【課題】 センシング部などに発生し得る断線を総て検出することのできるセンサ装置を
実現する。
【解決手段】 電源線１２が断線したり、ピエゾ抵抗Ｒｓ１，Ｒｓ２が両方とも断線する
と、ＶｓＰ，ＶｓＭ＜ＶｒｅｆＬとなるため、第１および第２のウインドウコンパレータ
３２，３３がそれぞれハイレベル（Ｈ）を出力し、ＯＲ回路３４の出力Ｓｏｕｔがハイレ
ベルになるので断線を検出することができる。グランド線１５が断線したり、ピエゾ抵抗
Ｒｓ３，Ｒｓ４が両方とも断線すると、ＶｓＰ，ＶｓＭはそれぞれほぼ電源電位Ｖｃｃま
で上昇するため、ＶｓＰ，ＶｓＭ＞ＶｒｅｆＨとなり、第１および第２のウインドウコン
パレータ３２，３３がそれぞれハイレベル（Ｈ）を出力し、ＯＲ回路３４の出力Ｓｏｕｔ
はハイレベルになるので断線を検出することができる。 （もっと読む）

【課題】被測定物の動きを、加速度センサモジュール等により簡単に検出することができ、高い精度の測定が可能な動き検出ユニットを提供する。
【解決手段】被測定物１２に加わる加速度又は角速度を検出する第一のセンサモジュール１４，３４と、第一のセンサ電圧を積分する積分回路Ｓｘ１を有する。第二のセンサ電圧を出力する第二のセンサモジュール１４，３４を有する。第二のセンサ電圧を受け、被測定物１２が動作中または静止中かを判定する所定の演算処理を行い、判定信号を継続的に出力する動作検出手段３２を備える。記積分回路Ｓｘ１が出力した一階積分電圧と判定信号とに基づいて所定の演算処理を行い、連続的なアナログ信号である補正信号を積分用オペアンプＯＰ１の反転入力端子に向けて出力するオフセット調整手段ＦＢｘを備える。オフセット調整手段ＦＢｘは、被測定物１２が静止している旨の判定信号を動作検出手段３２より受けると、一階積分電圧をゼロに近づけるように補正信号を変化させる。 （もっと読む）

【課題】自己診断信号を印加して検出用バネ部を変位させ、可動電極に擬似的な加速度を発生させることにより自己診断を行う自己診断機能を有する容量式加速度センサにおいて、検出用バネ部の剛性が高くなっても、自己診断を適切に行えるようにする。
【解決手段】可動電極２３の変位方向であるｘ軸方向には弾性的に変位しないがｘ軸とは直交するｙ軸方向には弾性的に変位可能な固定電極用バネ部３２、４２を介して、固定電極３１、４１を第１シリコン基板１１に支持し、静電引力によって固定電極用バネ部３２、４２を弾性的に変位させることにより、ｙ軸方向にて可動電極２３と固定電極３１、４１との対向面積が増加する方向に、固定電極３１、４１を変位させる固定電極変位手段６０を備え、この固定電極変位手段６０によって、加速度検出時よりも可動電極２３と固定電極３１、４１との対向面積を増加させた状態で自己診断を行うようにした。 （もっと読む）

【課題】変位可能な重錘体に対向して配置された検出電極間の静電容量を正確に検出してオフセットの調整及び感度の較正を行うようにすること。
【解決手段】変位可能な重錘体１２２（１２２ａ乃至１２２ｅ）を保持する枠体１２１と、重錘体１２２ａ乃至１２２ｅに対向するように、第１基板１１１上に設けられた検出電極１１１ａ乃至１１１ｄとを備え、重錘体１２２ａ乃至１２２ｄと検出電極１１１ａ乃至１１１ｄ間の静電容量の変化を検出する。重錘体１２２ａ乃至１２２ｅは、梁部材１２３ａ，１２３ｂ，１２３ｃ，１２３ｄにより保持され、それぞれの梁部材１２３ａ乃至１２３ｄの先端部は、ピラー１２４ａ，１２４ｂ，１２４ｃ，１２４ｄによって保持されている。梁部材１２３ａ乃至１２３ｄ及びピラー１２４ａ乃至１２４ｄは、枠体１２１の内部空間において枠体１２１と非接触になっている。 （もっと読む）

【課題】本発明は、センサ装置の信頼性を向上させることを目的とする。
【解決手段】そして、この目的を達成するために本発明は、処理回路部１４Ａ、１４Ｂからのセンス信号を出力する第１の出力端子１５Ａ、１５Ｂと、駆動回路部１１Ａ、１１Ｂ、検知素子１２Ａ、１２Ｂ、検出回路部１３Ａ、１３Ｂ、及び処理回路部１４Ａ、１４Ｂの内少なくともいずれか１つを被故障診断部とし、被故障診断部が正常か異常かを判断するとともに異常と判断した場合には故障検知信号を第２の出力端子１６Ａから出力する故障診断回路１６と、を備え、被故障診断部からの故障検知信号に関する出力が第２の出力端子１６Ａにたどり着くまでの時間が、被故障診断部からのセンス信号に関する出力が第１の出力端子１５Ａ、１５Ｂにたどり着くまでの時間よりも短いセンサ装置としたものである。 （もっと読む）

【課題】小さい電圧で自己診断を行う加速度検出装置を提供する。
【解決手段】加速度検出装置１は、可撓部を有する基板５と、基板５に接続され、金属からなる導電部を有する重り部７と、を有し、可撓部の撓みに応じて加速度を検出する加速度検出素子３と、重り部７と所定の間隔を隔てて設けられた固定電極２０と、を備え、
貫通導体６を介して重り部７に電圧を印加することにより、重り部７と固定電極２０との間に静電引力が働くようにして自己診断をおこなう。 （もっと読む）

【課題】所望する傾斜状態で電子デバイスの電気的特性の検査を行なうことができる電子デバイス検査装置を提供する。
【解決手段】加速度センサー等の電子デバイスを検査する電子デバイス検査装置に、電子デバイスを温度調整する温度調整手段３０、鉛直方向と直交する第１の水平方向を軸心として第１のモータ３５により回転される第１の軸部３６、第１の水平方向を軸心として回転される挟持手段２８、挟持手段２８の固定された第１の軸部３６を第２のモータ３８により任意の角度に回転させる第２の軸部３９を備える。これにより、挟持手段２８に挟持された電子デバイスを保持した治具７を、第１の軸部３６と第２の軸部３９からなる２軸により任意の方向に自由に傾斜させることができるので、温度調整手段３０で所定の温度になされた電子デバイスを所望する任意の方向に傾斜させた状態で電気的特性の検査を行なうことができる。 （もっと読む）

【課題】複数の加速度検出ユニットを用いて目的物の探査を行う物理探査システムにおいて、各加速度検出ユニットの設置に過度の労力を要することなく、目的物の正確な探査を行う。
【解決手段】複数の加速度検出ユニットを有する物理探査システムであって、加速度検出ユニットのそれぞれは、少なくとも一軸の加速度検出軸を有し、該加速度検出軸に沿った加速度を検出する加速度検出部と、物理探査システムによって目的物の探査が行われる場所の地磁気を検出する地磁気検出部と、地磁気検出部によって検出された地磁気の方向に基づいて所定の補正軸を設定し、該所定の補正軸に従って加速度検出部によって検出された加速度を補正する補正部と、を備える。そして、それぞれの加速度検出ユニットが備える補正部において設定された所定の補正軸に従って、該補正部によって補正された加速度のそれぞれの整合がとられる。 （もっと読む）

【課題】 上下加速度センサを必要をせずに路面傾斜の影響を排除して正しい前後加速度を検出する。
【解決手段】 前後加速度センサが出力する前後加速度Ｇｓは、真の前後加速度Ｇａと、路面の傾斜による重力加速度の路面方向の成分Ｇｏｓ＝ｇ×ｓｉｎθ（θ：路面傾斜角）とを含むが、後者は時間の関数でないために時間微分によって排除され、前後加速度Ｇｓの微分値ｄＧｓ／ｄｔを時間積分した積分値∫（ｄＧｓ／ｄｔ）ｄｔは重力加速度ｇの路面方向の成分Ｇｏｓを含まない正しい前後加速度Ｇａを示す値となる。よって、上下加速度センサを必要とせずに正しい前後加速度Ｇａを算出することが可能となり、部品点数を削減してコストダウンに寄与することができる。 （もっと読む）

【課題】自己診断中に加速度または角速度センサに外部から衝撃が加わった場合でも、正確な自己診断を行なうことが可能な加速度または角速度センサの自己診断装置を提供する。
【解決手段】加速度センサ１の自己診断装置１０は、診断制御部１３と、積分演算部１１と、判定部１２とを備える。診断制御部１３は、加速度または角速度を検出するセンサ本体８に所定の大きさの擬似加速度信号１４を印加することによって、センサ本体８に擬似的な加速度または角速度を与える。積分演算部１１は、擬似加速度信号１４に応答してセンサ本体８から出力されたセンサ信号１７の積分演算を行なう。判定部１２は、積分演算が開始されてから所定の積分時間が経過したときの積分値１８が、所定の正常範囲にあるか否かを判定する。 （もっと読む）