【課題】鏡面反射が酷い計測対象物であっても、簡単な構造により低コストで高精度かつ高速に表面の凹みや大きな疵などの三次元的欠陥を検査することが可能な三次元表面検査装置の提供。
【解決手段】計測対象物Ｘを撮影するカメラ装置３と、曲面状に配設されて計測対象物を覆うフィルタ膜と、フィルタ膜の曲面状に沿って周期的な強度分布を持つ曲面状強度分布のパターン光を投影し、フィルタ膜を介して計測対象物に投影する曲面パターン光投影手段５と、カメラ装置３により撮影された画像に対し、曲面状強度分布を直線状強度分布に変換するデコード処理を行うことで、計測対象物の表面の三次元的欠陥を検出する欠陥検出手段１３とを含む。 （もっと読む）

【課題】生産性の高い検査装置、及び搬送装置を提供する。
【解決手段】本発明の一態様にかかる検査装置は、前段搬送ベルト２１と後段搬送ベルト２３との間において、基板１０を支持して、照明する照明ステージ２２と、基板１０を持ち上げる移載部３１を有し、前段搬送ベルト２１から照明ステージ２２に受け渡すともに、照明ステージ２２から後段搬送ベルト２３に基板１０を受け渡すための動作を行うクランク機構３２と、移載部３１に設けられ、移載部３１で持ち上げられた基板１０に向けて下側から照明光を照射する照明部３１ａと、一の基板１０が照明ステージ２２を介して前段搬送ベルト２１から後段搬送ベルト２３に移載されるまでの間に、照明ステージ２２及び照明部３１ａで照明された一の基板１０を撮像する撮像部３５と、を備えるものである。 （もっと読む）

【課題】ケーラー照明系を用いたより安価な検査用照明装置を提供する。
【解決手段】検査用照明装置１０は、光源部２０と、光源部２０から発せられた光を平行光に変換するコリメータレンズ３０と、コリメータレンズ３０を通過した光を被検物体Ｗに向けて集光するためのフレネルコンデンサレンズ４０と、コリメータレンズ３０とフレネルコンデンサレンズ４０の間に配置されたシグマ絞り５０と、を備える。シグマ絞り５０とフレネルコンデンサレンズ４０の間には、アポダイジングフィルタ７０が設置されている。 （もっと読む）

【課題】目視検査の作業効率を向上させる。
【解決手段】検査対象物に対する目視検査を支援する目視検査支援装置であって、前記検査対象物の撮影画像を目視する検査者の視線を検出することにより、前記検査者の前記撮影画像上における注視点の位置を算出する注視点算出部と、前記撮影画像上における前記注視点の分布に基づいて、前記検査者が目視検査を行った領域を目視領域として特定する目視領域特定部と、前記目視領域を示す画像を生成する目視領域画像生成部と、前記目視領域を示す画像と、前記検査対象物の前記撮影画像と、を重ね合わせて表示する画像表示部と、を備えることを特徴とする目視検査支援装置。 （もっと読む）

【課題】紫外光光源を用いて有価紙面などの蛍光成分を検出する密着型光学ラインセンサ装置において、有価紙面の精密な真偽判定機能を行う。
【解決手段】ロッドレンズアレイ２３上に紫外光を遮断するＵＶ遮断フィルタ膜３０をコーティングもしくは蒸着する際に、紫外光を透過するスリット３４を設けてそのスリット３４から透過する紫外光をモニターして、ＵＶ遮断フィルタ膜３０を通して検出される蛍光出力と対比させる。
【効果】有価紙面が長期間市場で使われ老朽化し、汚染されていても、直接有価紙面の基材部に照射され反射した紫外光の光量の変動に比例した蛍光出力が得られるので、有価紙面からの蛍光出力を正確に評価することができる。 （もっと読む）

【課題】基板検査を短いタクトタイムで行うことができる基板検査装置および基板搬送方法を提供する。
【解決手段】本発明の基板検査装置１は、検査する基板を搬入する基板搬入部３と、基板を検査する基板検査部４と、検査が終了した基板を搬出する基板搬出部５とを有し、さらに気体を吐出することによって前記基板を浮上させる浮上プレート２０と、基板搬入部３に搬入され、浮上プレート２０により浮上した基板を保持し、個別の搬送軸上を個別に移動して搬送する基板搬送部６，７と、基板を保持した基板搬送部６、７が、基板搬入部３と、基板検査部４と、基板搬出部５とに分割された各ブロックに重複して位置しないよう制御する制御部１０と、を備える。 （もっと読む）

【課題】省フットプリントが図れるだけでなく、タクトタイムの短縮化も可能となるマクロ検査とミクロ検査とを１台で行いうる基板検査装置を提供する。
【解決手段】本発明の基板検査装置１は、検査する基板Ｇを載置し、吐出口６１から気体を吐出させて基板Ｇを浮上させる浮上プレート６を有する基板載置部２と、基板Ｇをミクロ検査するミクロ検査部３と、基板載置部２上に浮上した基板Ｇを搬送する基板搬送部４と、基板載置部２に対して出没可能に設けられ、基板載置部２上に浮上した基板Ｇを基板載置部２の上面に対して傾斜して起こした状態で保持するマクロ検査用ホルダ５と、マクロ検査用ホルダ５で保持されたＧ基板の表面を照明するマクロ照明部１５と、を備え、マクロ検査用ホルダ５は、基板搬送部４による基板Ｇの搬送方向と平行な回動軸を中心に回動することを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】塗布シートをシワやタルミなく略平面状に保持することにより、塗布面の表面観察を容易にする。
【解決手段】固定台２０は、基面２１から突出し、第１方向に沿って延びる、平滑な上面３１を有する凸条３０と、凸条に対して第１方向と直交する第２方向の両側に形成された第１吸引孔とを備える。塗布面を基面とは反対側に向けて、凸条及び第１吸引孔を覆うように塗布シートを基面上に載置し、塗布シートを第１吸引孔に吸引して塗布シートを凸条の上面に密着させる。 （もっと読む）

【課題】検査装置で欠陥検出の行いやすい画像を得られるように、従来のリング照明に替わって、照明光が方向によらず一定の強さであり、検査する物体に対して均一に照明され、光が効率的に利用できるような照明装置を提供すること。
【解決手段】狭い波長幅の平行光を発する照明光源と、平行光で照明すると円環形状に広がる回折光を発する第１ホログラムと、１点から拡がる光で照明すると特定の範囲に収束する回折光を発する第２ホログラムと、を有する照明装置であって、
照明光源からの平行光が第１ホログラムに入射して回折され、円環形状の回折光として第２ホログラムに入射し、第２ホログラムから発し収束する回折光が対象物を照明するように配置されている。 （もっと読む）

【課題】試料位置と合焦位置との間の差分を求める方法を提供する。
【解決手段】試料を示す画像データを獲得するステップと、獲得データから特徴セットを抽出するステップと、画像データ特徴を位置差分値に関連付けるように教え込まれた機械学習アルゴリズムを用いることにより、特徴セットを位置差分値に分類するステップとを含み、位置差分値が差分に対応する。任意に、特徴セットは対比特徴のサブセットを含みうる。任意に、対比特徴のサブセットは、画像データに基づく二乗勾配関数、画像データに基づくウェーブレット関数及び画像データに基づく自己相関関数、例えば、ＶｏｌｌａｔｈのＦ４関数若しくはＶｏｌｌａｔｈのＦ４関数とＶｏｌｌａｔｈのＦ５関数との組合せ、全画像データの分散及び並びにＬａｐｌａｃｅベースの焦点測定からなる群より選択されうる。 （もっと読む）