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国際特許分類[G01Q10/04]の内容

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国際特許分類[G01Q10/04]に分類される特許

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【課題】XY走査時に生じる慣性力に起因する振動ノイズが低減された検出光追従型の走査機構を提供する。
【解決手段】走査機構10は、固定枠11と、XY方向に移動可能なXY可動部14を有するXYステージ13と、XY可動部14をXY方向に走査するXYアクチュエータを構成する圧電素子12A,12Bを有している。走査機構10はまた、XY可動部14に保持された圧電素子21と、圧電素子21に保持されたホルダ22と、ホルダ22に保持されたカンチレバー23を有している。圧電素子21は、カンチレバー23をZ方向に走査するZアクチュエータを構成している。走査機構10はさらに、XY可動部14に保持された集光部25を有している。集光部25は、カンチレバー23の変位を検出するための光をカンチレバー23に入射させる働きをする。圧電素子21と集光部25は、X−Y平面への投影において並ぶように配置されている。 (もっと読む)


【課題】走査要素が方向変更点のような、走査方向が急速に変化する点における歪み及び人為的欠陥を回避する。
【解決手段】走査型プローブ顕微鏡用の迅速平行移動ステージが提供される。該ステージは、平行移動ステージの自然の共振周波数にて駆動される少なくとも1つの平行移動の軸線を有し、走査方向の急速な変化に関係した歪みが回避される。1つの実施の形態において、該ステージは、好ましくは1つ又はより多くのピエゾアクチュエータ要素により駆動され、その共振周波数にて迅速走査周波数に沿って平行移動する試料板又は支持体を有している。 (もっと読む)


走査型プローブ顕微鏡(SPM)(200)は、圧電管への電圧印加によって3平面に移動可能であるプローブ(14)が装着された圧電アクチュエータベースの管スキャナ(12)を有する。1組の撓曲部(40)は管の変位とともに撓曲し、撓曲部に装着された歪み計(74、76、78、80)が撓曲部の撓曲を測定して、対象物の走査中の管の変位に関するフィードバックを提供する。歪み計と撓曲部は、単一の制約体が自由度毎に提供され、制約体が互いに少なくとも略直交している動的感知フレームまたは配列を構成する。
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非強磁性圧電駆動屈曲部を持つ単一のハウジングは、屈曲部において一体化された異なる直径の第一及び第二巻型を有し、一方の巻型は他方の巻型の内部に同軸に配置される。一次巻型及び二次巻型の平面を形成する円筒は空間的に重ならない。二次コイルを反対方向に巻いて、変圧装置になるように配線することができる。コイルの中心軸の方向への二次コイルに対する一次コイルの移動を高精度で分別検出することができる。
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