【課題】 ウェハを検査する際の下地の影響を低減させた検査装置を提供する。
【解決手段】 検査装置１は、複数種の波長を有する照明光でウェハを照明する照明部３０と、照明光により照明されたウェハを撮影する撮影部４０と、複数種の波長毎に所定の重み付けを行って撮影部４０により撮影されたウェハの検査用撮影像を生成するとともに、生成した検査用撮影像に基づいてウェハにおける欠陥の有無を判定する画像処理部２７とを備えて構成される。 （もっと読む）

【課題】トンネルなどの構造物に経時的に発生する亀裂を簡単かつ迅速に検査することができる構造物の劣化検査方法等を提供する。
【解決手段】構造物を構成する基体１の上に、紫外線又は青色系可視光などの励起光によって発光する蛍光色素が混入され且つ高弾性の第１塗布層２の上に、励起光の透過を阻止する遮蔽材が混入され且つ低弾性の第２塗布層３を形成する。基体１に亀裂１１が発生したときには、第２塗布層３には亀裂３１が発生するが、第１塗布層２は単に延びるだけであるので、励起光は亀裂３１を通って第１塗布層２に到達する。よって、亀裂３１の下側の第２塗布層２が青白色に発光するので、亀裂１１の発生を検出することができる。 （もっと読む）

【課題】貼り合せ板状体における板状体の縁端と接着剤の縁端との間の間隔を比較的容易に検査することのできる貼り合せ板状体検査装置を提供する。
【解決手段】ラインセンサカメラ５０と、照明手段５１と、照明手段５１により照明がなされている状態で貼り合せ板状体１０を走査するラインセンサカメラ５０から出力される映像信号を処理する処理ユニットとを有し、処理ユニットは、映像信号に基づいて画素単位の濃淡値からなる検査画像情報を生成する検査画像情報生成手段と、検査画像情報から得られる第１板状体１１の縁端を横切る検査ライン上の濃淡値プロファイルに基づいて、検査ライン上での第１板状体１１の縁端と接着剤１３の縁端との間隔を表す縁端間距離情報を生成する縁端間距離情報生成手段とを有し、縁端間距離情報に基づいた検査結果を提供する。 （もっと読む）

【課題】画面の異物付着及び画素欠陥を識別できる画質検査装置を提供する。
【解決手段】画質検査装置２は、ＬＣＤ３１に白色パターンを指示し、撮像画面の白色パターンから候補エリアを抽出する候補エリア抽出部２１を有する。画質検査装置は、ＬＣＤに黒色パターンを指示し、撮像画面の黒色パターンから輝点異常の画素を含む候補エリアがある場合に、候補エリア周囲の輝点異常検出時のＲＧＢ値差を取得する輝点異常検出部２２を有する。画質検査装置は、黒色パターンを表示させたまま、候補エリア内の画素の白表示を指示し、撮像画面から候補エリア周囲の今回のＲＧＢ値差を取得する暗点異常検出部２３を有する。画質検査装置は、今回のＲＧＢ値差が輝点異常検出時のＲＧＢ値差を超えた場合、異物付着による異常と識別し、今回のＲＧＢ値差が輝点異常検出時のＲＧＢ値差を超えなかった場合、暗点の画素欠陥による異常と識別する異常識別部２４を有する。 （もっと読む）

【課題】クリープ損傷を受ける金属の余寿命をＤパラメータ法で診断するに際し、余寿命診断処理を容易化する。
【解決手段】
診断用コンピュータ３に、金属表面における複数の粒界に対応する粒界画像データを取得させ（Ｓ３）、粒界画像データから、各粒界の始点座標と終点座標を含む粒界データを取得させ（Ｓ４）、配管の応力方向に垂直な参照方向を示す参照方向データを、粒界画像データに設定させ（Ｓ５）、参照方向データに基づいて、複数の粒界データの中から、参照方向を中心とする所定の角度範囲に属する垂直粒界データを抽出させ（Ｓ５）、垂直粒界データに対応する粒界上のボイド形成状態に基づいて、当該垂直粒界データが損傷粒界に対応する損傷粒界データか否かを判断させ（Ｓ６）、垂直粒界データに対応する粒界の数、及び、損傷粒界データに対応する粒界の数に基づき、Ｄパラメータ法を用いて金属の余寿命を診断させる（Ｓ８）。 （もっと読む）

【課題】検査対象物の部分によって色調又は光沢が異なる場合でも検査対象物全体の露光調節を行うことができるとともに、検査対象物の形状が製造時の公差によって異なる場合であっても欠陥の有無を正確に判定することが可能となる、外観検査装置及び外観検査方法を提供する。
【解決手段】撮像手段３３は、検査対象物Ｗにおける撮像エリアの輪郭が撮像可能な第一露光条件と、撮像エリアにおける欠陥Ｂが撮像可能な、第一露光条件と異なる第二露光条件と、のそれぞれで検査対象物Ｗを撮像し、画像処理手段１１が備える判定手段１４は、第一露光条件で撮像した検査対象物における撮像エリアの輪郭の画像である撮像エリア画像ＳＰ１と、第二露光条件で撮像した撮像エリアの画像である第二画像Ｐ２と、を組み合わせて組み合わせ画像Ｐ３を作成することにより、検査対象物Ｗにおける撮像エリアの輪郭内における欠陥Ｂの有無を判定する。 （もっと読む）

【課題】加工面の鋳巣の寸法計測に役立つ鋳巣の範囲を精度よく判定できる加工面欠陥判定方法及び信頼性の高い加工面品質検査方法を提供する。
【解決手段】２値化、輝度傾き抽出の処理ステップ１０２，１０３で加工面の原画像の２値化画像、輝度傾き抽出画像を得る。両画像を重ね合わせ処理ステップ１０５で重ね合わせて作成した欠陥検出用画像から鋳巣判定処理ステップで加工面の鋳巣の範囲を判定する。鋳巣判定処理ステップ１０６では、２値化画像中の鋳巣部分が拡大処理された２値化画像と輝度傾き抽出画像との論理積をとり、得られた鋳巣〔輝度傾き抽出画像における鋳巣（エッジの範囲）〕の範囲を判定結果として、２値化処理の閾値の高低に拘わらず精度のよい鋳巣範囲の判定を可能とした。同欠陥判定方法を品質検査方法に適用した。 （もっと読む）

【課題】石英ガラスなどのガラスに較べて紫外線透過率の低い樹脂シートの表面に形成した透明電極の検査に必要な測定精度を得ることのできる透明電極の観察装置を提供すること。
【解決手段】樹脂シートＦの表面に形成された透明電極Ｐの光透過率が５０％以下となる２００〜３００ｎｍの波長帯域の紫外線光を含む光を照射する光源１と、光源１から照射された紫外線光によって励起され、蛍光発光した樹脂シートＦの光の強度が０．１以上となる４００〜５００ｎｍの波長帯域の光を透過する光学フィルタ２と、光学フィルタ２を透過した可視域の波長に感度を有する画像を撮影するカメラ３とを備えたので、透明電極Ｐが形成された部位は暗くなり、それ以外の部位は明るく撮影される。これにより、可視光では視認が困難な透明電極Ｐの形状を特定でき、透明電極Ｐの検査に必要な測定精度を得ることができる。 （もっと読む）

【課題】ＳＮ比の高い欠陥検出を行うことができる欠陥検査装置を提供することである。
【解決手段】実施形態に係る欠陥検査装置は、被検査体上の画像を検出する検出部と、前記検出部からの出力に基づいて、欠陥部分の断面プロファイルを演算する特徴量演算部と、前記演算された断面プロファイルを再サンプリングして再構成する再サンプリング部と、前記再構成された断面プロファイルと、テンプレート画像とのパターンマッチングを行う積和演算部と、前記パターンマッチングの結果を閾値を用いて判定する判定部と、を備えている。そして、前記再サンプリング部は、前記演算された断面プロファイルにおける重心を求め、求められた重心を中心画素として前記断面プロファイルを再サンプリングして再構成する。 （もっと読む）

【課題】溶接ビード欠陥の検出精度を向上できる溶接ビード欠陥検出装置及び溶接ビード欠陥検出方法を提供する。
【解決手段】溶接ビードの欠陥を検出する溶接ビード欠陥検出装置１０であって、溶接モデルＢＬと平滑モデルＳＬとの比較、あるいは、平滑モデルＳＬと折線モデルＶＬとの比較、に基づいて、溶接モデルＢＬを、異常点と正常点とに分別する点群データ分別手段２００と、異常点と、隣接する正常点間の距離と、に基づいて、溶接モデルＢＬを、欠落領域ＧＧと非欠落領域ＧＮとに分別する欠落領域分別手段３００と、欠落領域ＧＧまたは非欠落領域ＧＮを順次併合して併合欠落領域ＧＧＧとする欠落領域併合手段４００と、を具備する。 （もっと読む）