【課題】 センサーの出力レベルの変動にかかわらず、波形解析により、簡単に粒状物質の性状の変化を監視できる粒状物質の監視方法を提供する。
【解決手段】 容器１Ａの外壁または内壁に装着したアコースティックエミッションセンサ２，３の出力を、データ収集記憶装置４に記憶する。データ処理演算装置５は、センサーの出力を周波数成分のパワースペクトルに変換し、周波数成分のパワースペクトルの分布状態の経時的な変化に基づいて粒状物質の性状の変化を監視する。監視結果を表示部６に表示する。 （もっと読む）

【課題】広帯域光源またはレーザ光でひずみ信号及びAE信号を計測し得るFBGセンサの計測方法及び計測装置を提供する。
【解決手段】FBGセンサ１１に光を入力する広帯域光源１３及び光ファイバアンプ１４と、FBGセンサ１１からの光を切替可能にする第一の光スイッチ１６と、一方の光を光ファイバアンプ１４に戻すアンプ側の光カプラ１７と、第一の光スイッチ１６の光とアンプ側の光カプラ１７の光とを選択的に入射させる第二の光スイッチ１８と、第二の光スイッチ１８からの光を分割する計測側の光カプラ２０と、計測側の光カプラ２０で分割した一方の光を計測するブラッグ波長計測手段２１と、計測側の光カプラ２０で分割した他方の光を計測するAE計測用の光電変換器２２とを備え、広帯域光源１３と、光ファイバアンプ１４のファイバリングレーザを選択可能にする。 （もっと読む）

【課題】接触ガイド部材の監視を最小のエネルギー費において、好ましくは外部の有線接続なしで、軸受箱または線形ガイド装置を大きく改造することなく、可能にする手段を提供する。
【解決手段】モジュール１０は、軸受箱７２に収納されている軸受８０の状態の特徴的な物理量の少なくとも１つを監視する。上記モジュール１０は、少なくとも１つの状態センサ、および電気回路を備えている。少なくとも１つの当該状態センサは、上記物理量を測定する電気信号を供給する。当該電気回路は、上記状態センサと接続されている、上記状態センサの照会回路、監視装置のための給電回路、およびガイド部材８０の変位センサ５８と接続されている節電回路を備えている。当該節電回路は、変位センサ５８によって測定されたガイド部材８０の動作の特徴的な物理量が、所定の時間にわたって所定の閾値を上回るときに、上記照会回路を再稼動させる。 （もっと読む）

【課題】触媒以外の部材で生じたＡＥ波の信号を除外し、正確な触媒由来のＡＥ信号に基づきクラック検知を行うことができるクラック発生検知装置を提供する。
【解決手段】クラック発生検知装置は、触媒１に接触する接触部材と、該接触部材を介して触媒１からのＡＥ信号を検出するＡＥセンサ１２とを備えるメインＡＥ信号検出部１０と、触媒１には非接触であって該触媒１の周辺部材に接触する接触部材と、該接触部材を介して周辺部材からのＡＥ信号を検出するＡＥセンサ２２とを備えるサブＡＥ信号検出部２０と、検知部３０とを備えている。検知部３０は、メインＡＥ信号検出部から入力されたメインＡＥ信号と、サブＡＥ信号検出部から入力されたサブＡＥ信号とを比較することにより、触媒１において弾性波が生じたことを検知し、且つ、該比較により得られた特性値が所定の基準値を上回っている場合に触媒１にクラックが発生したと判定する。 （もっと読む）

【課題】リチウムイオン二次電池の内部状況を詳細に検査する方法として、充放電試験による電流，電圧等の電気的信号以外の信号を用いて、短時間で、高精度な検査方法、及び検査装置を提供する。
【解決手段】電解液と正極，負極、及びセパレータからなる電極群が一つの容器内に配置されているリチウムイオン二次電池の検査方法において、前記容器の外側にアコースティックエミッション（超音波）を検出するセンサを密着させ、前記正極と負極の間に充電もしくは放電電流を印加及び停止した際に、電池容器内で発生するアコースティックエミッションを検知する。特に、電池に異なる値の複数の充放電電流を印加及び停止した際に発生するアコースティックエミッションの振幅強度を測定し、充放電流値とアコースティックエミッション振幅強度を線形近似して、その傾きと切片の数値をもって、当該電池がこれまで充放電したサイクル回数を推定する。 （もっと読む）

【課題】被試験体の内圧、特に圧力変動に伴う特性評価を精度よく行うことを可能にする。
【解決手段】気密に形成された被試験筒体１０と、被試験筒体１０の内部に配置され、筒方向一端側が前記被試験筒体内空間に連通するように開口し、他端側が封止された圧力調整用筒体２０と、圧力調整用筒体２０内で筒方向に沿って往復動可能な圧力調整ピストン２２と、被試験筒体２０内空間に連通するように被試験筒体２０に設けられたガス注入部（水素配管３０、水素通路３１）と、前記被試験筒体における伝播音波を検出する音波センサ（ＡＥセンサ４０−１〜８）を備え、圧力調整ピストンの往復動によって被試験筒体に負荷される内圧を設定、または変化させることができ、被試験筒体に的確な圧力または圧力変動を付与して内圧試験を精度よく行うことができる （もっと読む）

【課題】基板に所定のストレスを加える工程が含まれた処理を施す前に、処理中の破壊を生ずる可能性のある基板を事前に見つけ出せるようにした基板事前検査方法を提供する。
【解決手段】基板にストレスを加えるストレス印加工程と、ストレス印加工程で加えたストレスに起因するアコースティック・エミッション現象で基板に発生する弾性波を検出する検出工程とを備え、検出工程で検出した弾性波に基づいて、基板が前記所定のストレスに耐えられるか否かを判断する。前記処理が、基板Ｓを吸着及び加熱するステージ３を備える処理室１で行う処理であって、前記所定のストレスを加える工程が、ステージ３に基板Ｓを吸着した状態で基板を所定の処理温度に加熱する加熱工程である場合、弾性波を検出するセンサ４を設けて、基板Ｓをステージ３に載置した状態で、加熱工程完了前にストレス印加工程及び検出工程を実行する。 （もっと読む）

【課題】 アコースティック・エミッション検出用の追加のセンサ、配線、駆動回路や検出回路等を設けることなく、プローブ顕微鏡にアコースティック・エミッション検出センサ機能を具備させる。
【解決手段】
試料ホルダを有するスキャナ圧電体に走査信号を印加し、該試料ホルダに載置された試料の表面と所定の接触力で接触するプローブにより、試料との間で発生する相互作用を検出するプローブ顕微鏡において、スキャナ圧電体に走査信号を印加する走査信号配線から、該走査信号に重畳されるアコースティック・エミッション信号を分離して、走査位置毎に、試料とプローブの相互作用とアコースティック・エミッションを同時に検出できるようにした。 （もっと読む）

【課題】薄板である測定対象物の形状等のバラツキや支持手段の設置位置に関わらず、測定対象物のクラックの有無の検知について安定した測定を可能とする薄板検査装置を得る。
【解決手段】振動板１２から放射される音波によって、測定対象物５０は、音圧の疎密に伴い、浮力を得て、その全体が加振され、変位量Δｒ２で振動する。 （もっと読む）

【課題】真空容器内のＥＵＶ光源の異常を、大気解放することなく早期に発見する。
【解決手段】大気圧以下の減圧下でプラズマを発生し、プラズマから放射されるＥＵＶ光を取り出すＥＵＶ光源と、ＥＵＶ光源からのＥＵＶ光を、所望の半導体パターンが形成されたマスクに導く第１の光学系と、マスクからの反射光又はマスクの透過光を試料上に導く第２の光学系と、を備え半導体露光装置において、光源のアコースティックエミッションを検出する検出部１８０を設け、検出部１８０の出力から光源の異常を検出する。 （もっと読む）