【課題】１車線の幅員以上の幅の目詰まりを１回の計測で評価できるとともに、路肩や歩道の目詰まりの評価も可能である目詰まり評価装置及び目詰まり評価プログラムを提供する。
【解決手段】熱画像取得部３６が、赤外線カメラにより構成された撮影装置から、評価の対象物である高機能舗装道路等の表面の熱画像情報を取得すると、放射温度検出部３８は、上記熱画像取得部３６が取得した熱画像情報を解析し、対象物表面の放射温度を検出する。温度情報蓄積部４０は、放射温度検出部３８が検出した対象物表面の放射温度を、予め定めた起点から予め定めた距離分記憶装置３０に蓄積する。目詰まり評価部４２は、温度情報蓄積部４０に蓄積された放射温度の上記距離に対するプロファイルを求め、目詰まり評価部４２は、このプロファイルに基づき、対象物の目詰まりの程度を評価する。 （もっと読む）

【課題】欠陥予備軍であっても発熱検査によって特定することができる配線欠陥検査方法および装置を提供する。
【解決手段】本発明の一形態に係る配線欠陥検査装置１００は、半導体基板の配線経路に電圧を印加して、短絡欠陥に至っていない短絡予備軍を短絡させた後、電圧無印加状態を所定時間維持した後で、該半導体基板に印加して該短絡欠陥を含む配線もしくは配線間を発熱させ温度上昇させた後、該半導体基板を赤外線カメラで撮影する。 （もっと読む）

【課題】基板の欠陥部の候補を適切に絞り込むことができ、さらに検査時間の短縮でき、且つ検査回数を低減できる検査装置および検査方法を提供する。
【解決手段】検査装置１００は、基板７上の複数の配線６と電気的に接触する複数のプローブ５と、正極及び負極を有し配線６間の電気特性値を測定する電気特性測定器１と、温度または赤外線により基板７の欠陥部を検出する赤外線カメラ８と、電気特性測定結果に基づき配線６間に係る電気特性の良否を判別して欠陥部の候補を絞り込み、絞り込んだ欠陥部の候補を含むプローブ群に関する赤外線カメラ８の検出結果に基づき欠陥部を特定する制御部３とを備えた。制御部３は、複数のプローブ５を２つのプローブ群に分割し、分割後のプローブ群間における電気特性測定を行い、分割されたプローブ群間に欠陥があると判定された場合には、分割されたプローブ群間については接続及び電気特性測定を行わない。 （もっと読む）

【課題】集積回路における発熱点の深さをその位置に依存することなく精度よく安定して検出する。
【解決手段】発熱点検出方法は、集積回路Ｓの表面の平均温度を安定化するステップＳ０１と、集積回路Ｓに低周波数のバイアス電圧を印加し、それに応じて集積回路Ｓから検出される発熱検出信号を取得するステップＳ０２，Ｓ０３と、集積回路Ｓに高周波数のバイアス電圧を供給し、それに応じて集積回路Ｓから検出される発熱検出信号を取得するステップＳ０４，Ｓ０５と、低周波数のバイアス電圧と発熱検出信号との間の位相差、及び高周波数のバイアス電圧と発熱検出信号との間の位相差を検出するステップＳ０６〜Ｓ０８と、それらの位相差に基づいて、バイアス電圧の周波数の平方根に対する位相差の変化率を算出し、変化率から発熱点の深さ情報を得るステップＳ０９とを備える。 （もっと読む）

【課題】精度の高い検査に対応することができる測定用保持具及び測定装置を提供する。
【解決手段】実施形態に係る測定用保持具は、複数の半導体チップを含むパッケージ、前記パッケージの側面から露出し前記半導体チップの電極と導通する導通部、を有する被測定物を保持する測定用保持具である。測定用保持具は、前記被測定物を配置する位置に貫通孔が設けられた支持基板と、前記支持基板に前記被測定物を固定する固定部と、前記支持基板に対して少なくとも１軸方向に可動に設けられ前記導通部と接触する探針部と、を備える。 （もっと読む）

【課題】
赤外線カメラの熱画像から抽出される異常部に不具合が含まれているか否かを判定する材料を提供すること。
【解決手段】
構造物の熱画像に影響を及ぼす因子と、この因子の情報を用いて構造物の熱画像から抽出される異常部に不具合が含まれている確率を求める多変量解析の関係式と、を特定しておく。そして赤外線カメラで構造物を撮影して熱画像を取得し、その熱画像から周囲と温度が異なる異常部を抽出し、その異常部における因子の情報を判別したら、判別した因子の情報を数値化し、その数値を多変量解析の関係式に当てはめて、抽出した異常部に不具合が含まれている確率を求める。 （もっと読む）

【課題】テーブルローラに発生する亀裂を非破壊かつ非開放で効率よく診断することができるテーブルローラの亀裂診断装置及び方法を提供する。
【解決手段】テーブルローラネック部の亀裂診断装置は、テーブルローラ表面に超音波振動を与える超音波振動発生装置（超音波振動子８、超音波ホーン７）と、超音波振動発生装置をテーブルローラローラ部４に固定する固定装置（固定冶具１２、電磁石固定部、電磁石１４）と、テーブルローラネック部５表面に発生する温度変化を赤外線サーモグラフィで計測する表面温度検出手段（アルミ製の反射板１７、赤外線カメラ１５、演算処理装置１６）から構成されている。 （もっと読む）

【課題】鋳型の局所的な通気不良を検出して通気不良部を特定することができる。
【解決手段】送風を加熱する熱源３と、生成された温風を通気性の上型１に流通させる送風室２と、上型１に近接して設けられ、当該上型１を流通した後の温風を流通させる金網体４と、当該金網体４の表面温度分布を検出するサーモグラフィー６とを備える。 （もっと読む）

【課題】天井クレーン等のように、桁（主桁、走行桁）とその桁の上に設置されたレールとを備えたクレーンについて、そのクレーンに存在する亀裂を非破壊かつ遠隔で効率良く検査することができるクレーン亀裂診断装置及び方法を提供する。
【解決手段】クレーンの走行桁１の亀裂を診断するために、クレーン亀裂診断装置５は、超音波振動発生装置６と、赤外線サーモグラフィ装置１１と、反射板１３と、レール固定装置１９とを備えている。 （もっと読む）

【課題】透明基板に形成される透明導電体のパターン形状を容易かつ正確に検査することができる導電体パターン検査装置及び導電体パターン検査方法を提供する。また、重ね合わされる複数の透明導電体の相対的位置精度を高めることができる基板の位置合わせ装置を提供する。
【解決手段】透明基板表面に形成される透明導電体のパターン形状を検査する導電体パターン検査装置であって、前記透明基板及び前記透明導電体から放射される赤外線の放射量分布を撮像してパターン形状画像として取得する画像取得手段を備える導電体パターン検査装置。 （もっと読む）