【課題】半導体装置からのエミッションの検出を加熱しながら行う半導体装置の検査装置を提供する。
【解決手段】検査装置１は、半導体チップ２を載置する観察ステージ１６を、半導体チップ２の基板材料と同じＳｉで製造し、半導体チップ２の裏面側に撮像素子３５を配置した。半導体チップ２で発生した微弱な光は、半導体チップ２、観察ステージ１６を透過して撮像素子３５に入射する。観察ステージ１６は、Ｓｉから製造されているので、ヒータ２５によって簡単に加熱できる。また、観察ステージ１６の上方には、プローブカード１９及びＬＳＩテスタ２０が配置されており、半導体チップ２の回路のテストが可能である。 （もっと読む）

【課題】 不良の太陽電池パネルについて低下した出力電力の推定値を算出する太陽電池アレイの検査装置および検査方法を提供する。
【解決手段】 複数の太陽電池パネル１０を含む太陽電池アレイの検査方法であって、太陽電池アレイに直流電源６を接続して通電し、太陽電池アレイの太陽電池パネル１０の画像を取得し、画像を解析して指標を算出し、指標に対する太陽電池パネル１０の出力特性を用いて太陽電池パネル１０の出力電力の推定値を算出し、算出した推定値に基づいて太陽電池パネル１０を交換すべきか否か判断する。 （もっと読む）

【課題】太陽電池モジュールに組み込まれた太陽電池を評価する方法を提供する。
【解決手段】ＰＬ評価工程を行う。ＰＬ評価工程は、複数の太陽電池１０のうちの評価対象の太陽電池に光源２０から光照射することにより当該太陽電池１０から発せられたフォトルミネッセンス光Ｌ２の強度を検出することにより当該太陽電池１０の評価を行う工程である。評価対象の太陽電池１０以外の部分に光源２０からの光が入射しないように太陽電池モジュール１と光源２０の間に遮光部材２１を配した状態で光照射を行う。 （もっと読む）

【課題】 試料の量子収率を正確にかつ効率良く測定することができる量子収率測定装置を提供する。
【解決手段】 量子収率測定装置１Ａは、試料セル２の試料収容部３が内部に配置される暗箱５と、励起光Ｌ１を発生させる光発生部６と、被測定光Ｌ２を検出する光検出部９と、暗箱５内に配置された積分球１４と、暗箱５内において積分球１４を移動させる移動機構３０と、を備える。光発生部６は、暗箱５に接続された光出射部７を有し、光検出部９は、暗箱５に接続された光入射部１１を有する。積分球１４は、励起光Ｌ１を入射させる光入射開口１５、及び被測定光Ｌ２を出射させる光出射開口１６を有する。移動機構３０は、試料収容部３が積分球１４内に位置する第１の状態、及び試料収容部３が積分球１４外に位置する第２の状態の各状態となるように、試料収容部３、光出射部７及び光入射部１１を移動させる。 （もっと読む）

【課題】被測定物に対し電流を流して検査する検査装置を被測定物の製造ラインに投入する場合において、被測定物の検査のための待ち時間の大幅な短縮を図り、全体としての検査時間（タクトタイム）を短縮することを可能とする検査装置用の給電装置を提供する。
【解決手段】被測定物２００に電流を流すことで検査を行う検査装置において使用する給電装置を、検査装置側に給電手段を設け、被測定物側に集電手段を設けることにより、被測定物２００が検査装置に搬入される際に、給電手段と集電手段を電気的に接続させる構成とした。 （もっと読む）

【課題】光学的分析法と両立し、高い処理量を得られる生態細胞の膜電位を調整する確実で特定の方法を提供すること。
【解決手段】候補化合物の生物学的活動を特徴付けする方法は、細胞を候補化合物に曝すことと、その後で、トランスメンブレン電位をターゲットイオンチャネルの予め選択された電圧依存状態に対応するレベルに設定するように、細胞を電界に繰り返し曝すこととを含むことができる。 （もっと読む）

【課題】固体浸レンズが対向する被検査対象面から給電可能な検査装置を提供すること。
【解決手段】検査装置は、被検査対象２１に対向する対向面１１ａを有する固体浸レンズ１１と、少なくとも固体浸レンズ１１の対向面１１ａにおいて少なくとも被検査対象と対向する領域に形成され、被検査対象２１に給電するための導電膜１２と、固体浸レンズ１１を保持するための給電経路１７を形成したレンズホルダ１４と、を備える。 （もっと読む）

【課題】薄膜太陽電池モジュールの欠陥位置を高精度で特定できる検査方法、及び、この検査方法を用いて特定した欠陥を除去する薄膜太陽電池モジュールの製造方法を提供する。
【解決手段】基板上に透明電極層１２と、光電変換層１３と、裏面電極層１４とを備える薄膜太陽電池モジュールの検査方法であって、検査対象の薄膜太陽電池モジュールに、順方向のバイアス電流を流す電流印加工程と、前記薄膜太陽電池モジュールの発電光入射面側から、該電流印加工程後の前記薄膜太陽電池モジュールから生じる発光を検出し、前記薄膜太陽電池モジュールの発光状態を表す発光画像を取得する発光画像取得工程と、該画像取得工程により取得した発光画像に基づいて、欠陥の前記基板面内位置及び欠陥の種類を特定する欠陥特定工程とを含む薄膜太陽電池モジュールの検査方法。 （もっと読む）

【課題】従来の検出器と比べて、更なる検出感度の向上および選択性の増大を可能とするプラズマを用いた検出方法および検出器を提供すること。
【解決手段】被測定物質を含むサンプルガスおよびキャリアガスと、プラズマ発生用ガスと、プラズマ発生用ガス内に発生したプラズマとの混合体内における前記被測定物質の特性を検出することにより前記被測定物質を検出することを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】顕微分光測定により、試料の測定対象の特性を適正に把握する。
【解決手段】顕微分光測定装置２０は、信号処理装置４０により、試料１０と集光装置２２の相対位置を変化させ、励起された試料１０の一の測定対象（光学構造１１）から生じて集光装置２２で集光される光の強度変化を評価する。光の強度のほか、試料１０と集光装置２２の相対位置の変化に対する光の強度変化を評価することで、測定対象の特性を適正に把握する。 （もっと読む）