【課題】ポリウレタン材料の均質性を評価する上で有効かつ簡便な評価用試料の調製方法を提供する。
【解決手段】液体で溶解度パラメーターが１４〜２５MPa^1/2の有機化合物にポリウレタン材料を浸漬する事でポリウレタンの組成の不均一部と均質部における有機化合物の親和性、浸透性、膨潤性が異なることから、浸漬後のポリウレタンに目視外観上の明らかな不均一性が認められるようになる。この目視外観上の明らかな不均一性とは、例えば透明性の高い部分と不透明な部分が帯状、縞状、海島状などの形状で認められるものである。 （もっと読む）

【課題】研摩スラリーを使用するときに、金属部分と接触して研摩スラリーが金属汚染される可能性がある。これが研摩中に半導体ウエーハに入り込み、基板の特性を損なう。そこで研磨スラリーについて簡単な操作で、従来より低い濃度まで金属を定量できる方法を提供する。
【解決手段】 半導体研磨スラリー中の溶解金属の定量方法は、半導体研磨スラリーのｐＨを１以下とした後、ｐＨを２〜９とするｐＨ調整工程、ｐＨ調整した半導体研磨スラリーをキレート担体と接触させるキレート担体接触工程、半導体研磨スラリーと接触させた後のキレート担体に、酸水溶液を接触させる酸抽出工程、酸抽出工程で得た酸抽出液中の金属を定量する金属定量工程、を含んでなる。また、全金属の定量の場合には、先ず半導体研磨スラリーにフッ酸を加えて５０〜３００℃にて処理するフッ酸処理工程を経てから、上記の各工程を行う。 （もっと読む）