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国際特許分類[G01N27/42]の内容

物理学 (1,541,580) | 測定;試験 (294,940) | 材料の化学的または物理的性質の決定による材料の調査または分析 (128,275) | 電気的,電気化学的,または磁気的手段の利用による材料の調査または分析 (17,622) | 電気化学的変量の調査によるもの;電解または電気泳動の利用によるもの (9,175) | システム (4,044) | 電解質からの物質の沈積または遊離の測定;電量測定,すなわち電解質中の物質の電気化学当量の測定 (50)

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【課題】半導体製造産業で使用されるような低酸素濃度の処理環境における有機汚染物質の検出のためのセンサ、このようなセンサの使用、及びそのような処理環境における有機汚染物質の検出のための新規な方法を提供する。
【解決手段】低酸素濃度の監視下環境で使用するための有機汚染物質分子センサ。センサは、電気化学セルを含み、これは、有機汚染物質分子の解離吸着に触媒作用を及ぼす能力を有する触媒で被覆され(又は、その触媒から形成され)、監視下環境に露出されるように位置決めされた測定電極、酸素アニオンへの酸素の解離に触媒作用を及ぼす能力に関して選択された触媒で被覆され(又は、その触媒で形成され)、参照環境内に位置決めされた参照電極、及び測定電極と参照電極の間に配置されてそれらを架橋する固体酸素アニオン導体から形成され、酸素アニオン伝導は、臨界温度TC又はそれよりも高い温度で発生する。参照環境を監視下環境から分離するために密封手段が設けられる。セルの温度を制御してモニタし、参照電極と測定電極の間を流れる電流(IP)を制御するための手段も設けられる。TC未満の温度(Tads)では、有機汚染物質分子が測定電極の表面上に吸着されてそこで解離し、その表面で炭素質堆積物の蓄積がもたらされる。TCを超える温度(Ttit)では、参照電極と測定電極の間に電流(IP)が通され、それによって参照電極から測定電極まで通ってその表面に形成した炭素質堆積物を酸化する酸素アニオンの数と二酸化炭素の生成とが制御される。 (もっと読む)


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