国際特許分類[G01N21/95]の内容
物理学 (1,541,580) | 測定;試験 (294,940) | 材料の化学的または物理的性質の決定による材料の調査または分析 (128,275) | 光学的手段,すなわち.赤外線,可視光線または紫外線を使用することによる材料の調査または分析 (28,618) | 特殊な応用に特に適合したシステム (7,977) | きず,欠陥,または汚れの存在の調査 (6,670) | 調査対象物の材質や形に特徴付けられるもの (3,597)
国際特許分類[G01N21/95]の下位に属する分類
円筒体またはワイヤの外表面の検査 (199)
中空体,例.削孔,の内側表面の検査 (224)
物体表面のパターンの検査 (2,601)
透明な材料の検査 (381)
国際特許分類[G01N21/95]に分類される特許
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液滴吐出装置の異物検査方法
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ガラス基板検査装置及びガラス基板製造方法
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球検査用転がし装置
【課題】球径の大きさの変化に対応できる球検査用転がし装置を提供する。
【解決手段】複数の球55を載置する載置用台と、複数の球55を縦横複数列に内側に配置する四角形状の枠30と、枠を水平面内の直行する2方向へ移動可能に案内する案内装置70とからなる球検査用転がし装置であって、枠30に球55との縦方向の距離を詰める縦方向調整板36を縦方向に移動可能に設け、枠30に球55との横方向の距離を詰める横方向調整板35を横方向に移動可能に設け、縦方向調整板36および横方向調整板35を枠に固定する固定装置38を設けた。
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ディスク表面検査装置
【課題】検査装置の検査エリア内に損傷ディスクが持ち込まれないようにすること。
【解決手段】検査対象であるディスク30は搬送カゴ31に収納して搬送される。センシング部11は、事前にディスクのキズや割れ欠けといった損傷の有無を検査する。光学式欠陥検査部10は、ディスク表面の微細な欠陥の有無を検査する。ディスク取出部17は、センシング部11の検査結果に応じて、損傷なしとされたディスクのみを搬送カゴから取り出して光学式欠陥検査部10に供給する。
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球検査用転がし装置
【課題】球径に応じて転がす量を変えられる球検査用転がし装置を提供する。
【解決手段】複数の球55を載置するパッド43と、複数の球55を縦横複数列に配置する配置部材30と、配置部材30およびパッド43を水平面内の直交する2方向のうち一方向に相対移動させる第1駆動装置20と、配置部材30およびパッド43を水平面内の直交する2方向のうち他方向に相対移動させる第2駆動装置40と、第1駆動装置20および第2駆動装置40を制御して配置部材30およびパッド43を相対移動させ、球55に縦転がしおよび横転がしを与える制御装置51と、制御装置51に球径を入力する入出力装置52とからなり、制御装置51は、入力された球径に応じた配置部材30およびパッド43の相対移動量を算出する算出手段を有する。
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構造物調査装置及び構造物調査方法
【課題】少ない光源による照明装置を用いて、構造物の表面の欠陥に発生する陰影を確実に認知できるようにする。
【解決手段】
複数の光源121-124から、各光源による光線の主要な照明領域が重複しないよう撮影領域を照射して撮影し、補正データ取得手段103が、欠陥のない撮影領域の撮影結果から、明度のムラを補正する補正データを取得し、欠陥を調査すべき撮影領域の撮影結果を、補正データを用いて補正し、撮影結果の明度のムラを平準化し、撮影結果に含まれる欠陥の影が、明度のムラにまぎれることなく、はっきり認識できるようにする。
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三次元表面検査装置および三次元表面検査方法
【課題】鏡面反射が酷い計測対象物であっても、簡単な構造により低コストで高精度かつ高速に表面の凹みや大きな疵などの三次元的欠陥を検査することが可能な三次元表面検査装置の提供。
【解決手段】計測対象物Xを撮影するカメラ装置3と、曲面状に配設されて計測対象物を覆うフィルタ膜と、フィルタ膜の曲面状に沿って周期的な強度分布を持つ曲面状強度分布のパターン光を投影し、フィルタ膜を介して計測対象物に投影する曲面パターン光投影手段5と、カメラ装置3により撮影された画像に対し、曲面状強度分布を直線状強度分布に変換するデコード処理を行うことで、計測対象物の表面の三次元的欠陥を検出する欠陥検出手段13とを含む。
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ブレーキ診断装置
【課題】 従来は、保守員の点検作業後、次回の点検予定日以前でも異常を検出した時点で発報する。
【解決手段】 この発明に係るブレーキ診断装置は、エレベータ巻上機の電磁ブレーキのプランジャーの上部および励磁コイルカバーの上部に設けられ、励磁コイルの励磁制御によるプランジャーの上下運動のストロークを回転運動の回転量に変換する運動変換手段と、運動変換手段に変換された回転運動の回転量を検出し、検出した回転量に基づいて、エレベータ巻上機の電磁ブレーキの状態を診断する診断手段と、診断手段がエレベータ巻上機の電磁ブレーキの状態に異常があることを診断したとき、所定の連絡先に保守点検の要請を発報する発報手段とを備えた。
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基板表面欠陥検査方法および検査装置
【課題】
基板表面欠陥検査方法及びその検査装置において効率的に欠陥サンプルデータを収集して、分類性能の高い設定条件を提供することを可能にする。
【解決手段】
本発明は、検査対象の基板を載置して回転可能なステージ手段に載置された基板に1つ又は複数の光を照射し、前記基板からの反射或いは散乱光を検出する1つ又は複数の検出器を備えた検査光学系手段と、前記1つ又は複数の検出器から出力される信号を増幅してA/D変換した信号を処理して基板上の欠陥を検出する欠陥検出手段と、欠陥検出モデルに従って散乱光シミュレーションを行い複数の検出器出力を予想する出力計算手段と、ルールベースの機械学習によって分類器を構築する分類器構築手段を備えた基板表面欠陥検査装置において、前記分類器構築手段は、散乱光シミュレーションによる分類器を基に、必要な実欠陥サンプルの収集を提示し、必要十分な条件での分類器を構築する。
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塗布量検査装置、塗布装置、および塗布量検査方法
【課題】光学部品に対する接合用材料の塗布量の適否を検査する。
【解決手段】光源150を制御して光学部品に光を入射させる入射光制御部131と、センサー151を制御して光学部品における接合用材料が塗布された面からの出射光の光学特性を検出する光学特性検出部132と、検出された光学特性と適正範囲記憶部152に予め記憶している適正範囲とを比較することにより、接合用材料の塗布量の適否を判定する適否判定部133とを備える。
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