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国際特許分類[G01P9/04]の内容

国際特許分類[G01P9/04]に分類される特許

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【課題】周波数調整を簡単かつ高精度に行うことができる振動片、周波数調整方法を提供
すること、また、この振動片を備える信頼性に優れた振動子、振動デバイスおよび電子機
器を提供すること。
【解決手段】本発明の振動片は、基部と、基部からY軸方向に延出するとともに、Y軸方
向に直交するZ軸方向に屈曲振動する振動腕28と、振動腕28上に設けられ、エネルギ
ー線の照射により一部または全部が除去されることにより質量を減少させて、振動腕28
の共振周波数を調整する第1の質量部51および第2の質量部54とを有し、第1の質量
部51は、振動腕28の第1の面281上に設けられ、第2の質量部54は、振動腕28
の第2の面282上に設けられ、第1の質量部51および第2の質量部54は、Z軸方向
から見たときに、互いに重ならない部分を有する。 (もっと読む)


【課題】センサ部と検出部とを電気的に接続する接続手段の駆動信号伝達線が断線しているか否かを判定することができる角速度検出装置を提供する。
【解決手段】C/V変換回路23は、可動電極に搬送波信号Vsが印加され、固定電極に駆動信号Vsv+、Vsv-が印加されるコンデンサCs1〜Cs4の静電容量を変換した電圧Vcvを出力する。判定ロジック25は、コンパレータ24を通じて電圧Vcvをレベル変換した電圧Vcmpに基づいて、サーボ制御を行うための駆動信号Vsv+、Vsv-を回路チップ3側からセンサチップ2側に伝達する接続ラインL1〜L4の断線を判定する。 (もっと読む)


【課題】 X軸方向の加速度に対する誤差信号を低減でき、Z軸を含む複数の軸の角速度を検出することが可能な低背化された振動ジャイロを提供すること。
【解決手段】 Y軸及びZ軸周りの角速度を検出可能な振動ジャイロであって、Y軸方向に長手方向を有する第1のアーム4と、その一端に接続され第1のアーム4の中心軸に関して対称な連結部3と、そのX軸方向の両端に接続されY軸方向に長手方向を有する第2のアーム5a、5bと、Y軸方向に長手方向を有する第3のアーム7a、7bとを有する振動子を有し、第2のアームをX軸方向へ屈曲振動させる駆動手段、第1のアームのX軸方向の屈曲振動を検出する第1の検出手段、第2のアームのZ軸方向の屈曲振動を検出する第3の検出手段、および、第3のアームのX軸方向の屈曲振動を検出する第2の検出手段を備え、X軸方向の加速度によって第1の検出手段に生じる誤差信号を、第2の検出手段に生じる検出信号によって相殺する。 (もっと読む)


【課題】 2以上のセンサー素子を含む素子構造体の製造を容易化すること。
【解決手段】 素子構造体は、第1支持層100と、第1支持層100の上方に設けられる第1センサー素子SE1と、を有する第1基板BS1と、第2支持層200と、第2支持層200の上方に設けられる第2センサー素子SE2と、を有する第2基板BS2と、を含み、第2基板BS2は、第1センサー素子SE1と第2センサー素子SE2とが互いに対向した状態で、第1基板BS1上にスペーサー300を介して配置されている。 (もっと読む)


【課題】 製造工程においてパッケージの表面に形成されたパッドが傷付かないようにすることができるセンサ装置を実現する。
【解決手段】 センサチップ51が収容されたパッケージ20は、ダンパ80を介してケース90に収容されている。パッケージ20の表面22aには、パッド形成領域E1の外周を囲むように枠状体40が設けられている。枠状体40は、セラミックにより、パッド23の厚さよりも厚く、かつ、封止層70の厚さよりも厚く形成されている。このため、表面22aを下にしてパッケージ20をハンドリングする際にパッド23の表面に傷が付くおそれがない。また、パッド形成領域E1に封止材を塗布する際に封止材が枠状体40を超えて垂れるおそれもない。 (もっと読む)


【課題】圧電特性の良い非鉛材料薄膜を実現するために、結晶配向性に優れた(Na,Bi)TiO3−BaTiO3薄膜およびその製造方法を提供すること。
【解決手段】基板12上の(111)面方位である電極膜13上に形成された、
ペロブスカイト型複合酸化物(Na,Bi)TiO3−BaTiO3圧電体層15において、電極膜13との界面に隣接して、(111)面方位である(NaxBi0.5)TiO0.5x+2.75−BaTiO3(0.29≦x≦0.4)界面膜14を設けている。本発明による(Na,Bi)TiO3−BaTiO3圧電体層15は、(111)面方位にのみに強く結晶配向することで優れた圧電特性を示し、鉛を含まない元素による圧電体薄膜を提供することができ、インクジェットヘッド、角速度センサ、圧電発電素子等への応用が可能となる。 (もっと読む)


【課題】 容量素子を含む素子構造体の製造を容易化すること。
【解決手段】 素子構造体は、第1支持層100と、該第1支持層の上方に一端部が支持され他端部の周囲に空隙部が形成された第1可動梁800aと、を有する第1基板BS1と、第2支持層200と、該第2支持層に形成された第1固定電極900aと、を有し、且つ、前記第1基板に対向して配置された第2基板BS2と、を含み、前記第1可動梁80aには、第1可動電極が形成され、前記第1固定電極と前記第1可動電極とが間隙を介して対向して配置されて構成される。 (もっと読む)


【課題】一連の接合工程の過程中において加速度センサと角速度センサにそれぞれ対応した圧力雰囲気で封止し、それぞれのセンサの検出感度の向上を図る。
【解決手段】加速度センサ11の可動体111と角速度センサ12の振動体121とを壁16で隔てて、同一のセンサウエハ10上に作製する。加速度センサ11及び角速度センサ12の可動体111及び振動体121に対応したギャップ21,22を設けたキャップウエハ20を形成し、角速度センサ12のギャップ22近傍にバンプ23を配置する。加速度センサ11を大気圧封止した後、高温、高荷重を印加して、角速度センサ12を真空封止する。その後、ダイアモンド砥石による切断、回路基板、配線基板を実装して、複合センサを形成する。 (もっと読む)


【課題】従来よりも小型で、角速度の検出精度が高い振動ジャイロの提供を図る。
【解決手段】振動ジャイロ50は、蓋板50Aの主面法線方向をZ軸とした直交座標形のY軸に沿って隣り合う2つの駆動質量部13A,13Bの間に検出用固定構造部2A,2Bの支柱部(21)を配置し、駆動質量部13A,13Bと支柱部(21)との間それぞれに検出質量部17A,17Bを配置し、支柱部(21)と検出質量部17A,17Bとの間それぞれに櫛歯電極を配置する構成である。 (もっと読む)


【課題】本発明は、角速度、加速度等の物理量を検出する検出素子に外部から伝搬する振動等の影響を排除して、角速度、加速度等の物理量を高精度にて検出できる物理量センサを提供することを目的とするものである。
【解決手段】本発明は角速度、加速度等の物理量を検出する検出素子21を、前記検出素子の特性を測定するためのケースに電気的に接続するためのワイヤ63の剛性のみで空間に保持し、接着剤による接着応力などの影響を除去したものである。 (もっと読む)


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