【課題】膜厚に起因するピークシフトの影響を除去することである。
【解決手段】薄膜試料Ｗに向かって電子線を照射する電子線照射部と、前記電子線の照射によって薄膜試料Ｗから発生する光）Ｌを分光し、検出する光検出部と、前記光検出部からの出力信号を受信して光）Ｌのスペクトルのピーク波長である測定ピーク波長を算出するピーク波長算出部４１と、膜厚既知の標準試料により得られた膜厚とその膜厚におけるピーク波長である基準ピーク波長との関係を示す基準データを格納する基準データ格納部Ｄ１と、前記基準データから前記薄膜試料Ｗの膜厚に対する基準ピーク波長を算出する基準ピーク波長設定部４２と、前記測定ピーク波長及び前記基準ピーク波長をパラメータとして、前記薄膜試料Ｗの状態を分析する分析部４３と、を備えている。 （もっと読む）

【課題】光の進行方向の変更に用いる反射鏡を高精度に回転制御できるコンパクトな回転装置を提供する。
【解決手段】反射鏡用の回転装置２０は、光の進行方向の変更に用いる反射鏡１４に固定された第１回転軸２１と、第１回転軸２１から所定の間隔を離れて配された第２回転軸２４と、第１および第２回転軸２１、２４との間を連結して構成され、第２回転軸２４のトルクを第１回転軸２１に伝達しているリンク機構３０と、を備える。 （もっと読む）

【課題】標本から受容される光を集めるように配置されるとともに、分析軸に交差する光軸に概ね沿うよう光を向けるミラーを用いる構成において、分析軸と、光軸に沿って位置決めされる光学系との双方に対して、ミラーが正確かつ反復性をもって位置決めされるようにする。
【解決手段】ミラー（１８）は、分析軸上の作動位置に挿入可能、かつ分析軸から離れた非作動位置に後退可能である。調整可能な第１マウント（４４）が放物面ミラー（１８）の挿入位置を定める。また、調整可能な第２マウント（４６）が放物面ミラー（１８）の後退位置を定めるとともに、作動位置から非作動位置へ後退する間にミラーの位置を定める。 （もっと読む）

【課題】結晶を破壊することなく簡便に精度良く転位を評価する方法を提供する。
【解決手段】結晶試料の表面にＸ線を照射することにより、逆格子空間における結晶試料の非対称回折面からの水平方向の強度分布曲線を作成し、該強度分布曲線の半値幅により結晶試料の転位を評価する。 （もっと読む）

【課題】精度良く位置決めすることで、位置決め作業性を向上して焦点外れや認識位置のズレを防止して、多くの数の微細粒子から標的とする微細粒子を効率良く探索して選択的に効率よく回収することができる微細粒子のスクリーニング装置を提供する。
【解決手段】計測用チップ９０は、固定具１２０のフラットな剛体平面に対して突き当てて位置決めするための突起７２０，７２１と、計測用チップ９０に形成されて計測用チップ９０を固定具１２０に対してセットする際の向きを明示する表示部７５０とを有する。 （もっと読む）

【課題】診断を目的とする場合、高感度計測が困難であるというＸ線イメージングと、高空間分解能計測が困難であるという光イメージングの欠点を克服する。
【解決手段】Ｘ線管１と、Ｘ線及び光に感度を有する検出器１０と、検出結果を処理する処理部１０４を有し、処理部１０４で、Ｘ線光源によるＸ線の照射期間に検出器が検出する信号を第１信号とし、前記照射期間以外の期間に検出器が検出する光の信号を第２信号として処理する。 （もっと読む）

【課題】従来のグロー放電発光分析方法では正確に測定強度を測定することが困難な薄膜を有する測定対象材についての測定を行なうことが可能な測定方法、測定装置および当該測定方法によって測定された薄膜を備えるエピタキシャル基板を提供する。
【解決手段】本発明に従った測定方法は、基板（試料Ｓ）を準備する工程と、測定工程とを備える。測定工程では、グロー放電発光分析法を用いて、試料Ｓの表面からの深さ方向における成分元素の濃度分布を測定する。具体的には、試料Ｓに給電することによりグロー放電による発光を発生させ、当該発光を波長ごとに分光して分光した光の強度を測定することにより、試料Ｓの深さ方向における成分元素の濃度分布の測定を行なう。測定工程において、強度を測定する光のエネルギーは試料Ｓのバンドギャップエネルギーより大きい。 （もっと読む）

【課題】従来よりも高感度なプラズマ内励起種測定を行うための方法および装置を提供する。
【解決手段】プラズマ内に存在する励起種の緩和に伴う発光の検出において、ある励起種から放出される発光のうち特定のエネルギー準位間の緩和（遷移）のエネルギー準位を特定するエネルギー準位特定工程と、前記緩和（遷移）エネルギーに相当する波長の光をシード光（種光）として選択するシード光波長選択工程と、シード光波長選択工程で選択された波長の光をシード光としてプラズマ内に照射するシード光照射工程と、照射したシード光との相互作用により起きた発光を検出する発光検出工程と、前記発光検出工程で検出した発光から励起種を判定する励起種判定工程と、を具備することを特徴とするプラズマ内励起種測定方法。 （もっと読む）

小型プローブ（１）と、ルミネッセンス検出システム（１４）とを具備する生体内線量測定用の装置であって、小型プローブが、放射線ルミネッセンス物質（３）であり、該物質を照射する高エネルギー放射線の関数である強度を有する放射線ルミネッセンス信号を放射する放射線ルミネッセンス物質（３）と、ルミネッセンス信号を受け取り、そのルミネッセンス信号をルミネッセンス検出システム（１４）に伝送する光ファイバ（４、１６）とを少なくとも備える装置において、放射線ルミネッセンス物質（３）が、少なくともナローバンドＢＥ内でルミネッセンス信号を放射する窒化ガリウム（ＧａＮ）であり、ルミネッセンス検出システム（１４）が、窒化ガリウムのナロー放射バンドを選択することができる光学装置（１８）を備えることを特徴とする装置。 （もっと読む）

【課題】 優れた深さ空間分解能および空間分解能を有するカソードルミネッセンス装置の提供
【解決手段】試料台に載置される試料の表面の近傍に、試料側に突出し、その頂部に照射電子線および試料からの発光を透過させるための小孔を有する採光部をもつカソードルミネッセンス測定装置。
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