囲を含む波長範囲を有するフェムト秒パルスレーザー光を生成する。光フィルタユニットは、フェムト秒パルスレーザー光を受け入れ、そのフェムト秒パルスレーザー光のうちの所定の短波長側境界値よりも短い波長成分、及び所定の長波長側境界値よりも長い波長成分を除去して、照射光３１ａとして送出する。 （もっと読む）

【課題】対像物の像を表すデジタルホログラムを作成する。
【解決手段】本発明は、測定光線により対像物を照射し、反射された測定光線を光センサーに誘導する工程と、第１参照光線の光軸に対し９０°以外の角度で配置された第１ミラーに第１参照光線を誘導し、反射光を光センサーに誘導する工程と、光センサー上に生成された干渉縞を表すデジタル信号を得る工程と、前記信号を処理してデジタルホログラムを得る工程と、デジタルホログラムにフーリエ変換を行ってＤＣ項、第１像項、第１共役像項を含むスペクトルを得る工程と、前記スペクトルを濾波する工程と、第２参照光線を第１ミラーに誘導し、反射光を光センサーに誘導する工程と、空間周波数領域におけるスペクトルにおいて第２像項及び第２像項の共役を導出する工程と、ＤＣ項に重複する第１像項の部分を第２像項の対応する部分によって置き換える工程と、を含む。 （もっと読む）

【課題】振動環境下において干渉縞の振動を抑制して、精度良く検査対象物中の内部欠陥を検出すること。
【解決手段】検査対象物Ｍの表面に衝撃波を生じさせる加熱用レーザー１と、前記衝撃波を検出する検出用レーザー２を備える。この検出用レーザー２は、第一検出用レーザー２ａと第二検出用レーザー２ｂに分岐され、両検出用レーザー２ａ、２ｂは、検査対象物Ｍの異なる位置にそれぞれ照射される。また、第一検出用レーザー２ａ照射位置に加熱用レーザー１が照射される。検査対象物Ｍと測定装置が相対的に振動しても、両検出用レーザー２ａ、２ｂがともに検査対象物Ｍに照射されるため、前記振動が相殺されて、両検出用レーザー２ａ、２ｂによって形成された干渉縞が変位することなく安定する。このため、前記衝撃波に伴う干渉縞の変位を精度良く測定することができ、検査対象物Ｍ中の内部欠陥Ｖを高感度に検出することができる。 （もっと読む）

【課題】光学素子の厚み測定を不要としつつ高い精度で光学素子の屈折率を測定する。
【解決手段】屈折率測定装置２０は、被検光と参照光とを互いに干渉させる光学系であり、被検光の光路内に被検光学素子の設置が可能で、かつ被検光および参照光のうち一方の光路長を変更する光路長変更手段３を含む干渉光学系とともに用いられる。該装置は、被検光および参照光の波長帯域に含まれる互いに異なる第１の波長と第２の波長のそれぞれにおいて、光路内に設置された被検光学素子を透過した被検光と参照光とが干渉するときの光路長変更手段３の干渉設定値と、被検光学素子が光路から取り除かれた状態で被検光と参照光とが干渉するときの干渉設定値との差を求める。そして、第１の波長における上記差、第２の波長における上記差および被検光学素子の分散を用いて被検光学素子の屈折率を算出する。 （もっと読む）

【課題】本発明は、従来のリガンド固定化方法を、その少なくとも一方の表面がＳｉＮ，Ｔａ₂Ｏ₅，Ｎｂ₂Ｏ₅，ＨｆＯ₂，ＺｒＯ₂またはＩＴＯからなる基板に適用した場合であっても、リガンドが基板に高密度に結合した基板の製造方法，該製造方法によって得られるリガンド固定化基板，および，該基板を使用する分子間相互作用検出方法を提供することを課題とする。
【解決手段】ＳｉＮ，Ｔａ₂Ｏ₅，Ｎｂ₂Ｏ₅，ＨｆＯ₂，ＺｒＯ₂およびＩＴＯからなる群から選択される少なくとも１種からなる基板の表面に、液相でリガンドを固定化させる工程を含むリガンド固定化基板の製造方法であって、該液相に含有される界面活性剤が、０質量％以上０.００１質量％未満であることを特徴とする製造方法。 （もっと読む）

【課題】音響センサおよび音響センサの製造方法を提供する。
【解決手段】音響センサは、少なくとも１つのフォトニック結晶構造と、この少なくとも１つのフォトニック結晶構造に光学的に結合された端部を有する光ファイバとを含む。音響センサはさらに、上記少なくとも１つのフォトニック結晶構造および光ファイバに機械的に結合された構造部分を含む。上記少なくとも１つのフォトニック結晶構造、光ファイバおよび構造部分は、音響センサの周波数応答が音響周波数の範囲内で全体的に平坦となるように、ある体積を有する領域と実質的に境をなす。 （もっと読む）

【課題】新規な接触面積測定装置を提供することを目的とする。
【解決手段】接触面積測定装置は、試料７に接する光透過性基板６と、前記試料７とは反対側から、前記光透過性基板６に光を照射する照射手段と、前記試料７からの反射光と前記光透過性基板６からの反射光とから生じる干渉画像を取得する干渉画像取得手段１２と、前記干渉画像の輝度値情報を補正処理し、得られた補正輝度値情報から輝度値ヒストグラムを作成する輝度値ヒストグラム作成手段１４と、前記輝度値ヒストグラムから接触面積を算出する接触面積演算手段１５を有し、前記補正処理は、割り算演算を有する式により、補正画像輝度を算出する。ここで、補正画像輝度は、式（補正画像輝度＝（対象画像輝度／参照画像輝度）×定数）により算出することが好ましい。また、参照画像輝度は、荷重ゼロ時の元画像に対し、ガウスぼかしフイルター処理して求めることが好ましい。 （もっと読む）

【課題】参照光の位相設定精度に限界がある場合でも、測定対象物による位相シフト量を用いた計測する光位相測定装置を提供する。
【解決手段】コヒーレント光源８１、光源よりの光波を２分岐する光分岐手段８２、光波のうちの参照光波８９を周波数ωｍで位相変調する位相変調手段８３ａ、分岐された後に被測定対象物８５を透過又は反射した信号光波と位相変調された参照光波８９とを合成する光合成手段９７と、合成された干渉光の強度を測定する光強度測定手段８８を有する光干渉計を備えた光位相測定装置で、干渉光の強度を一定の時間に亘って取得し、取得した時系列の強度信号をフーリエ変換し、位相変調の周波数ωｍの整数倍の周波数成分のうち少なくとも２つの成分の光強度を演算して、位相変調手段の変調指数ｍを同定して、該変調指数ｍに基づいて前記被測定対象物８５による信号光波の位相変化量φを算出する演算手段９５を備えた光位相測定装置。 （もっと読む）