【課題】試料位置と合焦位置との間の差分を求める方法を提供する。
【解決手段】試料を示す画像データを獲得するステップと、獲得データから特徴セットを抽出するステップと、画像データ特徴を位置差分値に関連付けるように教え込まれた機械学習アルゴリズムを用いることにより、特徴セットを位置差分値に分類するステップとを含み、位置差分値が差分に対応する。任意に、特徴セットは対比特徴のサブセットを含みうる。任意に、対比特徴のサブセットは、画像データに基づく二乗勾配関数、画像データに基づくウェーブレット関数及び画像データに基づく自己相関関数、例えば、ＶｏｌｌａｔｈのＦ４関数若しくはＶｏｌｌａｔｈのＦ４関数とＶｏｌｌａｔｈのＦ５関数との組合せ、全画像データの分散及び並びにＬａｐｌａｃｅベースの焦点測定からなる群より選択されうる。 （もっと読む）

【課題】検査効率に優れたガラス基板検査システムを提供すること。
【解決手段】カセット３０からガラス基板２０を取り出す取り出し装置４０と、取り出し装置４０によりカセット３０から取り出されたガラス基板２０を検査する検査装置５０とを備え、カセット３０がガラス基板２０を収納可能な収納位置を複数有するガラス基板検査システム１０であって、収納位置毎に収納位置からガラス基板２０を取り出す動作を取り出し装置４０に行わせる実行部８１と、収納位置毎にガラス基板２０の有無を判定する有無判定部８２とを有し、実行部８１は、有無判定部８２によりガラス基板２０が無いと判定された収納位置に対する取り出し動作を取り出し装置４０に行わせない。 （もっと読む）

【課題】安定した検査能力を維持可能とする欠陥検査装置を提供する。
【解決手段】環状の弾性体２１０を有する物品２００における弾性体２１０の表面の欠陥を検査する欠陥検査装置１００であって、押圧部材１３０（押圧部材本体１３１）により弾性体２１０の外周表面を部分的に押圧することで弾性体２１０の表面の一部を押し広げつつ、物品２００を回転させることによって、弾性体２１０の外周表面全体に対する欠陥の有無を検査する欠陥検査装置１００において、弾性体２１０の外周表面の欠陥の有無を検査している最中に、押圧部材１３０の状態が正常であるか否かを監視するコンピュータ１５０を備えることを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】 半導体ウェーハ等の板状部材の外周エッジ部を適切に検査することを可能とした表面検査装置を提供する。
【解決手段】 半導体ウェーハ検査装置１０は、半導体ウェーハ１００の外周エッジ部分１０１に対向して配置される撮像レンズ２２と、撮像レンズ２２を介して半導体ウェーハ１００の外周端面に対向して配置される撮像面２４と、半導体ウェーハ１００の第１外周ベベル面１０１ｂの像を撮像レンズ２２を介して撮像面２４に結像させるミラー１２と、半導体ウェーハ１００の第２外周ベベル面１０１ｃの像を撮像レンズ２２を介して撮像面２４に結像させるミラー１４と、半導体ウェーハ１００の外周端面１０１ａの像を撮像レンズ２２の中央部を介して撮像面２４に結像させる補正レンズ２６と、外周端面１０１ａより第１外周ベベル面１０１ｂ及び第２外周ベベル面１０１ｃの方が明るくなるように、これらを照明する照明ライトガイド灯光部１８とを有する。 （もっと読む）

【課題】 任意の被写体を含む空間の眺望の程度を判定することができる撮像装置を提供する。
【解決手段】 任意の被写体を含む空間を撮像する撮像部８と、前記任意の被写体を含む空間の基準画像を取得する基準画像取得部４と、前記撮像部により撮像された撮影画像と前記基準画像とを比較することにより前記撮影画像における前記任意の被写体の眺望の程度を判定する眺望判定部４とを備える。 （もっと読む）

【課題】被検査対象物であるワークに対して加工したり、他の部位を装着したりすることなく、ワーク全周の疵を安定して検出することが可能な検査方法および検査装置を提供する。
【解決手段】ワークＷの円筒面を検査部４にて検査するための検査装置および検査方法である。回転軸心Ｌ１，Ｌ２が相互に平行に配設されている一対の回転軸１１，１２にてワークを支持させた状態で、回転体１１，１２をワークに接触させる。一対の回転軸１１，１２を回転駆動させることにより、回転体３１をワークとともに回転させる。回転軸１１，１２とワークＷとの間に滑りが生じることなくワークＷがその軸心廻りに１回転する基準時間での回転体３１の回転状態を検出する。回転状態に基づいてワークＷと回転軸１１，１２との間に滑りがあるか否かを判断しつつ、ワークＷの画像を撮像する。 （もっと読む）

【課題】塗工液が正常であるか否かを容易に評価することができる塗工液の評価方法を提供すること。
【解決手段】マイクロ流路１０に、塗工液を通過させ、通過時における当該塗工液の動作に基づいて、塗工液の評価を行うことを特徴とするものである。マイクロ流路は、その表面に凹部が設けられた第１の基材（１）と第２の基材（２）とが接合され、第１の基材（１）と第２の基材（２）との接合部に凹部によって形成される貫通孔３が形成されてなるマイクロ流路である。 （もっと読む）

【課題】より明瞭に撮像できる視覚装置を提供する。
【解決手段】被撮像物１を撮像する撮像手段１１と、照明光を発生する照明光発生手段１２と、照明光を拡散させる照明光拡散手段１３とを備え、照明光拡散手段１３は、撮像手段１１の光軸の延長上に配置された筒状の部材であり、照明光発生手段１２は、照明光拡散手段１３の筒壁の外面に照明光を照射できる位置に配置され、照明光拡散手段１３の筒壁は、照明光発生手段１２から照射された照明光を照明光拡散手段１３の内部に透過させ、照明光拡散手段１３の内部に透過した照明光を反射・拡散させることができるように形成されており、照明光拡散手段１３の内部で反射・拡散された照明光が被撮像物１に当たり、被撮像物１に反射した照明光が照明光拡散手段１３の内部を通じて撮像手段１１に送られる。 （もっと読む）

【課題】簡素化を図りつつ、対象物を短時間で高精度に検査することができる。
【解決手段】撮像手段１１と対象物Ｔとの間に光軸Ｏに交差する方向に向けて光線Ｌを放射する光源１２と、光源１２から放射された光線Ｌを撮像手段１１の光軸Ｏ方向に沿って対象物Ｔ側に向けて反射するハーフミラー１３と、ハーフミラー１３と対象物Ｔとの間に光軸Ｏと同軸に配置され、外周面１４ａにハーフミラー１３により反射された光線Ｌが入射する円錐状または円錐台状の内ミラー部材１４と、内ミラー部材１４よりも大径の円錐台状の孔部１５が光軸Ｏと同軸に貫設され、孔部１５の内周面１５ａに内ミラー部材１４の外周面１４ａにより反射された光線Ｌが入射する外ミラー部材１６とを備え、外ミラー部材１６は、内ミラー部材１４の外周面１４ａから孔部１５の内周面１５ａに入射した光線Ｌを、対象物Ｔの外周面Ｔ１に垂直に入射するように反射する検査装置１０を提供する。 （もっと読む）

【課題】多数の粒状の固形食品を互いに分離して整列した状態で検査領域へ順次供給することができる粒状固形食品整列供給装置を提供する。
【解決手段】粒状固形食品整列供給装置は、水平面に対して傾斜して配置された傾斜板を有し、傾斜板の表面に基端部から先端部にまで延び且つ粒状の固形食品を滑落させるための少なくとも１条のＵ字状溝２３が形成され、Ｕ字状溝２３に沿って傾斜板の先端部方向へエアを噴出することにより傾斜板のＵ字状溝２３内を滑落する粒状固形食品を加速させる加速手段を備えている。 （もっと読む）