物理学 (1,541,580) | 測定；試験 (294,940) | 走査プローブ技術または装置；走査プローブ技術の応用，例．走査プローブ型顕微鏡［ＳＰＭ］ (274)

走査または位置決め装置，すなわち，プローブの動きあるいは位置を積極的に制御するための装置 (19)
プローブの動きまたは位置の監視 (20)
走査プローブ技術または装置の補助または改良に資する補助的手段，例．表示装置またはデータ処理装置 (46)
キャリブレーション，例．プローブのキャリブレーション (2)
特定の型のＳＰＭ［走査プローブ型顕微鏡］またはそのための装置；その基本的な構成部品 (135)
ＳＰＭプローブの一般的観点またはその製造または関連する器具類で，グループＧ０１Ｑ６０／００に包含される単一のＳＰＭ技術に特に適合していないもの (23)
ＳＰＭを除く走査プローブ技術の応用 (27)
他に分類されない走査プローブ技術または装置 (2)