【課題】
走査プローブ顕微鏡において，走査時に走査機構の非駆動方向すなわち上下方向の変動により、試料のプロファイルを高精度に測定することが，困難であった。
【解決手段】
試料ステージ側の裏側に試料ステージの水平方向走査時の非駆動方向への上下動を測定するための高精度変位計を備え、この結果によって、探針による試料表面形状測定結果を補正することで、試料のnm以下のオーダ精度をもつ高精度な平坦性評価を可能とした。 （もっと読む）

【課題】形状の制約なしに３次元の立体形状を測定することが可能な走査型プローブ顕微鏡を提供する。
【解決手段】カンチレバー１１と、カンチレバーホルダ１４と、サンプルホルダ８と、サンプル９表面の任意の２次元面内で探針１０を相対的に移動させる水平方向微動機構４と、２次元面に垂直な方向に探針１０とサンプル９を相対的に移動させる垂直方向微動機構１５と、カンチレバー１１の撓み量を検出するための変位検出機構２２を有する走査型プローブ顕微鏡において、変位検出機構をカンチレバー１１に組み込み、カンチレバー１１の長軸に直交し探針１０先端を通る軸が、２次元平面に直交する任意の平面内となるように前記カンチレバー１１を配置し、サンプル９表面の被測定面が、水平方向微動機構４の移動面と略平行になるようにサンプル９とカンチレバー１１の相対位置を規定する角度調整機構を含む位置決め機構（３、５，６，７，１７）を設けた。 （もっと読む）

【課題】小さく良好に操作でき、その上、選択された駆動手段と無関係に管状圧電素子の内部でロータの正確な案内を可能とするロータの電気機械式位置決め装置を準備すること【解決手段】この発明は圧電素子の内部にロータを電気機械式位置決めする少なくとも一つの管状圧電素子を備える装置に関する。これは、ロータに垂直力を及ぼすために圧電素子と接続された少なくとも一つの弾性摩擦手段を備えることを特徴とする。装置を制御する方法が開示されている。
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