【課題】結晶ウェハにより製造した３次元湾曲型Ｘ線反射レンズによる分光光学系により測角器を必要としない小型化に適した蛍光Ｘ線分析装置を提供する。
【解決手段】Ｘ線源とＸ線結晶分光器とＸ線検出器によってなる蛍光Ｘ線分析装置であって、１方向の長さが25mm以上300ｍｍ以下で板状単結晶からなる３次元形状に湾曲した１枚のＸ線結晶分光器と、位置敏感かつエネルギー分解能力のあるＸ線検出器の少なくとも何れか一方を用いることにより、結晶分光器の角度走査をすることなくＸ線の分光波長帯域の蛍光Ｘ線分析を行う。 （もっと読む）

【課題】蛍光Ｘ線分析法による成分定量において分析精度を向上できる試料の予備成形方法およびそれを用いる成分定量方法を提供することを目的とする。
【解決手段】加圧して本成形した後で蛍光Ｘ線分析法に用いられる試料を予備成形する方法であって、平均粒径Ｄ５０が３０μｍ以下の金属または合金粉末を型に充填して成形し、この成形体５のＸ線が照射される面５ａの全面を押込み率を１０〜４０％にして加圧することを特徴とする試料の予備成形方法である。本発明の予備成形方法は、成形体５のＸ線が照射される面５ａの全面を押込み率を１０〜４０％にして加圧する際に、成形体５のＸ線が照射される面の全面を加圧するパンチ４と、このパンチ４を案内するガイド３とを用いるのが好ましく、金属または合金粉末として、希土類−鉄−ホウ素系合金の酸化物粉末を用いるのが好ましい。 （もっと読む）

【課題】熱交換器のアルミニウムフィンに鉄が強固に固着する以前に除去する必要があるが、そのためには、冷凍装置の熱交換器の運転状態を常に監視しなければならず、装置が大規模となるほか、鉄粉の腐食による目詰まりであるか、油にごみ等が付着したために生じた目詰まりであるかを判別することはできない。
【解決手段】この発明に係る検知装置は、アルミニウムの成型品にＸ線を照射する照射部と、成型品から放出される蛍光Ｘ線を分析する分析部と、分析部における分析結果からアルミニウムと鉄の信号強度の比を算出する算出部とを備え、この比により成型品に固着した鉄の固着度を検知する。 （もっと読む）

【課題】測定感度および測定精度が高く、効率の良い、半導体ウェハプロセス用希ふっ酸溶液の不純物分析方法を提供すること。
【解決手段】希ふっ酸溶液を浸漬槽から採取するＡ工程と、液中のＳｉの質量数２８、Ｐの質量数３１およびＰＯ不純物の質量数４７の質量スペクトル強度を計測するＢ工程と、採取した希ふっ酸溶液を乾燥濃縮して固形化するＣ−１工程、この固形物中のＳｉ、Ｐ、ＰＯ元素の真空中でのエネルギー強度を測定するＣ−２工程と、前記固形物の真空中での質量スペクトル強度を計測するＣ−３工程、Ｃ−３工程で求めた目的の不純物の質量スペクトル強度とマトリックス質量のスペクトル強度とを合わせたスペクトル強度と目的の不純物の質量スペクトル強度との強度比を求め、この強度比によって前記Ｂ工程で求めた質量スペクトル強度を補正して、希ふっ酸溶液中のＳｉ、Ｐ，ＰＯの真の不純物量を求める。 （もっと読む）

【課題】簡易な操作により容易かつ迅速に分析を行うことができるとともに、公定法との良好な相関性を得ることができる石炭灰中における砒素濃度の簡易分析方法を提供する。
【解決手段】石炭灰中における砒素濃度の簡易分析方法は、まず石炭灰にＸ線を照射し、該石炭灰から発せられる蛍光Ｘ線の強度を測定する蛍光Ｘ線法により得られる砒素濃度と、アメリカ環境保護庁の定める公定法（EPA Method 3051）により得られる砒素濃度との間で検量線を作成する。次いで、分析対象物としての石炭灰について前記蛍光Ｘ線法により砒素濃度を分析する。そして、蛍光Ｘ線法で得られた砒素濃度の分析値から、前記検量線に基づいて公定法により得られる石炭灰中の砒素濃度が推定可能である。 （もっと読む）

【課題】結晶構造を有する試料から発生する散乱線および不純線を抑制し、回折Ｘ線を回避することができるＸ線分析装置等を提供する。
【解決手段】本発明のＸ線分析装置は、試料Ｓを試料Ｓの所定点周りに回転させながら１次Ｘ線２を照射し、試料Ｓから発生する２次Ｘ線４の強度を試料Ｓの回転角度と対応させた回折パターンを取得して記憶し、回折パターンを、２次Ｘ線４の強度を示す直線で強度の高低方向に走査しながら、直線が示す強度以下の強度をもつ回折パターン上の点を候補点とし、隣接する候補点間の回転角度差の最大値が所定の角度になったときに走査を止めて候補点の回転角度を記憶し、試料Ｓの測定点の座標に応じて、記憶した候補点の回転角度の中から測定点の座標に最も近い回転角度を読み出し、読み出した回転角度に試料Ｓを設定するとともに、試料Ｓの測定点を検出器７の視野Ｖ内に配置する。 （もっと読む）

【課題】測定時間を短くすることができ、且つ簡易な構成で完全分光を実現することができるＸ線分光検出装置を提供する。
【解決手段】Ｘ線分光検出装置１Ａは、Ｘ線若しくは電子線の照射によって該試料１０表面における直径１００μｍ以下の微小分析点Ｐから放射された特性Ｘ線２を波長毎に分光して検出する。Ｘ線分光検出装置１Ａは、分光結晶２０及び二次元Ｘ線検出器３０を備える。分光結晶２０は、微小分析点Ｐから放射された特性Ｘ線２を受ける平坦な回折反射面２０ａを有し、特性Ｘ線２に含まれる波長成分のうち該回折反射面２０ａへの入射角に応じた波長成分を回折反射することにより、特性Ｘ線２を波長毎に分光する。二次元Ｘ線検出器３０は、分光結晶２０において回折反射した特性Ｘ線２を受ける受光面３０ａを有し、該受光面３０ａに入射した特性Ｘ線２の入射位置および強度に関するデータを生成する。 （もっと読む）

【課題】長期間にわたって使用できるとともに、正確なドリフト較正をすることができる、液体試料の蛍光Ｘ線分析用の較正試料等を提供する。
【解決手段】本発明の較正試料２０は、液体試料Ｓの蛍光Ｘ線分析において、分析対象金属元素の測定Ｘ線強度の経時変化を較正するための固体の較正試料２０であって、分析対象金属元素を含む金属層２１と、水素、ホウ素、炭素、窒素、酸素およびフッ素のうち少なくとも１つの軽元素を最大のモル分率とする厚さ１ｍｍ以上の軽元素層２２と、が重ねられて形成され、金属層２１において、軽元素層２２との対向面の反対側の面を分析面２３とする。 （もっと読む）

【課題】X線等の電磁波や電子線、中性子線等の粒子線を利用し、試料の断層像を撮影するComputerized Tomography Method（CT法）において、密度等のスカラー場ではなく、磁気等のベクトル場の断層像を得る。
【解決手段】試料または入射エネルギー線をφ回転させて測定した強度I_φ(x_r)のx_r−φ分布から、２Ｉ_φ（ｘ_ｒ）・ｃｏｓ（φ）及び２Ｉ_φ（ｘ_ｒ）・ｓｉｎ（φ）を用いてサイノグラムを再構成し、ベクトル場の成分分離を行い、再構成することでベクトルの断層像を得る。 （もっと読む）

【課題】個人差を生じさせずにＲＯＩ範囲を設定して検量線を算出することが可能な、検量線算出方法、及び情報処理装置を提供すること。
【解決手段】測定スペクトル上のＲＯＩ範囲を設定するＲＯＩ範囲設定工程と、設定されたＲＯＩ範囲の積分強度を前記測定スペクトルごとに算出し、算出した積分強度に基づき最小二乗法により検量線を算出する検量線算出工程と、前記積分強度と前記検量線との誤差を算出する誤差算出工程とを含み、前記ＲＯＩ範囲設定工程において、前記測定スペクトル上のＲＯＩ範囲を変更し、変更後のＲＯＩ範囲に基づき算出される前記誤差が最小となるＲＯＩ範囲を決定する。 （もっと読む）