【課題】流体の流速の値をもって、流速分布を測定することのできる装置を提供する。
【解決手段】温度計測部３は、光ファイバ６の一端が接続され光ファイバ６の他端に向けてパルス光を入射するパルス光源９と、光ファイバ６から後方散乱光を受信する受信器１１と、受信器１１から後方散乱光を受けて光ファイバの温度分布を算出する信号処理部１２とを有し、流速分布算出手段４は、発熱体７の非通電時と通電時における光ファイバ６の温度分布を信号処理部１２から受け、光ファイバ６の同一位置における非通電時温度と通電時温度の温度差から流速分布を算出する。 （もっと読む）

【課題】たとえば、球状基材を加熱しながらその熱を周囲に放出する程度を計測することによってガスの状態の計測を行なう用途において、熱の放出量を増やしたり、球形基材の大きな熱容量による応答速度の低下、あるいは、加熱部分と温度計測を行なう弾性表面波の周回領域の位置的なずれによる計測精度の低下をもたらさない加熱配線付の球状弾性表面波素子およびその製造方法を提供する。
【解決手段】球形基材１１を、弾性表面波の周回経路１２によって分けられる２つの領域を周回経路以外の領域について削除したリング形状とすることで、球形基材１１の熱容量を相対的に小さくするとともに、上記削除によって生じた凹面１１ａ，１１ｂに、加熱用の配線パターン１５ａ，１５ｂを形成することで、加熱領域と弾性表面波の伝搬領域（周回経路１２）と３次元的に接近した加熱配線付の球状弾性表面波素子１０を構成する。 （もっと読む）

【課題】 凍結による測定不能状態がなく、空気の流れを乱さずに、正確に風向と風速とを測定することができる風向風速計および風向風速装置を提供すること。
【解決手段】 気体が内部を流通する風路管２と、赤外線を放射する放射面を風路管２の内周面に面一に配して設けられ入力電圧に応じて抵抗加熱により赤外線の放射量を制御可能な熱源部３と、放射面３ａからの赤外線を検出する検出面４ａを放射面３ａに対向状態にかつ風路管２の内周面に面一に配して設けられた非接触温度センサ部４と、を備え、非接触温度センサ部４が、検出面４ａの直下に少なくとも２つが風路管２の延在方向に並んでいる複数の感熱素子を備えている。 （もっと読む）

【課題】破損を容易に検知することのできるセンサ装置を提供する。
【解決手段】本発明の一態様のセンサ装置は、ダイアフラム部１００を有する基板６５を備えたセンサ装置であって、前記ダイアフラム部１００は、複数のセンサ用電極１２０と電気的に接続されたセンサ用配線１１１と、前記センサ用配線１１１と電気的に接続され、特定の物理量を測定可能に形成されたセンサ素子１１０と、複数の破損検知電極１４０と電気的に接続されて形成され、前記ダイアフラム部１００に生じた破損によって断線されるよう形成された破損検知配線１５０と、を備える。 （もっと読む）

【課題】高温下における熱から計測器を保護すること。
【解決手段】計測器を収容する空間が形成された中空円筒状の内管２２と、内周面５４と前記内管２２の外周面との間にリング状の空間５７を形成するとともに、前記内管２２を収容する空間が形成された中空円筒状の外管２１と、前記リング状の空間５７内に挿入されて、前記リング状の空間５７内に冷却媒体を供給する少なくとも１本の供給管２４と、前記リング状の空間５７内に挿入されて、前記冷却媒体を回収する少なくとも１本の回収管２５と、前記内管２２に形成された空間と連通する貫通穴２９を中央部に有し、前記リング状の空間５７の先端を閉塞する先端金具２６とを備えている。 （もっと読む）

【課題】計算機ルームの温度分布を効率的かつ精度よく測定できる光ファイバを用いた計算機ルームの温度計測方法、風量測定装置、並びに発熱量測定装置を提供する。
【解決手段】ピーク温度が比較的低温のフリーアクセスフロア１５のグリル近傍ａ、ラック１１内の吸気口近傍ｂを通るように第１の光ファイバ２４ａを敷設し、ピーク温度が比較的高温のＣＰＵ近傍ｃ、排気口近傍ｄ及びラック外側の天井近傍ｅを通るように第２の光ファイバ２４ｂを敷設する。このように敷設することにより、隣接する計測ポイントの温度差が少なくなり、良好な測定精度が得られる。 （もっと読む）

【課題】温度センサを自己加熱によりヒータとしても動作させる超小型で高速応答の安価なヒータ兼温度センサ素子を提供する、この素子を用いた高速で高感度の気流センサを提供する、この気流センサを真空パッドに適用して高速応答にする。さらに、これらを用いた気流検知装置を提供する。
【解決手段】基板から熱分離したカンチレバ状の薄膜にヒータ兼温度センサを形成し２端子とする。そのチップ寸法を１ｍｍ角程度の超小型化する。気流センサとして気流の流入口近傍の微小空間にヒータ兼温度センサ素子を取り付ける。これを真空パッドに適用し、素子を吸着パッド付近に取り付ける。内側と外側に導電膜を形成した導電膜付チューブを提供して電源回路などを有する本体と気流センサとの間の煩雑なワイヤ線を不要にする。更にこの気流センサを用いて、少なくとも増幅回路、演算回路、制御回路を有するコンパクトな気流検知装置とする。 （もっと読む）

【課題】測定精度の向上を図った流速測定装置を提供する。
【解決手段】マイクロヒータ３３が、ガスの流路Ｓに配置されている。ＤＳＰ７が、サイン波信号のデジタル値を出力する。サイン波信号のデジタル値はＤＡＣ８でアナログ値に変換されてａｍｐ９で増幅された後、マイクロヒータ３３に供給される。ＤＳＰ７が、サーモパイル３５から出力される温度信号をフーリエ変換して基本周波数のパワーを検出し、検出されたパワーが所定範囲内になるようにマイクロヒータ３３に対して出力するサイン波信号のゲインＧを調整する。ＤＳＰ７は、温度信号をフーリエ変換して基本周波数の位相を検出して、その位相から流量を求める。 （もっと読む）

【課題】技術的および特に装置的に最小限の費用にて管内の液体流れの流動量を高精度で決定する。
【解決手段】本発明による方法によれば、液体が光学的な加熱ビームにより加熱され、その加熱位置が光学的な検出ビームによって照射され、加熱ビームの光軸と検出ビームの光軸とが少なくともその加熱位置において一致し、検出ビームが検出器アレイにより受信される。本発明による装置は、液体の限定された内部領域の１つの内部領域を加熱する装置と、レーザのビームを案内する光学装置とを、測定ビームが加熱領域をそれの加熱の絶対的位置において照射するように配置している。 （もっと読む）

【課題】小型化が可能で、可動部分がないため高い歩留まりで製造できる、高信頼性及び低故障率の角速度センサとその製造方法を提供することを目的とする。
【解決手段】流体が循環するための閉流路１０２が基板に１０１形成され、流体を循環させる駆動部１０４が閉流路１０２に設けられる角速度センサにおいて、流体を加熱する熱源１０４と、流体の温度を検知する温度検知手段１０５と、を備えることを特徴とする。また、温度検知手段１０５は、少なくとも二つ備わっている。また、温度検知手段１０５は、閉流路１０２の対称の位置に配置される。 （もっと読む）