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国際特許分類[G01Q10/00]の内容

物理学 (1,541,580) | 測定;試験 (294,940) | 走査プローブ技術または装置;走査プローブ技術の応用,例.走査プローブ型顕微鏡[SPM] (274) | 走査または位置決め装置,すなわち,プローブの動きあるいは位置を積極的に制御するための装置 (19)

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【課題】走査要素が方向変更点のような、走査方向が急速に変化する点における歪み及び人為的欠陥を回避する。
【解決手段】走査型プローブ顕微鏡用の迅速平行移動ステージが提供される。該ステージは、平行移動ステージの自然の共振周波数にて駆動される少なくとも1つの平行移動の軸線を有し、走査方向の急速な変化に関係した歪みが回避される。1つの実施の形態において、該ステージは、好ましくは1つ又はより多くのピエゾアクチュエータ要素により駆動され、その共振周波数にて迅速走査周波数に沿って平行移動する試料板又は支持体を有している。 (もっと読む)


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