【課題】 半導体ウェーハ上の欠陥の分析に特に有利であり、自動化による製造プラント内でのウェーハのインライン検査に適するシステムを提供する。
【解決手段】 バックグラウンドに起因するｘ線信号を定量的に考慮する欠陥のＥＤＸ自動分析用システムを用いる。本システムは、バックグラウンドと欠陥のｘ線サンプリングに適切な場所を自動的に同定することができる。本システムは、また、バックグラウンドに起因し欠陥に起因しない信号を効果的に、かつ定性的ではなく定量的に除去することができる。『微量分析』と呼ばれる有利な特徴が本システムのスループットを高くすることを可能にする。 （もっと読む）

【課題】従来の消滅ガンマ線のエネルギー分布又は陽電子寿命分布を測定して得られる画像では、試料表面の安定した情報が得られない問題や、ノイズが入ってしまうという問題があるので、高性能の画像を取得することを目的とする。
【解決手段】陽電子ビームを測定対象物に走査して照射し、放出される消滅ガンマ線又は散乱粒子を検出して分析画像を作成するとともに、消滅ガンマ線の検出数をコントラストとする画像を作成して、これらの画像の組み合わせから新しい分析画像を作成することにより、高性能な画像を得る。 （もっと読む）

【課題】放射化分析や質量分析の適用が困難な試料に対して、正確に原子核の分析を行う。
【解決手段】この原子核分析装置１０は、γ線源１１、放射線検出器１５、γ線モニタ用検出器１６、パーソナルコンピュータ（分析部）１７を具備する。この分析方法においては、被測定試料原子核４０にγ線１２が照射されることによって、被測定試料３１中の原子核４０に（γ、ｎ）反応を生じさせ、この際に発生する中性子４１のエネルギー（スペクトル）を放射線検出器１５によって測定することによって、原子核４０の核種を特定する。ここで、γ線１２のエネルギーを調整することによって特定の反応（（γ、ｎ）反応）のみを選択的に生じさせることができる。 （もっと読む）

レーザ加工は、終点決定を使用することによって、またはレーザとともに荷電粒子ビームを使用することによって向上する。終点決定は、基板からの光子、電子、イオン、中性粒子などの放出を使用して、レーザの下の材料がいつ変化したか、またはいつ変化しようとしているか判定する。レーザ光学要素への付着を防ぐため、試料から除去された材料をそらすことができる。 （もっと読む）

スクリーング方法および装置であって、該方法は、励起放射により対象物をスクリーニングするよう照射するステップと、対象物の近傍に配置した放射検出器からの出力データ検出を収集するステップと、出力データ検出において個別信号を分解する分解ステップであって、(i)前記データ内に存在する信号の信号形状（またはインパルス応答）を決定するステップ、(ii)前記信号の一つ以上のパラメータを推定するパラメータ推定を行い、前記一つ以上のパラメータは少なくとも信号の瞬間的位置を含むものとしたステップ、(iii)前記信号形状および前記パラメータ推定から各前記信号のエネルギーを決定するステップ、によって前記分解を行う、該分解ステップと、を備え、これによりスクリーニング時間を短縮し、ドウェル時間（すなわち放射および／またはデータ収集時間）を短縮し、分解能は改善するおよび／またはスループットを増加する。
（もっと読む）

【課題】駆動部位の微小摩耗量を継続的に測定する。
【解決手段】駆動部位を成して互いに相対移動する２つのスラストプレート１６、１７のうち、摩耗量を測定したい方のスラストプレート１６を放射化し、放射化されたスラストプレート１６の経時的な平均位置の変化が少ない方向Ｖから、放射線を検出可能に配置された検出器２０によって、駆動部位を駆動させながら、放射化されたスラストプレート１６から発せられる放射線を所定時間検出することにより、駆動部位の摩耗量を測定する。
これによれば、駆動部位を駆動させながら所定時間放射線を検出することで、放射化されたスラストプレート１６と検出器２０との経時的な平均位置変化による検出値のばらつきによる誤差を抑えて、駆動部位の微小摩耗量を継続的に測定することができる。 （もっと読む）

Ｘ線及びガンマ線の分光光子線量測定のための本発明の方法では、測定されるパルス波高分布によって処理される。ルーチンの場合には線量率測定は十分な精度で、しかし高い測定繰り返し周波数で行われる。より詳細な分析の場合にはできるだけ最良のエネルギ分解能及び線量率の放射性核種への割り当ての可能性によって処理される。これら二つの測定モードの選択は改善された測定をその都度の測定課題に適合することを可能にする。本発明の方法は２つの要求を１つのシステムにおいて組み合わせる。すなわち比較的良好なエネルギ分解能及び線量成分を個々の核種に割り当てる可能性を有する動作と高い反復レートで線量率が迅速かつ十分に精確に求めなければならないケースとを組み合わせる。両方の場合において様々な線量測定パラメータ又は臓器線量を算定する可能性が存在する。
（もっと読む）

本発明は、廃棄物処理プラントの入口で、特定の化学物質（廃棄物中に検出された塩素）のレベルに従って、稼働状態で廃棄物を選別する装置及び方法である。装置は、好ましくは事前設定された限度に達するまで、廃棄物を秤量モジュールに提供する廃棄物入口を有する。次に、この廃棄物のコントロールボリュームが、コントロールボリューム中の特定の化学物質の含有量を決定するように最適化されたパルス中性子材料分析器に導入される。次に、コンピュータ等の制御手段が、廃棄物コントロールボリューム中の化学物質のレベルが事前設定されたしきい値より高いか低いかを判断し、その判断に従って廃棄物を２つのチャネルの何れかに導く。これらのチャネルの一方は、廃棄物処理チャンバに導入するために所定の化学物質の含有量が少ない廃棄物を受け入れる。他方のチャネルは廃棄物を貯蔵し、例えば、その廃棄物を含有量が十分に低い他の廃棄物と混合し、化学物質の全体量がしきい値より少なくなるようにする。 （もっと読む）