【課題】捻りモードの振動を効率良く検出する検出センサを提供することを目的とする。
【解決手段】振動子４１の捩じりモードの振動を検出することによって、ノイズを抑え、より高感度な検出を行う。このとき、振動子４１をチップ・パッケージ１２０に積層したＰＺＴ板１３０により圧電駆動し、振動子チップ１００に形成されたｐ型半導体ピエゾ抵抗素子からなる検出素子４５Ａ〜４５Ｄにより信号検出を行うことにより、検出センサ４０を非常に小型なものとする。 （もっと読む）

【課題】水素ガスの選択性が高く、小型・低消費電力・低コストな水素ガスセンサを構成する。
【解決手段】密閉キャビティ空間ＥＳは真空または減圧環境である。水素ガスセンサ１０１の周囲に水素ガスがあれば、水素ガスは水素ガス透過性カバー４を透過してキャビティＥＳ内に浸入する。一方、水素ガス以外の窒素ガスや酸素ガスは透過しない。キャビティＥＳ内の振動子１１は水素ガス分圧に応じてＱ値が変化する。振動子駆動／検出回路によって振動子１１は駆動されるとともにその振幅によってＱ値が検出される。このＱ値の変化によって水素ガス分圧が検知される。 （もっと読む）

【課題】測定感度が高く、微量のニオイ分子を検出、測定することのできるニオイ測定装置およびニオイ測定方法を提供する。
【解決手段】所定のニオイ分子の吸着により共振周波数が変化するように構成されるニオイセンサー１０と、内部にニオイセンサー１０が設置される測定室２０と、測定室２０の内部を所定の真空度にする真空ポンプ４２と、を備え、所定の真空度にされた測定室２０の内部に、所定のニオイ分子が供給される。 （もっと読む）

【課題】物質を検出する検出効率の高い検出センサ、物質検出システムを提供することを目的とする。
【解決手段】感応膜４２に成分分子を吸着させる際には感応膜４２を冷却し、感応膜４２から成分分子を脱離させる際には感応膜４２を加熱する。成分分子が振動子４１の感応膜４２に吸着されると振動子４１の振動周波数が変化し、制御部５４では、そのセンサ信号の変化分を常時計測する。この変化分が予め定めた閾値を下回ると、検出が飽和状態に達したと判断し、振動子４１に組み込んだヒータ９０に、予め設定されたヒータ電圧を印加し、感応膜４２に吸着した成分分子を脱離させる。 （もっと読む）

【課題】感度を向上させたＱＣＭセンサおよびその製造方法を提供する。
【解決手段】水晶振動子１２の表面に対する物質の吸着による水晶振動子１２の共振周波数の変化に基づいて物質の質量を測定するＱＣＭセンサ１０において、水晶振動子１２の表面に設けた電極１４と、電極１４の表面に形成した薄いシリコン層１６と、シリコン層１６の表面に対するエッチング処理によって形成した表面積を増大するための微細な凹凸１８とを有するようにする。 （もっと読む）

【課題】センサー種類、構造によらず、測定前のセンサー表面をリフレッシュでき、かつ化学物質検出に影響を与え難い化学物質検出装置、及び化学物質検出装置と組み合わせて使用するクリーニング装置を提供する。
【解決手段】化学物質検出素子１と、化学物質検出素子を収納し、室内を減圧可能なセル２と、セルに気体試料を供給する気体供給流路１２と、気体吸引口１１とセル２の間の気体移動を遮断する弁１３と、セルから気体試料を排出する気体排出流路２１と、セルや気体流路内を減圧するための真空ポンプ２３と、セルに気体試料を供給するための気体吸引手段２４を設ける。 （もっと読む）

【課題】水晶振動素子の一方の励振電極のみに感応膜を容易に形成することができる感応膜形成用ジグと、感応膜が形成され所定の物質を検出するＱＣＭセンサ素子の検出精度を向上させることができる感応膜形成方法を提供する。
【解決手段】基部と脚部と固定部とからなる保持具に搭載されている水晶振動素子の一方の励振電極に感応膜を形成するときに用いる感応膜形成用ジグであって、第一のジグと第一のＯリングと第二のＯリングと第二のジグとから構成されており、第一のＯリングが第一のジグと水晶振動素子の水晶片とで挟まるように第一のジグに搭載され、第二のＯリングが第一のジグと第二のジグとで挟まれるように水晶振動素子が搭載されている第二のジグに搭載され固定することができ、水晶振動素子を搭載したときに、第一のＯリングに形成されている
貫通溝によって水晶振動素子の一方の励振電極のみが露出する構造となっていることを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】高温を使用せず室温付近で検出でき、さらにフッ素系液体等からの妨害ガスの干渉も受けず、簡便にＣ₅Ｆ₈やＣ₄Ｆ₆等のフッ素化炭化水素を検出する方法及び検出センサーを提供する。
【解決手段】下記一般式（Ｉ）で表される、ピリジン骨格を有する化合物との反応を用いたフッ素化炭化水素の検出方法、及び検出部に、下記一般式（Ｉ）で表される、ピリジン骨格を有する化合物を用いたフッ素化炭化水素の検出センサー。
【化１】
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【課題】 吸着物の乾燥重量を測定しなくとも溶液中でリアルタイムで、吸着した膜の膜中に含まれる水の質量とその吸着物質のみの質量、またその吸着膜の含水比を求めることが可能な含水量の測定方法を提供する。
【解決手段】 溶液に両側又は片側が浸される圧電素子を用いたセンサーにより、前記溶液中で前記圧電素子表面、或いは、前記圧電素子上に固定化された膜に物質が吸着されて膜が形成される系において、共振周波数F_s、共振周波数のコンダクタンス値の半分のコンダクタンス値を持つ半値周波数F₁,F₂（F₂>F₁）のうちの何れか２つの変化量（ΔF_s, ΔF₁, ΔF₂）を測定し、基準となる物質の前記センサーへの最大吸着時の周波数変化量（Δ（F₁−F₂）/2）／ΔFsを基準として、測定対象物の周波数変化量（Δ（F₁−F₂）/2）／ΔFsと比較して、前記測定対象物が含有する水の質量を求めることを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】ＱＣＭセンサを用いた、温度補正係数の測定が不要な環境監視装置の提供。
【手段】
共振子１の共振周波数を測定する共振周波数測定器２１と 環境温度を測定する温度センサ２と、測定された共振周波数および環境温度を、測定時刻と関連づけた共振周波数の時系列データＤ２および環境温度の時系列データＤ１として記憶する記憶装置３０と、記憶装置３０に記憶された環境温度の時系列データＤ１から、環境温度が第１の所定温度Ｔｃ１になる第１の時刻ｔ１を算出する第１の時刻算出部１２ａと、記憶装置３０に記憶された共振周波数の時系列データＤ２から、第１の時刻ｔ１における共振周波数を第１の共振周波数ｆ１として算出する第１の共振周波数算出部１３ａとを有する。 （もっと読む）