【課題】対象物の識別を精度良く安定して行うことが可能な光学センサを提供する。
【解決手段】 第１の光照射系１０、第２の光照射系２０、第１の正反射光検出系３０、第２の正反射光検出系４０などを有している。第１の光照射系１０は、暗箱５０の開口部に対して−Ｘ側に配置され、第２の光照射系２０は、暗箱５０の開口部に対して＋Ｘ側に配置され、それぞれ開口部に向けて光束を射出する。試料台の表面に対する、第１の光照射系１０からの照射光の入射角、及び第２の光照射系２０からの照射光の入射角は、同じ入射角である。第１の正反射光検出系３０は、第１の光照射系１０から射出され、記録紙で正反射された光束を検出し、第２の正反射光検出系４０は、第２の光照射系２０から射出され、記録紙で正反射された光束を検出する。 （もっと読む）

【課題】洗浄液で洗浄し、続いてリンス液で洗浄された基板を乾燥させる処理を、簡易な装置構成で速やかに進行させること。
【解決手段】ウエハＷ表面に、昇華性物質の凝固点よりも高い温度になるように加熱された置換液を供給し、次いで、液状の昇華性物質を含む処理液を前記凝固点よりも高い温度にして共用ノズル５を介して供給する。前記置換液の供給により、リンス液の置換液による置換とウエハＷの表面の加熱を同時に行うことができ、加熱されたウエハＷに、前記凝固点よりも高い温度の処理液を供給しているので、ウエハＷ上に処理液の液膜を薄く広げることができる。加熱した置換液や処理液をウエハＷ表面に供給しているので装置構成が簡易なものとなり、また、処理液の薄い液膜を形成することができるため、昇華性物質の固化や昇華に要する時間が短縮され、基板を乾燥させるための処理が速やかに進行する。 （もっと読む）

【課題】表面を検査する方法および装置を提供すること。
【解決手段】表面の特性を検査する方法であって、第１の所定の放出角（α_１）で、検査される表面（９）上に放射を放出するステップと、第１の受信角（β_１）で、第１の放出角（α_１）で放出されて、検査される表面（９）から反射された、放射の少なくとも一部分を受信し、受信された放射の特徴である複数の第１の測定値を出力するステップと、第２の所定の放出角（α_２）で、検査される表面（９）上に放射を放出するステップと、第２の受信角（β_２）で、第２の放出角（α_２）で放出されて、検査される表面（９）から反射された、放射の少なくとも一部分を受信し、受信された放射の特徴である複数の第２の測定値を出力するステップと、第１の測定値と第２の測定値との間の比較を実行するステップと、を包含する、方法。 （もっと読む）

【課題】被計測対象物の全域において濃度分布及び光沢分布を高精度で検査可能でありながら、低コストな画像検査装置及び画像形成装置を提供する。
【解決手段】光沢用照明装置１４と濃度用照明装置１５とを同時に点灯させて給紙装置１３によって出力画像を搬送させる。また、被検査対象物２２の画像の表面からの不可視光の正反射光のみを受光して光量に基づいて光沢分布を出力する撮像素子ライン１１ａ、及び被検査対象物２２の画像の内部に透過した後に反射する可視光の拡散反射光のみを受光して光量に基づいて濃度分布を出力する撮像素子ライン１１ｂを設ける。これにより、被検査対象物の全域の光沢分布及び濃度分布を同時に検査できる。 （もっと読む）

【課題】本発明の目的は、試料面上の光沢ムラ特性を評価できる反射光ムラの測定方法および装置を提供することである。本発明により、反射光ムラの簡易で精度良い測定方法および装置を提供する。
【解決手段】平行光を試料に入射する入射工程と、その試料の表面をテレセントリック光学系により測定する受光工程と、その入射工程の光軸かつ／またはその受光工程の光軸をその試料上の１点を中心として回転させその試料の法線に対して任意の角度に設定する工程と、その試料の反射光分布を測定する工程と、を含むことを特徴とする反射光ムラ測定方法である。 （もっと読む）

【課題】鏡面に近い面の表面性状を、それぞれの製品あるいは業界に特有の感性に近い指標に基いて定量的且つ総合的に評価できるようにする。
【解決手段】コンピュータ制御にてディスプレイ１１に表示したチェックパターンを被測定面２１に投影して、反射像を撮影装置１２により撮影し、その画像データを収得してコンピュータ３でデータ処理するよう構成した鏡面計１を使用し、コンピュータ３に、鏡面度、鏡面度バラツキ、光沢度、シャープネス、うねり又は形状誤差、コントラストおよび白濁度といった複数の測定項目の算出ロジックを含むコンピュータソフト５を組み込んで、それら複数の測定項目を順次自動的に測定し、鏡面度を含む複数の測定項目を指標として表面性状を評価できるようにする。 （もっと読む）

【課題】目視点検から絶縁劣化の進行度合いを推定し、絶縁破壊を未然に防ぐ絶縁劣化診
断方法を提供する。
【解決手段】複数の絶縁物の表面状態を調べる目視点検工程（ｓｔ１）と、この点検の中
から色褪せた絶縁物を選ぶ色褪せ品選別工程（ｓｔ２）と、色褪せた絶縁物の光沢度、接
触角、色相の中から選ばれる色褪せ度を測定する色褪せ度測定工程（ｓｔ３）と、色褪せ
度を予めデータベース化した特性式に乗せ表面絶縁抵抗を算出する表面状態判定工程（ｓ
ｔ４〜ｓｔ６）とを備え、絶縁劣化を診断する。 （もっと読む）

【課題】表面に凹凸を有する検査対象物の光沢を検査することができる外観検査方法を提供する。
【解決手段】傾斜面１２を有する凹凸が表面に形成された検査対象物Ｂの光沢を検査する外観検査方法である。前記検査対象物Ｂの表面から離間した位置に、光源３と受光器２とを前記検査対象物Ｂの表面からこの順で配置し、前記受光器２から前記検査対象物Ｂの表面に前記光源３を投影した位置を基準として前記検査対象物Ｂの表面の対称な位置を二つの検査領域Ｂ１、Ｂ２とし、前記光源３から前記検査対象物Ｂの表面に光Ｌ１、Ｌ２を照射し、前記二つの検査領域Ｂ１、Ｂ２からの反射光Ｌ３、Ｌ４を前記受光器２で受光し、前記受光器２で受光した反射光Ｌ３，Ｌ４から得られる前記各検査領域Ｂ１、Ｂ２の測定値を比較して前記測定値の差が所定の閾値以下か否かを判定する。 （もっと読む）

【課題】幅広い角度から光を照射したときの微妙な視感評価の変化を的確に評価することができる視感評価装置を提供することである。
【解決手段】視感色彩評価装置は、サンプルを覆う筐体、サンプルに観察光を照射するためのＬＥＤ光源、サンプルに対する光源の相対位置を連続的に変化させることでサンプルに対する観察光の照射角度を連続的に変化させる駆動機構、および筐体内のサンプルを目視観察するための窓を備えている。 （もっと読む）

【課題】絶縁材料の劣化を診断する。
【解決手段】実施形態に係る劣化診断装置１は、推定手段４と診断手段７とを含む。推定手段４は、絶縁材料に対して予め設定されている評価項目の係数１２と、評価項目の実測値１４とに基づいて、多変量解析のＴ法により絶縁材料の絶縁抵抗値を推定する。診断手段７は、推定された絶縁抵抗値と、絶縁材料の使用期間とに基づいて、絶縁抵抗値の使用期間に対する変化を表す推定曲線を求め、推定曲線が予め設定されているしきい値１１以下となる時点に基づいて絶縁材料の有効期間を求める。 （もっと読む）