【課題】基板の洗浄を効果的かつ安定して実施することが可能な洗浄装置、当該洗浄装置に用いられる溶存気体濃度測定装置の校正方法および溶存気体濃度の測定方法を提供する。
【解決手段】この発明に従った校正方法は、液体に溶存する気体の濃度を測定する測定装置を校正する校正方法であって、液体に溶存する気体の濃度を変化させて、液体に超音波を照射したときに生じる発光の強度がピークを示す当該気体の濃度を基準濃度として予め決定する工程（Ｓ１０）を実施する。次に、液体中の気体の濃度を変化させながら液体に超音波を照射することにより、発光の強度がピークを示すときに、校正する対象である測定装置により洗浄液中の窒素の濃度を測定して、当該窒素の濃度の測定値を決定する工程（Ｓ２０）を実施する。測定値と基準濃度とに基づいて、校正する対象である測定装置を校正する工程（Ｓ３０）を実施する。 （もっと読む）

【課題】フォトデバイスにパルス光を照射して検査する際に、パルス光の光強度を適切に設定する技術を提供する。
【解決手段】フォトデバイスを検査する検査方法である。この検査方法は、(a) フェムト秒レーザーから出射されるパルス光の光強度を変更しつつ、フォトデバイスの受光面に前記パルス光を照射することによって、前記フォトデバイスから発生する電磁波の電界強度を検出器にて検出する工程と、(b) 前記(a)工程において検出された電磁波の電界強度が最大となるときの前記パルス光の最大時光強度を取得する工程と、(c) 前記(b)工程において取得された前記最大時光強度に基づいて定められる光強度のパルス光を前記フォトデバイスに照射することによって、前記フォトデバイスにて発生する前記電磁波パルスの電界強度を前記検出器にて検出する工程とを含む。 （もっと読む）

【課題】試料に対する前処理工程が不要で、リアルタイムに各種プラントのパイプ内部を流れる液体や気体などの各種成分の分光分析測定が行える分光分析装置を実現する。
【解決手段】パイプの内部を流れる被測定試料を分光分析する分光分析装置において、前記パイプの管壁に設けられた窓部から前記パイプの内部に電子を放出して前記被測定試料の原子を励起する電子放出素子と、この電子放出素子を駆動する電源と、前記励起された原子が基底状態に戻るときに発生する原子固有の波長の光を前記パイプの管壁に設けられた窓部から取り込み分光分析する分光分析部、とで構成されたことを特徴とするもの。 （もっと読む）

【課題】検出信号が電子線照射に伴い経時変化するような試料において、カソードルミネッセンス特性のマッピング評価を短時間で実施すること。
【解決手段】カソードルミネッセンスのマッピング測定において、
隣接点を連続で測定しない電子線のスキャン方式を採用する。これによって、事前測定点の電子線照射の影響がなくなるまでの時間は事前測定点からある一定の距離離れた点を測定する事が可能となるため、従来の電子線スキャン方式で必要であったウェイト時間を短縮することでマッピング測定時間を大幅に短縮する事ができる。 （もっと読む）

【課題】内視鏡に組み込んで生体内へ挿入可能な、紫外線レーザを用いるタイプのＸ線発生装置を用いた治療器を提供する。
【解決手段】紫外線レーザ発生装置５１から放出される紫外線レーザを電子線放出素子２０の紫外線レーザ受光面２１に照射し、電子線放出素子において紫外線レーザ受光面と異なる電子線放出面２３から放出される電子線を金属片２５へ照射し、該金属片からＸ線を発生させるＸ線発生方法において、紫外線レーザとして、単位パルス強度を１０００μジュール以下とし、単位パルスの幅を１００ｎｓ以下のものを使用し紫外線レーザ受光面の物質の変性を防止し、かかるＸ線発生装置とともにＸ線照射部位から放出される各種の光を検出する検出器を備える構成とする。 （もっと読む）

【課題】 真空紫外領域用の電子線励起発光検出装置が正常であることを示すと共に、試料の発光強度の定量的な比較や発光に寄与する元素の定量に基準となる、校正用標準試料を提供することを目的とする。
【解決手段】 本発明は、バンドギャップエネルギーが６．２ｅＶ以上の酸化物結晶よりなる電子線励起真空紫外発光測定装置用の校正用標準試料、測定試料及び該校正用標準試料の電子励起真空紫外発光を同じ測定条件で測定し、測定試料と校正用標準試料の発光強度の比（測定試料の発光強度／校正用標準試料の発光強度）を求める電子線励起真空紫外発光強度の定量的測定方法である。 （もっと読む）

【課題】流路内に流体が流れているときに測定可能で、プラント等の運転効率や経済効率を高めることができる流路の減肉監視方法および流路の減肉監視装置を提供する。
【解決手段】画像取得手段１１が、流路１の内部を流れる流体の画像を取得するようになっている。解析部１２が、画像取得手段１１で取得された画像に基づいて、流体中の発光の位置と強度とを測定するようになっている。解析部１２は、その発光の位置と強度とに基づいて、流路１の内部でのラジカルの発生位置と濃度とを求め、さらに、流路１の内部でのエロージョンまたはエロージョン・コロージョンの位置と状態とを求めるよう構成されていてもよい。 （もっと読む）

【課題】光ファイバーを用いずに伝送する光検出装置及び光伝送装置を提供する。
【解決手段】チャンバ２内の試料台５に試料４が載置される。電子線照射部１から楕円面鏡３の孔部３０を通過して試料４の試料面に電子線が照射される。照射スポットに位置する試料４の試料面の一部が励起して散乱光を発する。散乱光は、楕円面鏡３の内面での反射により楕円面鏡３の２焦点と異なる位置に集光されて非散乱光に変換される。非散乱光は、チャンバ２の開口部２４を気密封止しているコリメートレンズ２１を通過して平行化され、チャンバ２外の分光部７へ伝送される。分光部７は、伝送された光を検出する。 （もっと読む）

【課題】低エネルギーの電子線を利用して簡便な方法で、真空紫外線を検出して解析する方法或いは定量する方法を提供する。
【解決手段】ＮｄをドープしたＬａＦ_３、などの金属フッ化物結晶を１〜３００Ｐａ程度の低真空雰囲気中に保持し、該金属フッ化物結晶に１〜３０ｋＶの低エネルギーの電子線を照射して真空紫外線を含む光を発光させ、次いで該発光光を集光したのち分光し、電荷結合素子検出器等を用いて真空紫外線を検出し、これを解析して、発光像や発光スペクトルを得る。更に、該真空紫外線の強度を定量する場合に、校正用標準試料として窒化アルミニウム結晶を用いて定量する。 （もっと読む）

【課題】正確な結晶欠陥量の制御を行うことができる電力用半導体装置の製造方法および電力用半導体装置の製造装置を提供する。
【解決手段】電力用半導体装置の製造方法は、シリコンウエハ２を準備する工程と、シリコンウエハ２に電子線を照射する工程と、電子線の照射中にシリコンウエハ２から発生するカソードルミネセンス光の強度および波長を解析してシリコンウエハ２の結晶欠陥の量を検査する工程と、結晶欠陥の量を検査する工程により結晶欠陥の量を所定の値に制御するように電子線を照射する工程を有している。 （もっと読む）